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      一種雙面真空薄膜鍍鋁裝置的制作方法

      文檔序號:12920250閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種雙面真空薄膜鍍鋁裝置,其特征在于,所述的雙面真空薄膜鍍鋁裝置包括真空室,真空室內(nèi)設(shè)置有開卷機(jī)、收卷機(jī)、片狀基材、第一冷卻滾筒、第一鋁蒸鍍源、第二鋁蒸鍍源、第二冷卻滾筒、氣體噴嘴和隔板,所述隔板將真空室分隔成上層和下層,第一鋁蒸鍍源和第二鋁蒸鍍源位于下層,開卷機(jī)、收卷機(jī)和氣體噴嘴位于上層;隔板上設(shè)置有兩個平行的條形孔,第一冷卻滾筒和第二冷卻滾筒分別位于其中一個條形孔內(nèi),開卷機(jī)、第一冷卻滾筒、第二冷卻滾筒和收卷機(jī)組成傳動系統(tǒng),片狀基材設(shè)置在該傳動系統(tǒng)上;開卷機(jī)的旋轉(zhuǎn)方向與第一冷卻滾筒的旋轉(zhuǎn)方向相反;第一冷卻滾筒的旋轉(zhuǎn)方向與第二冷卻滾筒的旋轉(zhuǎn)方向相反;第二冷卻滾筒的旋轉(zhuǎn)方向與收卷機(jī)的旋轉(zhuǎn)方向相反;第一鋁蒸鍍源設(shè)置在第一冷卻滾筒的正下方;第二鋁蒸鍍源設(shè)置在第二冷卻滾筒的正下方;第一鋁蒸鍍源與第一冷卻滾筒的下表面上的片狀基材的正面相對;第二鋁蒸鍍源與第二冷卻滾筒的下表面上的片狀基材的反面相對。

      2.如權(quán)利要求1所述的雙面真空薄膜鍍鋁裝置,其特征在于,所述的氣體噴嘴設(shè)置在收卷機(jī)的斜上方,氣體噴嘴與氧化氣體配管連接,所述的氧化氣體配管上設(shè)置有流量閥。

      3.如權(quán)利要求1所述的雙面真空薄膜鍍鋁裝置,其特征在于,所述的第一冷卻滾筒和第二冷卻滾筒的溫度維持在-10℃至-15℃之間。

      4.如權(quán)利要求1所述的雙面真空薄膜鍍鋁裝置,其特征在于,所述的第一冷卻滾筒和第二冷卻滾筒的旋轉(zhuǎn)速度維持在300至900厘米/秒之間。

      5.如權(quán)利要求1所述的雙面真空薄膜鍍鋁裝置,其特征在于,所述真空室內(nèi)的壓力維持在2.66×10-5KPa至2.66×10-6KPa之間。

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