技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型提供了一種拉絲模內(nèi)孔制備金剛石涂層的裝置，包括真空腔室及樣品臺、熱絲、導(dǎo)流器和多個(gè)具有?？椎睦z模具，樣品臺包括相對設(shè)置的第一端和第二端，拉絲模具間隔卡設(shè)在樣品臺的第一端上，樣品臺的第二端設(shè)有與?？走B通的通孔；樣品臺上方水平設(shè)置有兩端連接電極柱的熱絲；還包括插入真空腔室內(nèi)的進(jìn)氣管和排氣管，排氣管與泵相連；導(dǎo)流器的腔體具有相對設(shè)置的第一端和徑向尺寸大于第一端的第二端；第一端與進(jìn)氣管相連通，第二端上設(shè)有多個(gè)與腔體連通的分流管；分流管的出口位于?？椎恼戏?。采用該裝置能避免將熱絲穿過模具內(nèi)孔，將沉積涂層用的反應(yīng)氣體在熱絲周圍產(chǎn)生的等離子團(tuán)定向引至拉絲模具的模孔內(nèi)，實(shí)現(xiàn)金剛石涂層的均勻沉積。

技術(shù)研發(fā)人員：唐永炳;張松全;王陶
受保護(hù)的技術(shù)使用者：深圳先進(jìn)技術(shù)研究院
文檔號碼：201720240029
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.13
技術(shù)公布日：2017.10.10