本實(shí)用新型涉及太陽能電池制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種石墨舟片及石墨舟。

背景技術(shù)：

在硅基體太陽能電池的制造工藝過程中，通常采用薄膜沉積工藝進(jìn)行硅片的鍍膜，例如，可采用PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition，等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)的沉積工藝對硅片進(jìn)行氮化硅的真空鍍膜，使硅片表面形成防反射層(鈍化層)。

在進(jìn)行硅片表面鍍膜時(shí)，將未鍍膜的硅片插入PECVD真空鍍膜設(shè)備的載片器上，通常載片器由石墨舟來實(shí)現(xiàn)，即，將未鍍膜的硅片插入石墨舟，然后將載有硅片的石墨舟放置在PECVD真空鍍膜設(shè)備的腔體內(nèi)，采用PECVD工藝對硅片進(jìn)行鍍膜；鍍膜結(jié)束后，從真空鍍膜設(shè)備的腔體中取出石墨舟，將鍍膜的硅片從石墨舟上拆卸下來，完成對硅片的鍍膜。

石墨舟由多個(gè)并列排布的石墨舟片連接在一起構(gòu)成，現(xiàn)有的石墨舟片在安裝、拆卸或使用過程中容易發(fā)生斷裂，使用者需要對整片石墨舟片進(jìn)行更換，且生產(chǎn)時(shí)，現(xiàn)有的石墨舟片對原材料要求較高，費(fèi)用較高。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種石墨舟片及石墨舟，以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的石墨舟片在安裝、拆卸或使用過程中容易發(fā)生斷裂，使用者需要對整片石墨舟片進(jìn)行更換，且生產(chǎn)時(shí)，現(xiàn)有的石墨舟片對原材料要求較高，費(fèi)用較高的技術(shù)問題。

本實(shí)用新型提供的石墨舟片，沿其長度方向依次包括第一連接耳、拼接部和第二連接耳，所述第一連接耳和所述第二連接耳分別設(shè)于所述拼接部的兩端；所述拼接部包括至少兩個(gè)拼接片，多個(gè)所述拼接片沿所述石墨舟片的長度方向依次排布，且相鄰兩個(gè)所述拼接片之間配合拼接；所述拼接片上設(shè)有用于承載硅片的硅片位，所述拼接片上靠近所述硅片位的位置設(shè)有硅片卡件。

進(jìn)一步的，所述拼接片用于拼接的一端為拼接端，相互配合拼接的兩個(gè)所述拼接片中，其中一個(gè)所述拼接片的拼接端為第一拼接端，另一個(gè)所述拼接片的拼接端為第二拼接端，所述第一拼接端與所述第二拼接端相匹配。

進(jìn)一步的，所述第一拼接端為S型波浪拼接端，所述第二拼接端與所述第一拼接端相匹配。

進(jìn)一步的，所述第一拼接端為H型折線拼接端，所述第二拼接端與所述第一拼接端相匹配。

進(jìn)一步的，每個(gè)所述拼接片上沿其長度方向設(shè)有至少一個(gè)硅片位，所述硅片卡件為多個(gè)，且分散布置于所述拼接片上靠近所述硅片位的四周。

進(jìn)一步的，所述第一連接耳和所述第二連接耳分別固設(shè)于所述拼接部的兩端。

進(jìn)一步的，所述第一連接耳與所述第二連接耳分別與所述拼接部的兩端配合拼接。

本實(shí)用新型石墨舟片的有益效果為：

本實(shí)用新型提供的石墨舟片，包括第一連接耳、第二連接耳和拼接部，其中，拼接部又包括多個(gè)依次拼接的拼接片，即，沿石墨舟片的長度方向依次為第一連接耳、拼接部(沿石墨舟片長度方向依次排列的至少兩個(gè)拼接片)和第二連接耳。使用時(shí)，將第一連接耳的位置固定，沿石墨舟片的長度方向依次將拼接片和第二連接耳拼接上；或?qū)⑵渲幸粋€(gè)拼接片位置固定，將其他的拼接片以及第一連接耳和第二連接耳依次拼接上，完成整個(gè)石墨舟片的拼接，拼接完成后，將多個(gè)石墨舟片組合成石墨舟，隨后將需要鍍膜的硅片通過硅片卡件固定在石墨舟片的硅片位上，把石墨舟放置于PECVD真空鍍膜設(shè)備中，對硅片進(jìn)行鍍膜。由于石墨的硬度較小，在安裝、拆卸或使用石墨舟片的過程中，當(dāng)其中的一個(gè)拼接片、第一連接耳或第二連接耳發(fā)生斷裂時(shí)，只需將發(fā)生斷裂的部分拆卸下來進(jìn)行更換即可，不再需要對整個(gè)石墨舟片進(jìn)行更換，可以有效降低運(yùn)行成本。

生產(chǎn)石墨舟片時(shí)，根據(jù)事先設(shè)計(jì)好的形狀和大小對拼接片、第一連接耳和第二連接耳進(jìn)行加工，加工過程中可采用小型機(jī)床，可以有效提高石墨舟片的加工速度和加工精度。此外，由于拼接片、第一連接耳和第二連接耳的尺寸相較于整個(gè)石墨舟片要小很多，在對原材料進(jìn)行選擇時(shí)，當(dāng)原材料有部分瑕疵時(shí)，可以選取其中合格的部分進(jìn)行加工，而不需要舍棄整塊原材料，從而減少了原材料浪費(fèi)，也降低了生產(chǎn)成本。

本實(shí)用新型的另一個(gè)目的在于提供一種石墨舟，包括上述石墨舟片，所述石墨舟片為多個(gè)，且沿其厚度方向依次并列排布，多個(gè)所述石墨舟片之間通過石墨桿連接；多個(gè)所述石墨舟片的第一連接耳和第二連接耳上均設(shè)有相互對應(yīng)的連接孔，所述石墨桿穿設(shè)于同一端的多個(gè)所述連接孔內(nèi)，該石墨舟具有上述石墨舟片的所有技術(shù)效果，這里不再贅述。

進(jìn)一步的，相鄰兩個(gè)所述第一連接耳和/或相鄰兩個(gè)所述第二連接耳之間夾緊有石墨塊，所述石墨塊套設(shè)于所述石墨桿上。

進(jìn)一步的，多個(gè)所述石墨舟片的拼接部均設(shè)有相互對應(yīng)的定位孔，所述定位孔內(nèi)穿設(shè)有陶瓷桿，且相鄰兩個(gè)拼接部之間夾緊有陶瓷圈，所述陶瓷圈套設(shè)于所述陶瓷桿上。

本實(shí)用新型石墨舟的有益效果為：

本實(shí)用新型提供的石墨舟，包括多個(gè)拼接完成的石墨舟片，將拼接好的石墨舟片沿其厚度方向并列排布，其中，多個(gè)第一連接耳位于石墨舟的同一端，多個(gè)第二連接耳位于石墨舟的另一端，位于同一端的連接孔前后照應(yīng)，將石墨桿穿設(shè)于同一端的連接孔內(nèi)，石墨桿與連接孔可以為過度配合，此時(shí)，石墨桿充當(dāng)電極，當(dāng)石墨桿通電時(shí)，每個(gè)石墨舟片均可以處于通電狀態(tài)；此外，石墨桿還用于對多個(gè)石墨舟片的連接。使用時(shí)，將需要鍍膜的硅片固定在拼接片上的硅片位上，將整個(gè)石墨舟推進(jìn)PECVD真空鍍膜設(shè)備的空腔內(nèi)，對硅片進(jìn)行鍍膜，在石墨舟片的安裝、拆卸和使用過程中，當(dāng)其中的一部分發(fā)生斷裂時(shí)，只需將該部分拆卸下來進(jìn)行更換即可，不再需要對整個(gè)石墨舟片進(jìn)行更換，可以有效降低運(yùn)行成本。

附圖說明

為了更清楚地說明本實(shí)用新型具體實(shí)施方式或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對具體實(shí)施方式或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實(shí)用新型的一些實(shí)施方式，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的石墨舟片的第一拼接端為S型波浪拼接端且拼接部包括兩個(gè)拼接片的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的石墨舟片的第一拼接端為S型波浪拼接端且拼接部包括多個(gè)拼接片的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的石墨舟片的第一拼接端為H型波浪拼接端且拼接部包括兩個(gè)拼接片的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例二提供的石墨舟的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖標(biāo)：1－第一連接耳；2－拼接部；3－第二連接耳；4－石墨桿；5－連接孔；6－石墨塊；7－陶瓷桿；8－陶瓷圈；21－拼接片；22－硅片位；23－拼接端；24－硅片卡件；25－定位孔；231－第一拼接端；232－第二拼接端。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

在本實(shí)用新型的描述中，需要說明的是，術(shù)語“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實(shí)用新型的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。

在本實(shí)用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本實(shí)用新型中的具體含義。

實(shí)施例一

本實(shí)施例提供一種石墨舟片，如圖1－圖3所示，沿其長度方向依次包括第一連接耳1、拼接部2和第二連接耳3，第一連接耳1和第二連接耳3分別設(shè)于拼接部2的兩端；拼接部2包括多個(gè)拼接片21，多個(gè)拼接片21沿石墨舟片的長度方向依次排布，且相鄰兩個(gè)拼接片21之間配合拼接；拼接片21上設(shè)有用于承載硅片的硅片位22，拼接片21上靠近所述硅片位22的位置設(shè)有硅片卡件24。

本實(shí)施例提供的石墨舟片，包括第一連接耳1、第二連接耳3和拼接部2，其中，拼接部2又包括多個(gè)依次拼接的拼接片21，即，沿石墨舟片的長度方向依次為第一連接耳1、拼接部2(沿石墨舟片長度方向依次排列的至少兩個(gè)拼接片21)和第二連接耳3。使用時(shí)，將第一連接耳1的位置固定，沿石墨舟片的長度方向依次將拼接片21和第二連接耳3拼接上；或?qū)⑵渲幸粋€(gè)拼接片21位置固定，將其他的拼接片21以及第一連接耳1和第二連接耳3依次拼接上，完成整個(gè)石墨舟片的拼接，拼接完成后，將多個(gè)石墨舟片組合成石墨舟，隨后將需要鍍膜的硅片通過硅片卡件24固定在石墨舟片的硅片位22上，把石墨舟放置于PECVD真空鍍膜設(shè)備中，對硅片進(jìn)行鍍膜。由于石墨的硬度較小，在安裝、拆卸或使用石墨舟片的過程中，當(dāng)其中的一個(gè)拼接片21、第一連接耳1或第二連接耳3發(fā)生斷裂時(shí)，只需將發(fā)生斷裂的部分拆卸下來進(jìn)行更換即可，不再需要對整個(gè)石墨舟片進(jìn)行更換，可以有效降低運(yùn)行成本。

生產(chǎn)石墨舟片時(shí)，根據(jù)事先設(shè)計(jì)好的形狀和大小對拼接片21、第一連接耳1和第二連接耳3進(jìn)行加工，加工過程中可采用小型機(jī)床，可以有效提高石墨舟片的加工速度和加工精度。此外，由于拼接片21、第一連接耳1和第二連接耳3的尺寸相較于整個(gè)石墨舟片要小很多，在對原材料進(jìn)行選擇時(shí)，當(dāng)原材料有部分瑕疵時(shí)，可以選取其中合格的部分進(jìn)行加工，而不需要舍棄整塊原材料，從而減少了原材料浪費(fèi)，也降低了生產(chǎn)成本。

本實(shí)施例中，如圖1－圖3所示，拼接片21用于拼接的一端為拼接端23，相互配合拼接的兩個(gè)拼接片21中，其中一個(gè)拼接片21的拼接端23為第一拼接端231，另一個(gè)拼接片21的拼接端23為第二拼接端232，第一拼接端231與第二拼接端232相匹配。生產(chǎn)前，可以根據(jù)實(shí)際需要以及對拼接片21的拼接精度確定第一拼接端231和第二拼接端232的尺寸和形狀；使用時(shí)，相鄰拼接片21通過第一拼接端231和第二拼接端232拼接在一起，完成不同拼接片21的配合拼接，得到完整的石墨舟片，其中第一拼接端231和第二拼接端232的配合結(jié)構(gòu)直接決定了兩個(gè)拼接片21的拼接配合精度以及拼接的牢固性。

另外，當(dāng)不同的拼接片21完成拼接后，可以使用固定塊將兩塊拼接片21固定在一起。具體的，可以在相鄰兩塊拼接片21拼接端23處的表面共同開設(shè)有固定槽，即，固定槽同時(shí)位于兩塊拼接塊上，兩塊拼接塊完成拼接后，將于固定槽相匹配的固定塊插于(或鑲嵌于)固定槽中，將兩塊拼接塊固定在一起，減少搬運(yùn)過程中拼接塊沿石墨舟片長度方向上發(fā)生位移而降低石墨舟片精度情況的發(fā)生。為了對拼接后石墨舟片寬度方向以及厚度方向的定位，還可以在第一拼接端231上設(shè)有插接槽，第二拼接端232上設(shè)有與插接槽相對應(yīng)的插接頭，第一拼接端231與第二拼接端232配合拼接后，插接頭插入插接槽內(nèi)，實(shí)現(xiàn)對拼接后石墨舟片寬度方向以及厚度方向的定位。

具體的，本實(shí)施例中，如圖1和圖2所示，第一拼接端231可以為S型波浪拼接端23，第二拼接端232與第一拼接端231相匹配。第一拼接端231為S型波浪拼接端23時(shí)，與其相匹配的第二拼接端232也為S波浪型，第一拼接端231和第二拼接端232拼接時(shí)，S型波浪拼接端23可以增大兩個(gè)拼接片21的接觸面積，提高第一拼接端231與第二拼接端232拼接的配合精度，從而提高拼接后石墨舟片的完整度。

除上述S型波浪拼接端23外，本實(shí)施例中，如圖3所示，第一拼接端231還可以為H型折線拼接端23，第二拼接端232與第一拼接端231相匹配。相較于S型波浪拼接端23，H型折線拼接端23的彎折程度更大，因此能夠進(jìn)一步提高拼接后拼接片21之間的配合精度，相應(yīng)進(jìn)一步提高拼接后石墨舟片的完整度。

這里需要說明的是，相鄰拼接片21的第一拼接端231并不局限于上述S型波浪拼接端23和H型折線拼接端23，其他三角型、直線型等等只要能夠?qū)崿F(xiàn)兩塊拼接片21拼接的都可以。

本實(shí)施例中，如圖1－圖3所示，可以在每個(gè)拼接片21上沿其長度方向設(shè)有至少一個(gè)硅片位22，硅片卡件24為多個(gè)，且分散布置于拼接片21上靠近硅片位22的四周。拼接片21上的硅片位22用于承載需要鍍膜的硅片，硅片位22四周的多個(gè)硅片卡件24同時(shí)將硅片固定在拼接片21上，從而進(jìn)一步確保對硅片的固定，減少其在硅片位22上發(fā)生位移甚至掉落情況的發(fā)生。其中，拼接片21上沿其長度方向硅片位22個(gè)數(shù)的設(shè)置，應(yīng)該根據(jù)實(shí)際石墨舟片的長度、石墨舟片上硅片的尺寸以及拼接片21的塊數(shù)來確定每塊拼接片21上硅片位22的個(gè)數(shù)。具體的，石墨舟片的厚度可以為2.5mm，石墨舟片長度可以為1196mm，硅片尺寸可以為156mm×156mm或125mm×125mm；石墨舟片長度還可以為1370mm或1537mm，硅片尺寸為156mm×156mm。

本實(shí)施例中，如圖1－圖3所示，第一連接耳1和第二連接耳3可以分別固設(shè)于拼接部2的兩端。第一連接耳1和第二連接耳3尺寸較小，用于不同石墨舟片的連接，第一連接耳1和第二連接耳3均固設(shè)于拼接部2的端部，一方面不會過多增大拼接片21的尺寸，另一方面可以增強(qiáng)石墨舟片組成石墨舟后的穩(wěn)定性。

本實(shí)施例中，第一連接耳1與第二連接耳3也可以分別與拼接部2的兩端配合拼接。第一連接耳1和第二連接耳3為獨(dú)立部件時(shí)，可以提高生產(chǎn)過程的便捷度，還可以提高第一連接耳1、第二連接耳3以及拼接片21的生產(chǎn)精度，且安裝、拆卸時(shí)較為方便。

實(shí)施例二

本實(shí)施例提供一種石墨舟，如圖4所示，包括實(shí)施例一所述的石墨舟片，石墨舟片為多個(gè)，且沿其厚度方向依次并列排布，多個(gè)石墨舟片之間通過石墨桿4連接；多個(gè)石墨舟片的第一連接耳1和第二連接耳3上均設(shè)有相互對應(yīng)的連接孔5，石墨桿4穿設(shè)于同一端的多個(gè)連接孔5內(nèi)，該石墨舟具有上述石墨舟片的所有技術(shù)效果，這里不再贅述。

本實(shí)施例提供的石墨舟，包括多個(gè)拼接完成的石墨舟片，將拼接好的石墨舟片沿其厚度方向并列排布，其中，多個(gè)第一連接耳1位于石墨舟的同一端，多個(gè)第二連接耳3位于石墨舟的另一端，位于同一端的連接孔5前后照應(yīng)，將石墨桿4穿設(shè)于同一端的連接孔5內(nèi)，石墨桿4與連接孔5可以為過度配合，此時(shí)，石墨桿4充當(dāng)電極，當(dāng)石墨桿4通電時(shí)，每個(gè)石墨舟片均可以處于通電狀態(tài)；此外，石墨桿4還用于對多個(gè)石墨舟片的連接。使用時(shí)，將需要鍍膜的硅片固定在拼接片21上的硅片位22上，將整個(gè)石墨舟推進(jìn)PECVD真空鍍膜設(shè)備的空腔內(nèi)，對硅片進(jìn)行鍍膜，在石墨舟片的安裝、拆卸和使用過程中，當(dāng)其中的一部分發(fā)生斷裂時(shí)，只需將該部分拆卸下來進(jìn)行更換即可，不再需要對整個(gè)石墨舟片進(jìn)行更換，可以有效降低運(yùn)行成本。

考慮到石墨材料硬度較小，可以在石墨舟片的第一連接耳1和第二連接耳3上的不同位置設(shè)置兩個(gè)連接孔5，其中一個(gè)連接孔5穿設(shè)石墨桿4用以充當(dāng)電極，另一個(gè)連接孔5內(nèi)穿設(shè)陶瓷桿7，并在陶瓷桿7兩端擰上陶瓷螺母對多個(gè)石墨舟片進(jìn)行連接定位。此外，考慮到石墨舟在真空鍍膜設(shè)備中的定位，還可以在石墨舟片的第一連接耳1和第二連接耳3下部設(shè)置定位片，多個(gè)石墨舟片并列連接成為石墨舟后，多個(gè)并列排布的定位片形成定位槽；真空鍍膜設(shè)備的空腔內(nèi)可以設(shè)置與定位槽相對應(yīng)的支座，將石墨舟推進(jìn)真空鍍膜設(shè)備的空腔后，石墨舟的定位槽與支座配合連接，將石墨舟固定在一定的位置。

本實(shí)施例中，如圖4所示，可以在相鄰兩個(gè)第一連接耳1和/或相鄰兩個(gè)第二連接耳3之間夾緊有石墨塊6，石墨塊6套設(shè)于石墨桿4上。石墨塊6的設(shè)置一方面可以確保石墨桿4與石墨舟片之間的導(dǎo)電性，另一方面也可以對相鄰石墨舟片之間的距離進(jìn)行定位，確保相鄰石墨舟片之間留有一定的間隙。

本實(shí)施例中，如圖4所示，還可以在石墨舟片的拼接部2均設(shè)有相互對應(yīng)的定位孔25，定位孔25內(nèi)穿設(shè)有陶瓷桿7，且相鄰兩個(gè)拼接部2之間夾緊有陶瓷圈8，陶瓷圈8套設(shè)于陶瓷桿7上。陶瓷桿7硬度較大，穿設(shè)于石墨舟片上的定位孔25中，將多個(gè)石墨舟片連接在一起；陶瓷桿7上套設(shè)有陶瓷圈8，陶瓷圈8夾緊于相鄰兩個(gè)拼接部2之間，一方面，陶瓷圈8可以對相鄰石墨舟片之間的距離進(jìn)行定位，以留出硅片取放的空間；另一方面，陶瓷圈8為絕緣材料，在控制石墨舟片之間不接觸的同時(shí)，可以確保相鄰石墨舟片之間的絕緣。具體的，為了方便陶瓷桿7的安裝、拆卸和長度調(diào)節(jié)，可以在陶瓷桿7的端部設(shè)置螺紋，使用螺母與陶瓷桿7配合使用。

最后應(yīng)說明的是：以上各實(shí)施例僅用以說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對其限制；盡管參照前述各實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解：其依然可以對前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對其中部分或者全部技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型各實(shí)施例技術(shù)方案的范圍。