本實用新型涉及鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為立式平面磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線。

背景技術(shù)：

磁控濺射是物理氣相沉積的一種。一般的濺射法可被用于制備金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等多材料，且具有設(shè)備簡單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強等優(yōu)點，而上世紀 70 年代發(fā)展起來的磁控濺射法更是實現(xiàn)了高速、低溫、低損傷。因為是在低氣壓下進行高速濺射，必須有效地提高氣體的離化率。磁控濺射通過在靶陰極表面引入磁場，利用磁場對帶電粒子的約束來提高等離子體密度以增加濺射率，隨著近些年我國科技的快速發(fā)展，人們開始將磁控濺射技術(shù)用在鍍膜生產(chǎn)上，由于技術(shù)不夠成熟，現(xiàn)有的磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線一般為整體式結(jié)構(gòu)，這不利于在原有基礎(chǔ)上提升生產(chǎn)線的生產(chǎn)品質(zhì)，同時現(xiàn)有的磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線不能實現(xiàn)持續(xù)的工作，降低了生產(chǎn)效率。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的在于提供立式平面磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題，所具有的有益效果是；采用拼接的加工單元可根據(jù)實際情況改善工藝結(jié)構(gòu)，方便增添其它設(shè)備，更進一步的提升生產(chǎn)線的性能，最大限度發(fā)揮和延伸原設(shè)備的潛能。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：立式平面磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線，包括出口室、出口過渡室、出口緩沖室、鍍膜室、進口緩沖室、進口過渡室和進口室，所述出口室、出口過渡室、出口緩沖室、鍍膜室、進口緩沖室、進口過渡室和進口室均與傳送帶框架上的固定耳A固定連接，且由出口室到進口室一端依次設(shè)置有出口過渡室、出口緩沖室、鍍膜室、進口緩沖室和進口過渡室，所述傳送帶框架的左右兩端分別安裝有出料中轉(zhuǎn)柜和進料中轉(zhuǎn)柜，且傳送帶框架的前側(cè)面上設(shè)置有配電柜，所述傳送帶框架的兩側(cè)壁中安裝有軸承，軸承的內(nèi)環(huán)與導(dǎo)向軸固定連接，且傳送帶框架兩側(cè)固定的外伸架中設(shè)置有軸承，軸承的內(nèi)環(huán)與主軸固定連接，所述主軸一端固定的轉(zhuǎn)輪與伺服電機的轉(zhuǎn)輪通過防滑皮帶轉(zhuǎn)動連接，且伺服電機安裝在傳送帶框架的兩側(cè)壁之間，所述進口緩沖室和進口過渡室兩側(cè)的固定耳B通過螺栓固定連接，且進口緩沖室與進口過渡室之間設(shè)置有墊片。

優(yōu)選的，所述出口室和進口室的頂端均安裝有報警燈。

優(yōu)選的，所述出口室、出口過渡室、出口緩沖室、鍍膜室、進口緩沖室、進口過渡室和進口室的兩側(cè)設(shè)置有透明窗，且出口室、出口過渡室、出口緩沖室和鍍膜室的兩側(cè)設(shè)置有固定耳B。

優(yōu)選的，所述固定耳A設(shè)置在傳送帶框架的外側(cè)。

優(yōu)選的，所述配電柜設(shè)置在出口室下端的傳送帶框架上。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：該設(shè)備將出口室、出口過渡室、出口緩沖室、鍍膜室、進口緩沖室、進口過渡室和進口室等多個加工單元通過螺栓固定連接在一起，且在裝置的內(nèi)部安裝有傳送帶，可實現(xiàn)連續(xù)不斷的生產(chǎn)，產(chǎn)能高，產(chǎn)品穩(wěn)定性好，采用拼接的加工單元可根據(jù)實際情況改善工藝結(jié)構(gòu)，方便增添其它設(shè)備，更進一步的提升生產(chǎn)線的性能，最大限度發(fā)揮和延伸原設(shè)備的潛能，且相鄰工作單元的連接處均設(shè)置有墊片，可保證裝置連接的緊密性，保證加工產(chǎn)品的質(zhì)量，本裝置設(shè)計合理，在工作單元對接，工件傳送，全自動控制等方面都有很好的互換兼容，有廣闊的市場前景。

附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型傳送帶框架內(nèi)部的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實用新型進口緩沖室與進口室連接的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1-出料中轉(zhuǎn)柜；2-配電柜；3-出口室；4-出口過渡室；5-出口緩沖室；6-鍍膜室；7-透明窗；8-進口緩沖室；9-傳送帶框架；10-進口過渡室；11-進口室；12-報警燈；13-進料中轉(zhuǎn)柜；14-固定耳A；15-導(dǎo)向軸；16-軸承；17-伺服電機；18-轉(zhuǎn)輪；19-防滑皮帶；20-主軸；21-外伸架；22-墊片；23-固定耳B；24-螺栓。

具體實施方式

下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

請參閱圖1-3，本實用新型提供的一種實施例：立式平面磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線，包括出口室3、出口過渡室4、出口緩沖室5、鍍膜室6、進口緩沖室8、進口過渡室10和進口室11，出口室3、出口過渡室4、出口緩沖室5、鍍膜室6、進口緩沖室8、進口過渡室10和進口室11均與傳送帶框架9上的固定耳A14固定連接，且由出口室3到進口室11一端依次設(shè)置有出口過渡室4、出口緩沖室5、鍍膜室6、進口緩沖室8和進口過渡室10，傳送帶框架9的左右兩端分別安裝有出料中轉(zhuǎn)柜1和進料中轉(zhuǎn)柜13，且傳送帶框架9的前側(cè)面上設(shè)置有配電柜2，傳送帶框架9的兩側(cè)壁中安裝有軸承16，軸承16的內(nèi)環(huán)與導(dǎo)向軸15固定連接，且傳送帶框架9兩側(cè)固定的外伸架21中設(shè)置有軸承16，軸承16的內(nèi)環(huán)與主軸20固定連接，主軸20一端固定的轉(zhuǎn)輪18與伺服電機17的轉(zhuǎn)輪18通過防滑皮帶19轉(zhuǎn)動連接，且伺服電機17安裝在傳送帶框架9的兩側(cè)壁之間，進口緩沖室8和進口過渡室10兩側(cè)的固定耳B23通過螺栓24固定連接，且進口緩沖室8與進口過渡室10之間設(shè)置有墊片22，出口室3和進口室11的頂端均安裝有報警燈12，出口室3、出口過渡室4、出口緩沖室5、鍍膜室6、進口緩沖室8、進口過渡室10和進口室11的兩側(cè)設(shè)置有透明窗7，且出口室3、出口過渡室4、出口緩沖室5和鍍膜室6的兩側(cè)設(shè)置有固定耳B23，固定耳A14設(shè)置在傳送帶框架9的外側(cè)，配電柜2設(shè)置在出口室3下端的傳送帶框架9上。

工作原理：使用時將需要鍍膜的產(chǎn)品運送到進料中轉(zhuǎn)柜13上，然后打開配電柜2中的開關(guān)為整個裝置供電，這時候伺服電機17工作，伺服電機17通過防滑皮帶19帶動主軸20轉(zhuǎn)動，因此，主軸20上的皮帶將需要鍍膜的產(chǎn)品依次通過進口室11、進口過渡室10、進口緩沖室8、鍍膜室6、出口緩沖室5、出口過渡室4和出口室3，完成加工之后，將加工完成的產(chǎn)品通過出料中轉(zhuǎn)柜1轉(zhuǎn)出，完成產(chǎn)品的加工，而進口室11、進口過渡室10、進口緩沖室8、鍍膜室6、出口緩沖室5、出口過渡室4和出口室3兩側(cè)的透明窗7可觀察到內(nèi)部的加工狀況。

對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本實用新型不限于上述示范性實施例的細節(jié)，而且在不背離本實用新型的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實現(xiàn)本實用新型。因此，無論從哪一點來看，均應(yīng)將實施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本實用新型的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本實用新型內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標記視為限制所涉及的權(quán)利要求。