技術(shù)總結(jié)
一種一體成形式晶圓研磨定位環(huán)，包括一頂面、一底面，以及一外周面，定位環(huán)利用聚合物以塑膠射出成形方式制成，頂面凹設(shè)一環(huán)形定位槽與多個(gè)間隔設(shè)置于定位槽的組配部，底面凹設(shè)多個(gè)呈間隔狀的導(dǎo)溝，各導(dǎo)溝在底面成形出的最外側(cè)開口寬度大于最內(nèi)側(cè)開口寬度；通過本實(shí)用新型的技術(shù)特征即可達(dá)成制造效率、成品品質(zhì)，以及研磨效率都大幅提升的發(fā)明目的。

技術(shù)研發(fā)人員：劉元周
受保護(hù)的技術(shù)使用者：科建國際實(shí)業(yè)股份有限公司
文檔號(hào)碼：201720116456
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.08
技術(shù)公布日：2017.11.17