本發(fā)明涉及一種化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地，涉及一種不積水的拋光頭。

背景技術(shù)：

相關(guān)技術(shù)中的拋光設(shè)備的蓋體與夾片組件外側(cè)之間密封，蓋體與基體之間具有間隙，拋光液會(huì)從蓋體與基體之間的間隙進(jìn)入拋光設(shè)備的內(nèi)部，在拋光過(guò)程中，沉積在拋光設(shè)備內(nèi)拋光液會(huì)向外溢出，進(jìn)而影響拋光設(shè)備的基片的拋光效果。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題之一。為此，本發(fā)明提出一種不積水的拋光頭，所述拋光頭可避免拋光液進(jìn)入拋光頭內(nèi)部進(jìn)而影響拋光效果。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的不積水的拋光頭包括：夾片組件；蓋體，所述蓋體可移動(dòng)地安裝在所述夾片組件上且與所述夾片組件之間限定出容納腔；基體，所述基體可上下移動(dòng)地安裝在夾片組件上且位于所述容納腔內(nèi)，所述基體與所述蓋體緊密相連；膜片，所述膜片分別與所述夾片組件和所述基體相連，且限定出密閉的腔室。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的不積水的拋光頭，通過(guò)將基體與蓋體緊密接觸，使得蓋體與基體的頂部之間無(wú)間隙，防止拋光液進(jìn)入拋光頭內(nèi)部，這樣在夾片組件與基體的相對(duì)運(yùn)動(dòng)下不會(huì)由拋光頭內(nèi)部擠出拋光液，不會(huì)影響拋光工藝和拋光效果。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述基體與所述蓋體的內(nèi)頂壁面配合連接。

可選地，所述基體包括：中軸部，所述軸孔沿上下方向貫通所述中軸部，所述蓋體的中心設(shè)有通孔，所述中軸部的上端穿過(guò)所述通孔；外環(huán)部，所述外環(huán)部圍繞所述中軸部設(shè)置，所述外環(huán)部與所述蓋體通過(guò)螺栓相連。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)可選的示例，所述夾片組件的上表面設(shè)有第二凹槽和部分位于所述蓋體內(nèi)的壓蓋，所述蓋體在上下移動(dòng)時(shí)與所述壓蓋至少有一部分相重合。

根據(jù)本發(fā)明進(jìn)一步的示例，所述壓蓋與所述夾片組件之間設(shè)有第一密封圈。

可選地，所述外環(huán)部的上表面和所述蓋體的內(nèi)頂面中的一個(gè)上設(shè)有第二密封圈。

可選地，所述中軸部的外周面與所述通孔的內(nèi)周壁緊密貼合。

可選地，所述蓋體包括：頂蓋，所述基體在所述膜片與所述頂蓋緊密相連；圍板，所述圍板圍繞所述頂蓋設(shè)置且從所述頂蓋的外周沿向下延伸。

根據(jù)本發(fā)明可選的示例，所述頂蓋水平設(shè)置。

根據(jù)本發(fā)明可選的示例，所述頂蓋與所述圍板之間通過(guò)圓弧部相連。

根據(jù)本發(fā)明可選的示例，所述頂蓋與所述圍板之間通過(guò)傾斜部相連。

根據(jù)本發(fā)明可選的示例，所述頂蓋沿從其中心處向所述圍板處的方向逐漸向下傾斜地設(shè)置。

本發(fā)明的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過(guò)本發(fā)明的實(shí)踐了解到。

附圖說(shuō)明

本發(fā)明的上述和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從結(jié)合下面附圖對(duì)實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中：

圖1是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拋光頭的示意圖；

圖2是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拋光頭的示意圖；

圖3是根據(jù)本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例的拋光頭的示意圖；

圖4是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拋光頭的示意圖；

圖5是根據(jù)本發(fā)明又一個(gè)實(shí)施例的拋光頭的示意圖；

圖6是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拋光頭的示意圖。

附圖標(biāo)記：

100：拋光頭；

10：夾片組件；11：中樞軸；12：第二凹槽；13：第三凹槽；14：保持環(huán)；

20：蓋體；20a：容納腔；21：頂蓋；22：圍板；

23：圓弧部；24：傾斜部；

30：基體；30a：軸孔；31：中軸部；32：外環(huán)部；321：第一凹槽；322：壓環(huán)；

40：膜片；

50：壓蓋；

60：第一密封圈；

70：第二密封圈。

具體實(shí)施方式

下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號(hào)表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過(guò)參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。

在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語(yǔ)“中心”、“上”、“下”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”“內(nèi)”、“外”、“軸向”、“徑向”、“周向”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括一個(gè)或者更多個(gè)該特征。在本發(fā)明的描述中，除非另有說(shuō)明，“多個(gè)”的含義是兩個(gè)或兩個(gè)以上。

在本發(fā)明的描述中，需要說(shuō)明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過(guò)中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本發(fā)明中的具體含義。

下面參考圖1-圖6描述根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的不積水的拋光頭100。

如圖1所示，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拋光頭100包括夾片組件10、蓋體20、基體30和膜片40。

其中，蓋體20安裝在夾片組件10上，且相對(duì)于夾片組件10可以移動(dòng)(如圖1和圖2所示，蓋體20相對(duì)于夾片組件10上下移動(dòng))，蓋體20與夾片組件10之間限定出容納腔20a，基體30安裝在夾片組件10上且相對(duì)于夾片組件10可以上下移動(dòng)，基體30位于容納腔20a內(nèi)，基體30與蓋體20緊密相連；膜片40分別與夾片組件10和基體30相連接，膜片40分別與夾片組件10和基體30相連，且限定出密閉的腔室，基體30與蓋體20之間無(wú)間隙，膜片40在夾片組件10與基體30的相對(duì)運(yùn)動(dòng)中具有緩沖作用。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拋光頭100，通過(guò)將基體30與蓋體20緊密相連，保證了蓋體20與基體30頂部之間的密封性，避免拋光液進(jìn)入容納腔20a內(nèi)導(dǎo)致容納腔20a內(nèi)拋光液的沉積，這樣在基體30與剪片組件10相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，不會(huì)由容納腔20a內(nèi)擠出拋光液，故不會(huì)影響拋光效果和拋光工藝，保證拋光頭100使用的穩(wěn)定性和良好的拋光效果。

需要進(jìn)一步說(shuō)明的是，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(未示出)與拋光頭100的上端固定，并帶動(dòng)拋光頭旋轉(zhuǎn)，基片(未示出)壓合在拋光盤(未示出)上的拋光墊(未示出)與夾片組件之間。拋光盤在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)下旋轉(zhuǎn)，拋光頭100自傳的同時(shí)沿預(yù)定軌道前后移動(dòng)，基片與拋光墊之間供應(yīng)適量的拋光液，這樣，在化學(xué)、機(jī)械的綜合作用下，實(shí)現(xiàn)對(duì)基片的拋光效果。

拋光頭100在拋光過(guò)程中，對(duì)于拋光液的供應(yīng)量和拋光液的供應(yīng)時(shí)段均具有嚴(yán)格要求，將基體30與蓋體20緊密相連時(shí)，拋光液無(wú)法沉積在拋光頭100內(nèi)部，有效地避免了基體30與夾片組件10相對(duì)運(yùn)動(dòng)發(fā)生擠出沉積的拋光液的現(xiàn)象，在對(duì)基片進(jìn)行拋光時(shí)，只有適量供應(yīng)的拋光液灑在基片上，且供應(yīng)拋光液的時(shí)段也符合拋光工藝，不會(huì)影響對(duì)基片的拋光效果。

可選地，基體30與蓋體20的內(nèi)頂壁面配合連接，防止拋光液從蓋體20的頂部進(jìn)入拋光頭100內(nèi)部，避免基體30上下移動(dòng)時(shí)可能將沉積在拋光頭100內(nèi)部的拋光液擠出，進(jìn)而影響拋光效果。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，夾片組件10的中心具有向上延伸的中樞軸11，中樞軸11固定在基體30上的軸孔30a內(nèi)，在基體30的中心具有與中樞軸11相配合的軸孔30a，中樞軸11可以伸入軸孔30a內(nèi)，從而實(shí)現(xiàn)基體30和夾片組件10的配合連接。

可選地，基體30包括中軸部31和外環(huán)部32，軸孔30a在上下方向上貫通中軸部31，在蓋體20上設(shè)有通孔，且中軸部31的外徑與通孔的直徑相等，基體30的中軸部31的上端可穿過(guò)蓋體20的通孔，實(shí)現(xiàn)基體30與蓋體20的緊密配合連接。

基體30的外環(huán)部32圍繞中軸部31設(shè)置，膜片40對(duì)外環(huán)部32具有緩沖作用，外環(huán)部32的上表面與蓋體20的內(nèi)壁面緊密相連，使得外環(huán)部32與蓋體20之間保持緊密配合連接，具體地，基體30與外環(huán)部32可以通過(guò)螺栓連接，使得基體30與蓋體20之間連接更加緊密、可靠，保證基體30與蓋體20連接形成一個(gè)緊密的整體。

此外，在中軸部31的上端穿過(guò)通孔后，中軸部31與通孔之間，蓋體20與外環(huán)部32之間通過(guò)螺栓連接，二者為緊密配合，使得容納腔20a形成一個(gè)封閉的腔體，有效地防止拋光液進(jìn)入容納腔20a內(nèi)造成拋光液的沉積，避免由于基體30與剪片組件10相對(duì)運(yùn)動(dòng)擠出拋光液影響拋光效果，保證拋光工藝的順利執(zhí)行。

需要說(shuō)明的是，通過(guò)在基體30上設(shè)置有通孔，通過(guò)外接氣源控制腔室的真空度，實(shí)現(xiàn)夾片組件10與基體30的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，其中基體30固定不動(dòng)，當(dāng)外接氣源向腔室內(nèi)充氣使得腔室內(nèi)形成正壓時(shí)，夾片組件10朝遠(yuǎn)離基體30的方向運(yùn)動(dòng)(如圖2所示)，當(dāng)外接氣源從腔室內(nèi)抽氣使得腔室內(nèi)形成負(fù)壓時(shí)，夾片組件10向靠近基體30的方向運(yùn)動(dòng)直至恢復(fù)原位(如圖1所示)。

進(jìn)一步地，在外環(huán)部32的下表面設(shè)有第一凹槽321，第一凹槽321貫通基體30的外周面，即第一凹槽321沿著外環(huán)部32的下表面周向延伸形成第一環(huán)形槽，在外環(huán)部32下表面的外周邊緣處設(shè)有壓環(huán)322，通過(guò)壓環(huán)322將膜片40的一端壓入第一凹槽321內(nèi)，使得膜片40的一端與外環(huán)部32緊密連接，以保證膜片40對(duì)基體30的緩沖作用。

根據(jù)本發(fā)明進(jìn)一步的示例，夾片組件10的上表面設(shè)有第二凹槽12，此外在夾片組件10上還設(shè)有壓蓋50，壓蓋50部分位于蓋體20內(nèi)，通過(guò)壓蓋50將膜片40的另一端壓緊在第二凹槽12內(nèi)，第二凹槽12沿著夾片組件10的周向形成為第二環(huán)形槽，將膜片40的另一端壓入第二環(huán)形槽內(nèi)，使得夾片組件10與膜片40之間的連接可靠，確?；w30以及蓋體20在膜片40的緩沖作用，且膜片40不會(huì)脫離夾片組件10。

可選地，蓋體20發(fā)生上下移動(dòng)時(shí)，與壓蓋50至少有一部分相互重合，既可以避免蓋體20脫離壓蓋50，也可以保證拋光頭100內(nèi)部為封閉腔體。

根據(jù)本發(fā)明一個(gè)可選的示例，壓蓋50與夾片組件10之間設(shè)有第一密封圈60，第一密封圈60用于密封壓蓋50下表面與夾片組件10之間的縫隙，避免拋光液由壓蓋50與夾片組件10之間的間隙進(jìn)入拋光頭100的內(nèi)部，確保壓蓋50與夾片組件10之間的密封性。

壓蓋50的內(nèi)部設(shè)置有第四環(huán)形槽，壓蓋50的第四環(huán)形槽安裝在夾片組件10上部的環(huán)形凸臺(tái)上，壓蓋50設(shè)置在基體30的上部，蓋體20中部的圓形通孔安裝在基體30的上部，蓋體20與基體30的上部設(shè)置有第二密封圈70，蓋體20的內(nèi)壁面與壓蓋50的外壁面之間存在一定間隙，以保證蓋體20和基體30相對(duì)夾片組件10上的壓蓋50做沿上下方向的自適應(yīng)性移動(dòng)。

可選地，在外環(huán)部32的上表面與蓋體20的內(nèi)頂壁面之間設(shè)有第二密封圈70，通過(guò)第二密封圈70來(lái)密封蓋體20內(nèi)頂壁面與外環(huán)部32上表面之間的間隙，確保蓋體20與外環(huán)部32之間的密封性，防止拋光液由蓋體20與外環(huán)部32之間的縫隙進(jìn)入容納腔20a內(nèi)，有效地避免在拋光過(guò)程中由于拋光液的被擠出導(dǎo)致拋光效果欠佳。

可選地，中軸部31的外周面與通孔的內(nèi)周壁緊密配合，可以理解的是，中樞軸11的外徑尺寸與通孔的直徑相等，使得中樞軸11與通孔的剛好緊密配合，保證中樞軸11與蓋體20之間的密封性。

根據(jù)本發(fā)明的又一個(gè)實(shí)施例，在夾片組件10的下表面設(shè)有第三凹槽13，第三凹槽13沿著夾片組件10的下表面的外周周向延伸形成第三環(huán)形槽，即第三環(huán)形槽貫通夾片組件10的外周面，在第三凹槽13內(nèi)設(shè)有保持環(huán)14，以防止拋光頭100在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中被甩出，對(duì)拋光頭100具有固定作用。

如圖1所示，根據(jù)本發(fā)明可選的實(shí)施例，蓋體20包括頂蓋21和圍板22，基體30在膜片40與頂蓋21緊密相連接，頂蓋21的下壁面與基體30之間緊密接觸，圍板22圍繞頂蓋21成環(huán)形設(shè)置且從頂蓋21的外周沿向下延伸，頂蓋21和圍板22共同作用將容納腔20a封閉起來(lái)，形成一個(gè)密閉的腔體，避免拋光液由進(jìn)入到容納腔20a內(nèi)。

如圖1所示，根據(jù)本發(fā)明可選的示例，頂蓋21水平設(shè)置，頂蓋21的表面呈水平面布置，成型方便。

如圖1所示，在本發(fā)明的一些具體示例中，頂蓋21與圍板22之間通過(guò)圓弧部23相連接，使得頂蓋21與圍板22之間的過(guò)渡自然，外形美觀。

圖2是圖1所示的示例的極限位置的示意圖，即設(shè)置在基體30上的壓環(huán)322與夾片組件10的頂部存在最大間隙，此時(shí)，蓋體20的豎直方向上的圍板22與壓蓋50具有一段相互重合的位置，在化學(xué)機(jī)械拋光過(guò)程中，飛濺的拋光液可沿蓋體20的頂部下滑，滴落在拋光盤(未示出)上，這樣可以有效避免拋光液進(jìn)入拋光頭100的內(nèi)部，防止拋光液在基體30與夾片組件10相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)被擠出進(jìn)而影響拋光效果。

如圖3所示，在本發(fā)明的另一些具體示例中，頂蓋21與圍板22之間通過(guò)傾斜部24相連接，這樣，落在蓋體20上的拋光液可以沿著頂蓋21通過(guò)傾斜部24下滑，有利于拋光液下滑滴落在拋光盤上。

圖4是圖3所示的示例的極限位置的示意圖，即設(shè)置在基體30上的壓環(huán)322與夾片組件10的頂部存在最大間隙，此時(shí)，蓋體20的豎直方向的圍板22與壓蓋50具有一段重合位置，飛濺的拋光液可沿蓋體20的頂部下滑，滴落在拋光盤上，這樣可以有效防止拋光液進(jìn)入拋光頭100的內(nèi)部，防止拋光液被擠出進(jìn)而影響拋光效果。

參照?qǐng)D5，根據(jù)本發(fā)明的可選的示例，頂蓋21沿從其中心處向圍板22處的方向逐漸向下傾斜地設(shè)置，頂蓋21的表面形成為錐形面，頂蓋21與圍板22直接過(guò)渡銜接，這樣飛濺的拋光液濺落在頂蓋21上時(shí)，可以沿著錐形面向下滑落，防止拋光液積聚在頂蓋21上，最終滴落在拋光盤上。

圖6是圖5所示的示例的極限位置的示意圖，即設(shè)置在基體30上的壓環(huán)322與夾片組件10的頂部存在最大間隙，此時(shí)，蓋體20的豎直方向上的圍板22與壓蓋50存在一段重合位置，飛濺的拋光液可沿蓋體20的錐形面下滑，滴落在拋光盤上，這樣可以有效防止拋光液進(jìn)入拋光頭100的內(nèi)部，防止拋光液在拋光頭100工作過(guò)程中被擠出進(jìn)而影響拋光效果。

可選地，蓋體20、壓蓋50、第二密封圈70及第一密封圈60共同構(gòu)成一個(gè)拋光頭100的防護(hù)裝置，可以有效防止拋光液進(jìn)入拋光頭100的內(nèi)部，同時(shí)滿足拋光頭100自適應(yīng)性的要求。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的不積水的拋光頭100的其他構(gòu)成以及操作對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員而言都是已知的，這里不再詳細(xì)描述。

在本說(shuō)明書的描述中，參考術(shù)語(yǔ)“一個(gè)實(shí)施例”、“一些實(shí)施例”、“示意性實(shí)施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)包含于本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例或示例中。在本說(shuō)明書中，對(duì)上述術(shù)語(yǔ)的示意性表述不一定指的是相同的實(shí)施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)可以在任何的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。

盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實(shí)施例，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解：在不脫離本發(fā)明的原理和宗旨的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本發(fā)明的范圍由權(quán)利要求及其等同物限定。