鍍膜裝置本發(fā)明涉及一種用于生產(chǎn)鍍膜玻璃的鍍膜裝置及其應(yīng)用，屬于機(jī)械領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

鍍膜玻璃是在玻璃表面涂鍍一層或多層金屬、合金或金屬化合物薄膜，以改變玻璃的光學(xué)性能，滿足某種特定要求。

其生產(chǎn)方法主要是利用磁控濺射鍍膜設(shè)備在玻璃上進(jìn)行濺射鍍膜。對于磁控濺射鍍膜設(shè)備來說，包含許多組成部分，其中最主要的就是鍍膜裝置。鍍膜裝置內(nèi)部是處在高真空環(huán)境中。鍍膜玻璃產(chǎn)品質(zhì)量的好壞與鍍膜裝置的配置、內(nèi)部真空環(huán)境、工藝氣體穩(wěn)定性等因素有很大的關(guān)系。環(huán)境的真空度越高，則鍍膜的效果也越好。

現(xiàn)有技術(shù)中存在鍍膜裝置安裝復(fù)雜，靈活性差，隔離系數(shù)低，真空環(huán)境差、冷卻效果低等問題，例如，每個隔離腔室中所要安裝的元件都是固定的，無法隨意的拆分，當(dāng)整個設(shè)備需要有所變化時(shí)，則無形中給用戶增加不必要的人力、物力和時(shí)間等成本。隔離系數(shù)低、真空環(huán)境差、冷卻效果低會嚴(yán)重影響制備的膜層質(zhì)量。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本發(fā)明的目的在于提供一種用于生產(chǎn)鍍膜玻璃的鍍膜裝置及其應(yīng)用，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中鍍膜裝置無法實(shí)現(xiàn)隨意安裝隔離腔室中的工作單元、隔離系數(shù)低，真空環(huán)境差等問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本發(fā)明提供一種用于生產(chǎn)鍍膜玻璃的鍍膜裝置，所述鍍膜裝置包括傳輸單元、氣體隔離單元、抽真空單元、冷卻單元、至少3個隔離腔室，以及陰極靶材；

其中3個所述隔離腔室分別為第一隔離腔室，第二隔離腔室、第三隔離腔室，3個所述隔離腔室依次連接，且相鄰的兩個隔離腔室之間互相連通；每個所述隔離腔室下方都設(shè)有進(jìn)片口；每個隔離腔室的頂部都設(shè)置可打開的蓋板；每個所述隔離腔室內(nèi)部的下方設(shè)置傳輸單元；所述第一隔離腔室以及所述第三隔離腔室內(nèi)設(shè)置氣體隔離單元；所述第一隔離腔室以及所述第三隔離腔室的蓋板上都設(shè)置抽真空單元；所述第二隔離腔室中設(shè)置陰極靶材以及冷卻單元。

當(dāng)有隔離腔室多于3個時(shí)，可以將其他的隔離腔室設(shè)置在所述的3個隔離腔室之前或者之后，在其他的隔離腔室中可以根據(jù)需要而安裝工作單元。

優(yōu)選地，所述鍍膜裝置還包括前隔離腔室，所述第一隔離腔室連接前置隔離腔室，所述傳輸單元也貫通前隔離腔室。

優(yōu)選地，所述鍍膜裝置還包括后隔離腔室，所述第三隔離腔室連接后置隔離腔室，所述傳輸單元也貫通后隔離腔室。

優(yōu)選地，每個所述隔離腔室都是規(guī)則的6面體且大小一致。

優(yōu)選地，每相鄰的兩個隔離腔室之間還設(shè)置抽氣孔。

優(yōu)選地，每個所述蓋板和每個所述隔離腔室之間設(shè)有密封圈。

優(yōu)選地，所述氣體隔離單元包括橫向設(shè)置的橫向隔板和縱向設(shè)置的縱向隔板，所述橫向隔板位于傳輸單元的上方，所述縱向隔板上端達(dá)到隔離腔室的頂部，下端達(dá)到橫向隔板。氣體隔離裝置將隔離腔室分為左右兩個完全隔離的空間，能將通入的工藝氣體相對的密封在隔離空間內(nèi)，阻止工藝氣體間的相互竄動，影響相鄰膜層質(zhì)量。

優(yōu)選地，所述傳輸單元采用傳輸輥道，所述輥道包括若干輥?zhàn)印?/p>

優(yōu)選地，所述輥?zhàn)又g設(shè)置橫截面為t形的t形隔板。

優(yōu)選地，所述冷卻單元包括設(shè)置在第二隔離腔室內(nèi)下方的冷卻水管道，所述冷卻水管道與外部水源連通。

優(yōu)選地，所述布水管道采用銅質(zhì)材料制作，因?yàn)殂~的導(dǎo)熱性能較好，因此具有較好的傳遞熱量的功能。

優(yōu)選地，所述傳輸單元為傳輸輥道，所述傳輸輥道包括若干輥?zhàn)印?/p>

優(yōu)選地，所述輥?zhàn)又g設(shè)置橫截面為t形的t形隔板。

優(yōu)選地，所述冷卻單元包括設(shè)置在第二隔離腔室內(nèi)下方的冷卻水管道，所述冷卻水管道與外部水源連通。

本發(fā)明的另一方面提供了上述的用于生產(chǎn)鍍膜玻璃的鍍膜裝置用于生產(chǎn)鍍膜玻璃的用途。

如上所述，本發(fā)明的用于生產(chǎn)鍍膜玻璃的鍍膜裝置及其應(yīng)用，具有以下有益效果：

由于每個隔離腔室都是規(guī)則的結(jié)構(gòu)，采用標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計(jì)，因此其內(nèi)部安裝的結(jié)構(gòu)單元可以隨意的在任何一個隔離腔室內(nèi)安裝。氣體隔離裝置隔離性能好，隔離系數(shù)高，結(jié)構(gòu)簡單。冷卻裝置安裝方便，冷卻效果好，使隔離室內(nèi)維持在一個恒定的溫度。

附圖說明

圖1顯示為本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)示意圖。

元件標(biāo)號說明

1前置離腔室

101抽氣口

102進(jìn)片口

2第一隔離腔室

201縱向隔板

202橫向隔板

203t形隔板

3第二隔離腔室

4第三隔離腔室

5后置隔離腔室

501盲蓋板

6輥?zhàn)?/p>

7靶材固定件

8抽真空單元

9冷卻水管道

具體實(shí)施方式

以下由特定的具體實(shí)施例說明本發(fā)明的實(shí)施方式，熟悉此技術(shù)的人士可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點(diǎn)及功效。

請參閱圖1。須知，本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本發(fā)明可實(shí)施的限定條件，故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本發(fā)明所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本發(fā)明所揭示的技術(shù)內(nèi)容涵蓋的范圍內(nèi)。同時(shí)，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本發(fā)明可實(shí)施的范圍，其相對關(guān)系的改變或調(diào)整，在無實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本發(fā)明可實(shí)施的范疇。

須知，下列實(shí)施例中未具體注明的工藝設(shè)備或裝置均采用本領(lǐng)域內(nèi)的常規(guī)設(shè)備或裝置。

此外應(yīng)理解，本發(fā)明中提到的一個或多個方法步驟并不排斥在所述組合步驟前后還可以存在其他方法步驟或在這些明確提到的步驟之間還可以插入其他方法步驟，除非另有說明；還應(yīng)理解，本發(fā)明中提到的一個或多個設(shè)備/裝置之間的組合連接關(guān)系并不排斥在所述組合設(shè)備/裝置前后還可以存在其他設(shè)備/裝置或在這些明確提到的兩個設(shè)備/裝置之間還可以插入其他設(shè)備/裝置，除非另有說明。而且，除非另有說明，各方法步驟的編號僅為鑒別各方法步驟的便利工具，而非為限制各方法步驟的排列次序或限定本發(fā)明可實(shí)施的范圍，其相對關(guān)系的改變或調(diào)整，在無實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容的情況下，當(dāng)亦視為本發(fā)明可實(shí)施的范疇。

如圖1所示，本發(fā)明提供一種用于生產(chǎn)鍍膜玻璃的鍍膜裝置，所述鍍膜裝置包括但不限于：傳輸單元、氣體隔離單元、抽真空單元、冷卻單元、5個隔離腔室。

5個所述隔離腔室為形狀和大小一致的規(guī)則六面體，其長3900mm，寬900mm，高1000mm，分別為前置隔離腔室1，第一隔離腔室2、第二隔離腔室3、第三隔離腔室4以及后置隔離腔室5，5個所述隔離腔室依次連接。當(dāng)然隔離腔室的個數(shù)是不固定的，可以根據(jù)需要而進(jìn)一步增加更多的隔離腔室安裝在3個隔離腔室的前方或者后方。

當(dāng)然，所述隔離腔室的形狀也不是固定的。在本發(fā)明中每個隔離腔室的大小形狀一致保證了每個蓋板，以及其他組件可以隨意的安裝在任何一個隔離腔室中。

每個所述隔離腔室的下方的兩邊都設(shè)有進(jìn)片口102，使得玻璃能夠從進(jìn)片口進(jìn)入隔離腔室，并順利的通過。在隔離腔之間的隔離墻的上方還設(shè)有抽氣孔101。抽氣孔可以保證隔離腔室之間的連通，每個所述隔離腔室正是通過進(jìn)片口和抽氣孔連通的。所述進(jìn)片口的面積約為0.07m²，所述抽氣孔的面積約為0.24m²。

在另一實(shí)施例中，每個隔離腔室都是獨(dú)立的，呈封閉的結(jié)構(gòu)，每個隔離腔室都有其自己的左右兩個隔離墻，并不共用。

每個隔離腔室的頂部都設(shè)置可打開的蓋板。由于每個隔離腔室大小相同，因此蓋板的大小也是一樣的，任何一個蓋板可以適用于任意一個隔離腔室。

較佳地，每個所述蓋板和所述隔離腔室之間設(shè)有密封圈，所述密封圈是采用彈性的橡膠制成，因此，可以使得蓋板更加密閉的封裝在隔離腔室上。

每個隔離腔室的內(nèi)部下方設(shè)置傳輸單元，其主要目的是為了傳輸物料(玻璃)，將玻璃從隔離腔室的一端運(yùn)輸?shù)搅硪欢?。在本?shí)施例中所述傳輸單元選用的是傳輸輥道，所述傳輸輥道包括若干輥?zhàn)樱鲚佔(zhàn)铀降脑O(shè)置在隔離腔室的下方，使得物料從進(jìn)片口進(jìn)入隔離腔室后可以在傳輸輥道上依次通過各個隔離腔室。所述傳輸輥道利用電機(jī)驅(qū)動。

在另一優(yōu)選實(shí)施例中傳輸單元可以采用傳輸帶，同樣是置于隔離腔室下方，采用電機(jī)驅(qū)動。

在本實(shí)施例中，所述第一隔離腔室2以及所述第三隔離腔室4內(nèi)設(shè)置氣體隔離單元；所述氣體隔離單元包括橫向設(shè)置的橫向隔板202和縱向設(shè)置的縱向隔板201，所述橫向隔板202位于傳輸單元和進(jìn)片口的上方，所述縱向隔板201上端達(dá)到隔離腔室的頂部，下端達(dá)到橫向隔板202。氣體隔離裝置將隔離腔室分為左右兩個完全隔離的空間，能將通入的工藝氣體相對的密封在隔離空間內(nèi)，阻止工藝氣體間的相互竄動，影響相鄰膜層質(zhì)量。橫向隔板202的兩端采用螺釘固定在隔離墻上，縱向隔板201采用夾板立在橫向隔板上。在本實(shí)施例中，所述橫向隔板202水平的設(shè)置在進(jìn)片口上方，縱向隔板201位于隔離腔室的中央位置，因此隔離腔室被分割成兩個幾乎相同大小的隔離空間。

所述第一隔離腔室2以及所述第三隔離腔室4的蓋板501上都設(shè)置抽真空單元8。在本實(shí)施例中所述抽真空單元選用分子泵(市購)。在本實(shí)施例中共安裝了兩個分子泵，一般的可以安裝1～6個分子泵。所述分子泵可以將隔離腔室抽成真空狀態(tài)。

在本實(shí)施例中輥?zhàn)又g設(shè)置橫截面為t形的t形隔板203。t形隔板的縱向部分插入輥?zhàn)又g，橫向部分位于相鄰的兩個輥?zhàn)又g，所述t形隔板將輥?zhàn)又g的孔隙得以密封，提高整個裝置的密封性能。所述t形隔板的水平部分略低于輥?zhàn)拥淖罡唿c(diǎn)。

在本實(shí)施例中，所述第二隔離腔室蓋板的下方設(shè)置靶材固定件7。在本實(shí)施例中靶材固定件7的主要目的是安裝靶材使用。在本實(shí)施例中，所述靶材固定件包括4個端頭，每兩個端頭為一組，分別位于蓋板的兩端將陰極靶材固定。

所述第二隔離腔室3內(nèi)還設(shè)有冷卻單元，在本實(shí)施例中所述冷卻單元包括設(shè)置在第二隔離腔室內(nèi)下方的冷卻水管道9，所述冷卻水管道9與外部水源連通。所述冷卻水管道盤繞在棍子之間。

在另一實(shí)施例中，所述冷卻水管道采用銅質(zhì)材料制作，因?yàn)殂~的導(dǎo)熱性能較好，因此具有較好的傳遞熱量的功能。

使用時(shí)，將玻璃從進(jìn)片口放在傳輸單元上，利用傳輸輥道運(yùn)輸進(jìn)入隔離腔室。在隔離腔室中以某一速度勻速前進(jìn)，經(jīng)過陰極下方，在玻璃表面制備膜層。

所以，本發(fā)明有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點(diǎn)而具高度產(chǎn)業(yè)利用價(jià)值。

上述實(shí)施例僅例示性說明本發(fā)明的原理及其功效，而非用于限制本發(fā)明。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本發(fā)明的精神及范疇下，對上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者在未脫離本發(fā)明所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本發(fā)明的權(quán)利要求所涵蓋。