本發(fā)明涉及半導(dǎo)體芯片，具體為一種半導(dǎo)體芯片多方位加工夾具。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體芯片是一種基于半導(dǎo)體材料制造的電子器件，通常被用作集成電路的核心組成部分，半導(dǎo)體芯片上可以集成數(shù)百萬(wàn)個(gè)晶體管、電容器和電阻器等電子元件，這些元件通過(guò)復(fù)雜的制造過(guò)程，如浸蝕和布線，被集成到一塊小型的硅片上，半導(dǎo)體芯片可以在電流控制方面發(fā)揮特殊作用，能夠自動(dòng)控制電流大小，從而實(shí)現(xiàn)各種電路功能，與傳統(tǒng)離散元器件相比，具有體積小、功耗低、工作可靠、生產(chǎn)效率高等優(yōu)勢(shì)。

2、現(xiàn)有的半導(dǎo)體芯片在生產(chǎn)完成后晶圓的切割后，會(huì)在芯片的切割處出現(xiàn)毛刺，而芯片在后續(xù)的去毛刺過(guò)程是要將芯片固定在一個(gè)鋼制夾具中，再將夾具固定在真空加工臺(tái)頂部，通過(guò)打磨設(shè)備進(jìn)行精準(zhǔn)打磨去毛刺，但以往夾具的安裝方式是通過(guò)螺栓連接，螺栓的螺紋有偏差導(dǎo)致夾具無(wú)法與芯片更加緊密的貼合誤差多余0.002mm，而且夾具較小，在真空加工臺(tái)表面固定不牢，而且只能固定在真空加工臺(tái)表面進(jìn)行打磨加工，這也就使得夾具的適用范圍較小。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體芯片多方位加工夾具，解決了以往夾具的安裝方式是通過(guò)螺栓連接，螺栓的螺紋有偏差導(dǎo)致夾具無(wú)法與芯片更加緊密的貼合，而且夾具較小，在真空加工臺(tái)表面固定不牢，而且只能固定在真空加工臺(tái)表面進(jìn)行打磨加工，這也就使得夾具的使用范圍較小的問(wèn)題。

2、技術(shù)方案

3、為實(shí)現(xiàn)以上目的，本發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)：一種半導(dǎo)體芯片多方位加工夾具，包括托盤，所述托盤頂部設(shè)置有機(jī)臺(tái)，所述機(jī)臺(tái)一側(cè)靠近頂部位置貼合有固定塊，所述固定塊內(nèi)部卡合有銷釘，所述銷釘共有多組呈線性陣列設(shè)置，所述固定塊內(nèi)側(cè)靠近底部螺紋連接有螺栓，所述固定塊底部抵接有擠壓夾，所述擠壓夾固定連接在機(jī)臺(tái)一側(cè)，所述固定塊外部抵接有橡膠塊，所述橡膠塊共有兩組呈對(duì)稱狀設(shè)置，所述橡膠塊遠(yuǎn)離固定塊一側(cè)固定連接有固定夾，所述固定夾呈“l(fā)”形設(shè)置，所述固定夾相對(duì)一側(cè)固定連接有連接塊，所述連接塊內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有支撐柱，所述支撐柱遠(yuǎn)離連接塊一端固定連接有安裝板，所述安裝板呈“l(fā)”形設(shè)置，所述安裝板滑動(dòng)連接在托盤一側(cè)，所述固定夾相對(duì)一側(cè)遠(yuǎn)離橡膠塊一端固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)塊，所述轉(zhuǎn)動(dòng)塊一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)板，所述轉(zhuǎn)動(dòng)板遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)動(dòng)塊一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有拉伸桿，所述拉伸桿一端固定連接有液壓杠，所述液壓杠固定連接在托盤一側(cè)。

4、通過(guò)上述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)了可以通過(guò)銷釘固定的方式將擠壓夾和固定塊固定，再采用固定夾配合橡膠塊將托盤固定，再將安裝板放在真空加工臺(tái)進(jìn)行打磨，解決了以往直接將機(jī)臺(tái)放置在真空加工臺(tái)導(dǎo)致接觸面較小，吸力不足，機(jī)臺(tái)在加工時(shí)出現(xiàn)松動(dòng)的問(wèn)題，并且以往螺栓連接導(dǎo)致螺紋縫隙會(huì)影響固定效果的問(wèn)題，提高了加工時(shí)的固定效果。

5、優(yōu)選的，所述安裝板靠近固定夾一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有夾持桿，所述夾持桿共有兩組呈對(duì)稱狀設(shè)置，所述夾持桿相對(duì)一側(cè)靠近機(jī)臺(tái)外部固定連接有塑膠墊，所述夾持桿外部遠(yuǎn)離機(jī)臺(tái)位置固定連接有拉動(dòng)板，所述拉動(dòng)板共有四組呈矩形陣列設(shè)置，所述拉動(dòng)板相對(duì)一側(cè)固定連接有拉動(dòng)彈簧。

6、通過(guò)上述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)了通過(guò)拉動(dòng)彈簧帶動(dòng)拉動(dòng)板，讓拉動(dòng)板帶動(dòng)夾持桿，將塑膠墊與機(jī)臺(tái)緊密貼合，從而做到雙重固定的效果，解決了僅采用固定夾和橡膠塊進(jìn)行夾持固定導(dǎo)致在加工時(shí)出現(xiàn)切割打磨誤差的問(wèn)題，提高了加工時(shí)的精確度。

7、優(yōu)選的，所述夾持桿內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有支撐軸，所述支撐軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接在夾持桿內(nèi)部靠近其相對(duì)一側(cè)，所述支撐軸外部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有推動(dòng)輪，所述推動(dòng)輪呈扇形設(shè)置，所述推動(dòng)輪外部抵接有推動(dòng)塊，所述轉(zhuǎn)動(dòng)板固定連接在拉伸桿遠(yuǎn)離液壓杠一端，所述拉伸桿外部遠(yuǎn)離液壓杠一側(cè)滑動(dòng)連接有限位套，所述限位套固定連接在安裝板一側(cè)。

8、通過(guò)上述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)了拉伸桿在帶動(dòng)固定夾進(jìn)行開合的同時(shí)，還可以帶動(dòng)夾持桿進(jìn)行開合，解決了在打開固定夾后還需將夾持桿拉開從而導(dǎo)致取出機(jī)臺(tái)困難的問(wèn)題，提高了安裝拆卸機(jī)臺(tái)的便捷性。

9、優(yōu)選的，所述固定夾外部設(shè)置有保護(hù)殼，所述保護(hù)殼固定連接在安裝板一側(cè)，所述安裝板遠(yuǎn)離液壓杠一側(cè)設(shè)置有連接組件。

10、通過(guò)上述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)了通過(guò)連接組件可以將安裝板與托盤固定，解決了加工后的廢料雜質(zhì)掉落，堵塞真空加工臺(tái)的吸盤，導(dǎo)致后續(xù)還要對(duì)真空加工臺(tái)進(jìn)行維修的問(wèn)題，降低了使用時(shí)對(duì)真空加工臺(tái)的影響。

11、優(yōu)選的，所述連接組件包括連接套，所述連接套固定連接在安裝板遠(yuǎn)離液壓杠一側(cè)，所述連接套內(nèi)部設(shè)置有連接桿，所述連接桿遠(yuǎn)離連接套一端固定連接有連接板，所述連接板一側(cè)固定連接在托盤一側(cè)，所述連接桿外部靠近中心位置卡合有卡合塊，所述連接套內(nèi)部開設(shè)有滑動(dòng)槽，所述卡合塊滑動(dòng)連接在連接套內(nèi)部。

12、通過(guò)上述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)了卡合塊將連接桿卡在連接套內(nèi)部，從而將安裝板與托盤固定，還可以拆卸下來(lái)，安裝到機(jī)械臂進(jìn)行使用，解決了僅采用安裝板將機(jī)臺(tái)進(jìn)行固定只能在真空加工臺(tái)進(jìn)行使用，導(dǎo)致安裝板所能使用的場(chǎng)景單一的問(wèn)題，增加了機(jī)臺(tái)所能使用的場(chǎng)景。

13、優(yōu)選的，所述卡合塊共有兩組呈對(duì)稱狀設(shè)置，所述卡合塊遠(yuǎn)離連接桿一側(cè)固定連接有擠壓塊，所述擠壓塊靠近卡合塊一側(cè)固定連接有推動(dòng)彈簧，所述推動(dòng)彈簧共有兩組呈對(duì)稱狀設(shè)置，所述推動(dòng)彈簧遠(yuǎn)離擠壓塊一端固定連接在滑動(dòng)槽內(nèi)部靠近卡合塊一側(cè)，所述擠壓塊遠(yuǎn)離卡合塊一側(cè)設(shè)置有擠壓組件。

14、通過(guò)上述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)了擠壓組件將擠壓塊推入滑動(dòng)槽內(nèi)部，從而讓卡合塊卡在連接桿外部的效果，解決了讓卡合塊在滑動(dòng)槽內(nèi)部滑動(dòng)，在拆卸安裝上穩(wěn)定性較差的問(wèn)題，提高了安裝后固定的穩(wěn)定性。

15、優(yōu)選的，所述擠壓組件包括擠壓球，所述擠壓球共有多組呈線性陣列在擠壓塊遠(yuǎn)離卡合塊一側(cè)，所述擠壓球外部設(shè)置有滑動(dòng)倉(cāng)，所述滑動(dòng)倉(cāng)后端固定連接有滑動(dòng)套，所述滑動(dòng)套滑動(dòng)連接在連接套外部。

16、通過(guò)上述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)了擠壓球擠壓擠壓塊讓卡合塊卡在連接桿外部從而將連接桿固定，解決了擠壓塊需要長(zhǎng)期受壓力才可以將卡合塊固定在連接桿外部而拆卸困難的問(wèn)題，提高了固定連接桿的便捷性。

17、優(yōu)選的，所述滑動(dòng)套內(nèi)側(cè)靠近外部滑動(dòng)連接有限位桿，所述限位桿外部套設(shè)有卡合彈簧，所述卡合彈簧一端固定連接在滑動(dòng)套一側(cè)，所述卡合彈簧遠(yuǎn)離滑動(dòng)套一端固定連接在安裝板一側(cè)，所述限位桿靠近滑動(dòng)套一端固定連接有限位板，所述托盤靠近安裝板一側(cè)固定連接有操作把手，所述操作把手共有兩組呈對(duì)稱狀設(shè)置。

18、通過(guò)上述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)了卡合彈簧推動(dòng)滑動(dòng)套將擠壓球壓在擠壓塊外部，而限位板可以防止滑動(dòng)套從連接套表面滑脫，在真空加工臺(tái)通過(guò)操作把手方便移動(dòng)托盤，解決了僅采用滑動(dòng)套套在連接套外部容易導(dǎo)致擠壓球滑脫以及托盤在移動(dòng)時(shí)不好搬運(yùn)的問(wèn)題，提高了滑動(dòng)套的穩(wěn)定性和搬運(yùn)托盤時(shí)的便捷性。

19、有益效果

20、本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體芯片多方位加工夾具。具備以下有益效果：

21、通過(guò)在固定芯片時(shí)通過(guò)銷釘?shù)匿N釘結(jié)構(gòu)進(jìn)行調(diào)節(jié)固定塊和擠壓夾更加精準(zhǔn)，有效的減小誤差，而固定夾和夾持桿的擠壓固定保證了機(jī)臺(tái)在加工時(shí)固定的穩(wěn)定性，并且安裝板增加了與真空加工臺(tái)的接觸面積，解決了以往采用螺栓將固定塊和擠壓夾固定，出現(xiàn)因?yàn)槁菁y牙導(dǎo)致加工偏差的問(wèn)題，提高了加工時(shí)的精準(zhǔn)度以及加工時(shí)的穩(wěn)定性。

22、通過(guò)卡合塊和擠壓塊在滑動(dòng)槽內(nèi)部滑動(dòng)，而擠壓球配合滑動(dòng)倉(cāng)克服推力，實(shí)現(xiàn)快拆連接套和連接桿的效果，而快拆結(jié)構(gòu)還可以安裝在機(jī)械臂的連接頭處，解決了以往只能在真空加工臺(tái)進(jìn)行加工，所能使用場(chǎng)景較少，適用范圍較窄的問(wèn)題，增加了夾持設(shè)備所能使用的場(chǎng)景。