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      一種納米鍍膜設(shè)備進料裝置的制作方法

      文檔序號:11658307閱讀:499來源:國知局

      本實用新型屬于真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種納米鍍膜設(shè)備進料裝置。



      背景技術(shù):

      等離子鍍膜作為提升材料表面性能有效方法被廣泛應(yīng)用于航空航天、汽車制造、機械重工和五金工具制造等領(lǐng)域。在等離子鍍膜時,需要將反應(yīng)腔室抽真空,然后向反應(yīng)腔室內(nèi)通入化學(xué)單體和工藝氣體?;瘜W(xué)單體以液體形式加入與反應(yīng)腔體連通的容器中,通過對容器加熱使容器內(nèi)的化學(xué)單體液體蒸發(fā)成氣態(tài),由于反應(yīng)腔室持續(xù)抽真空,蒸發(fā)的單體蒸汽擴散進入反應(yīng)腔室?,F(xiàn)有納米鍍膜設(shè)備單體蒸汽和工藝氣體通常從不同入口進入反應(yīng)腔室,化學(xué)單體蒸發(fā)容器采用鋁合金材質(zhì)加工,在蒸發(fā)容器外貼加熱片進行加熱,加熱速度慢,加熱溫度精確度低。單體蒸汽向反應(yīng)腔室擴散速度慢,導(dǎo)致蒸發(fā)容器內(nèi)和連通反應(yīng)腔室間的管路內(nèi)蒸汽濃度較高,容易形成聚合物,造成管路堵塞。



      技術(shù)實現(xiàn)要素:

      本實用新型的目的是克服上述不足,提出一種納米鍍膜設(shè)備進料裝置。

      為實現(xiàn)上述目的,本實用新型所采用的技術(shù)方案是:

      一種納米鍍膜設(shè)備進料裝置,包括反應(yīng)腔室、蒸發(fā)容器、電熱管、輸氣管路、工藝氣體管路和化學(xué)單體進料管。所述輸氣管路前端與工藝氣體管路相連通,后端與反應(yīng)腔室相連通;所述蒸發(fā)容器安裝于輸氣管路內(nèi);所述化學(xué)單體進料管安裝于輸氣管路和蒸發(fā)容器上部,且其下端伸入蒸發(fā)容器內(nèi)部,其上端伸出輸氣管路外部;所述蒸發(fā)容器底部連接有電熱管,且電熱管伸入蒸發(fā)容器底部的U型槽內(nèi)。

      所述化學(xué)單體通過化學(xué)單體進料管加入蒸發(fā)容器內(nèi),電熱管加熱蒸發(fā)容器使化學(xué)單體液體形成蒸汽,進入與反應(yīng)腔室連通的輸氣管路,工藝氣體經(jīng)工藝氣體管路也接入輸氣管路,引導(dǎo)化學(xué)單體蒸汽進入反應(yīng)腔室。

      所述反應(yīng)腔室的容積為50L-1000L,材質(zhì)為鋁合金或不銹鋼。

      所述蒸發(fā)容器直徑為20mm-200mm,材質(zhì)為銅合金、鋁合金或不銹鋼。

      所述電熱管功率為10W-200W。

      所述輸氣管路內(nèi)徑為22mm-202mm。

      本實用新型的上述技術(shù)方案與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點:

      電熱管插入蒸發(fā)容器內(nèi)部加熱,升溫速度快,充分保證單體加熱汽化的工作穩(wěn)定性,加熱方式便捷可靠。

      利用工藝氣體,例如氦氣或者氬氣等的氣流,引導(dǎo)單體蒸汽進入反應(yīng)腔室,可避免單體蒸汽在蒸發(fā)容器內(nèi)和管路內(nèi)密度過高,有效降低化學(xué)單體在汽化區(qū)域聚合的可能性,避免出現(xiàn)管路堵塞,降低設(shè)備的維護成本,增加設(shè)備量產(chǎn)穩(wěn)定性。

      附圖說明

      圖1是一種納米鍍膜設(shè)備進料裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;

      圖中,1反應(yīng)腔室;2蒸發(fā)容器;3電熱管;4輸氣管路;5工藝氣體管路;6化學(xué)單體進料管。

      具體實施方式

      下面結(jié)合附圖和具體實施例詳細(xì)說明本實用新型,但本實用新型并不局限于具體實施例。

      實施例1

      如圖1所示,一種納米鍍膜設(shè)備進料裝置,包括反應(yīng)腔室1、蒸發(fā)容器2、電熱管3、輸氣管路4、工藝氣體管路5和化學(xué)單體進料管6;所述輸氣管路前端與工藝氣體管路相連通,后端與反應(yīng)腔室相連通;所述蒸發(fā)容器安裝于輸氣管路內(nèi);

      所述化學(xué)單體進料管安裝于輸氣管路和蒸發(fā)容器上部,且其下端伸入蒸發(fā)容器內(nèi)部,其上端伸出輸氣管路外部;所述蒸發(fā)容器底部連接有電熱管,且電熱管伸入蒸發(fā)容器底部的U型槽內(nèi)。

      所述化學(xué)單體通過化學(xué)單體進料管加入蒸發(fā)容器內(nèi),電熱管加熱蒸發(fā)容器使化學(xué)單體液體形成蒸汽,進入與反應(yīng)腔室連通的輸氣管路,工藝氣體經(jīng)工藝氣體管路也接入輸氣管路,引導(dǎo)化學(xué)單體蒸汽進入反應(yīng)腔室。

      反應(yīng)腔室1的腔容積為50L,材質(zhì)為鋁合金。

      蒸發(fā)容器2為圓筒形,且其直徑為20mm,材質(zhì)為銅合金。

      電熱管3功率為10W。

      輸氣管路4內(nèi)徑為22mm。

      實施例2

      本實施例中的一種納米鍍膜設(shè)備進料裝置與實施例1中基本結(jié)構(gòu)相同,其中不同的技術(shù)參數(shù)是:

      反應(yīng)腔室1的腔容積為300L,材質(zhì)為不銹鋼。

      蒸發(fā)容器2為圓筒形,且其直徑為50mm,材質(zhì)為鋁合金。

      電熱管3功率為60W。

      輸氣管路4內(nèi)徑為80mm。

      實施例3

      本實施例中的一種納米鍍膜設(shè)備進料裝置與實施例1中基本結(jié)構(gòu)相同,其中不同的技術(shù)參數(shù)是:

      反應(yīng)腔室1的腔容積為700L,材質(zhì)為不銹鋼。

      蒸發(fā)容器2為圓筒形,且其直徑為130mm,材質(zhì)為不銹鋼。

      電熱管3功率為150W。

      輸氣管路4內(nèi)徑為140mm。

      實施例4

      本實施例中的一種納米鍍膜設(shè)備進料裝置與實施例1中基本結(jié)構(gòu)相同,其中不同的技術(shù)參數(shù)是:

      反應(yīng)腔室1的腔容積為1000L,材質(zhì)為鋁。

      蒸發(fā)容器2為圓筒形,且其直徑為200mm,材質(zhì)為鋁合金。

      電熱管3功率為200W。

      輸氣管路4內(nèi)徑為202mm。

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