技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了一種一體化真空鍍膜機，包括真空室體、擴散泵、羅茨泵、機械泵以及電氣柜，其特征在于：包括四方形框架，該方形框架包括底架及頂架，底架上從左至右順序安裝有真空室體、擴散泵、機械泵以及電氣柜，所述真空室體通過真空閥門連接擴散泵，所述頂架上焊有垂直于頂架的側(cè)架，所述側(cè)架上安裝有羅茨泵，且羅茨泵位于機械泵上方，且所述羅茨泵的排氣口與機械泵的入氣口正對并通過豎直的金屬管連接，所述羅茨泵的進氣管與真空閥門和擴散泵的排氣管連接，所述真空室體的半圓球形門位于框架的左外側(cè)。

技術(shù)研發(fā)人員：郭艷平
受保護的技術(shù)使用者：中山天譽真空科技有限公司
文檔號碼：201720237304
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.10
技術(shù)公布日：2017.10.03