本發(fā)明涉及光纖器件，具體是一種氬離子體全方位拋光設(shè)備及其使用方法。

背景技術(shù)：

1、氬離子體拋光是一種利用氬離子束對(duì)材料表面進(jìn)行精細(xì)加工的技術(shù)，它通過物理濺射作用去除表面原子，從而實(shí)現(xiàn)高精度的表面處理。這種技術(shù)適用于多種材料，包括硬質(zhì)和脆性材料，如金屬、陶瓷、半導(dǎo)體、復(fù)合材料等。氬離子拋光能夠提供極小的表面粗糙度，減少表面損傷，并且可以通過調(diào)整離子束的參數(shù)精確控制材料的去除量。

2、公告號(hào)為：cn117884986a公開了一種多面共體光學(xué)元件的等離子體拋光裝置及拋光方法，通過調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的設(shè)置，控制器可以控制離子拋光機(jī)構(gòu)與安裝工位相對(duì)活動(dòng)，使離子拋光機(jī)構(gòu)與相應(yīng)光學(xué)表面調(diào)節(jié)到適合拋光的位置和角度，在一個(gè)光學(xué)表面加工完成后，調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)可以通過角度調(diào)節(jié)使離子拋光機(jī)構(gòu)在多個(gè)光學(xué)表面之間來回切換加工表面，不需要操作人員手動(dòng)切換需要拋光的加工表面，從而提高加工效率；公告號(hào)為：cn110004484b公開了一種sic單晶等離子體電化學(xué)拋光裝置及其拋光方法，通過將sic單晶夾持在夾持器上，夾持器安裝在旋轉(zhuǎn)支架上，通過電機(jī)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)，位于旋轉(zhuǎn)臺(tái)的上方，旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)上固接拋光墊，并且表面開孔處與電極架上的不銹鋼電極一一對(duì)應(yīng)，電極架在電機(jī)帶動(dòng)滾珠絲杠的作用下實(shí)現(xiàn)升降和旋轉(zhuǎn)，由于夾持器和旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的旋轉(zhuǎn)，sic單晶在拋光墊的作用下被拋光，本發(fā)明的裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，加工方法易于實(shí)現(xiàn)。

3、上述專利中，雖然能夠提高用戶的體驗(yàn)度以及提供私密結(jié)算通道以提高安全性，但還存在以下不足：1.現(xiàn)階段離子體拋光是夾持樣品之后通過離子束進(jìn)行拋光，而目前離子束設(shè)備雖然能夠?qū)崿F(xiàn)多角度的調(diào)節(jié)，使得能夠?qū)悠范嘟嵌冗M(jìn)行表面加工，但不能對(duì)樣品的全部面進(jìn)行拋光，需要工作人員重新放置樣品才能夠?qū)悠愤M(jìn)行全面拋光，導(dǎo)致降低了工作效率；2.拋光后的樣品需要清洗和干燥處理，以去除殘留的污染物和碎屑，在現(xiàn)階段中，工作人員將拋光后的樣品放置在清洗池內(nèi)進(jìn)行清洗，然后再放入干燥室內(nèi)進(jìn)行干燥，以實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品處理，這樣一來，會(huì)增大工作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種氬離子體全方位拋光設(shè)備及其使用方法，旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中的現(xiàn)階段離子體拋光不能對(duì)樣品進(jìn)行全面的拋光，需要工作人員重新放置樣品才能夠?qū)悠愤M(jìn)行全面拋光，導(dǎo)致工作效率低和增大工作人員勞動(dòng)強(qiáng)度的問題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：所述一種氬離子體全方位拋光設(shè)備及其使用方法，包括殼體，所述殼體內(nèi)設(shè)有氬離子體拋光頭、上下夾持機(jī)構(gòu)，前后夾持機(jī)構(gòu)、清洗組件和干燥組件，所述殼體上設(shè)有抽真空器；

3、所述殼體的內(nèi)頂壁和內(nèi)底壁分別固定設(shè)有能夠沿上下方向延伸的伸縮套板，兩個(gè)所述伸縮套板將殼體的內(nèi)部從左到右分割成拋光腔和處理腔；

4、所述氬離子體拋光頭和上下夾持機(jī)構(gòu)均設(shè)在拋光腔內(nèi)，且氬離子體拋光頭位于上下夾持機(jī)構(gòu)的左側(cè)，所述清洗組件設(shè)在處理腔內(nèi)，所述干燥組件設(shè)在處理腔的上側(cè)；

5、所述上下夾持機(jī)構(gòu)能夠從上下兩側(cè)對(duì)樣品進(jìn)行夾持，所述上下夾持機(jī)構(gòu)上設(shè)有能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的夾持板，使夾持樣品以上下方向?yàn)檩S線進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；

6、所述前后夾持機(jī)構(gòu)能夠從前后方向夾持樣品，并前后夾持機(jī)構(gòu)能夠在殼體內(nèi)從拋光腔滑動(dòng)至處理腔內(nèi)，使前后夾持機(jī)構(gòu)夾持樣品移動(dòng)至清洗組件的上方，所述前后夾持機(jī)構(gòu)上設(shè)有能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的夾緊板，使夾持樣品以前后方向?yàn)檩S線進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；

7、所述前后夾持機(jī)構(gòu)和上下夾持機(jī)構(gòu)相互交替夾持，使得夾持板和夾緊板交替帶動(dòng)樣品進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，以使樣品實(shí)現(xiàn)不同方向的轉(zhuǎn)動(dòng)；

8、所述前后夾持機(jī)構(gòu)夾持樣品移動(dòng)至清洗組件的上方時(shí)，能夠使樣品落入清洗組件內(nèi)；

9、所述干燥組件上開設(shè)有與清洗組件適配的貫穿孔，使清洗組件能夠載著樣品升至干燥組件內(nèi)。

10、優(yōu)選的，所述殼體內(nèi)設(shè)有沿左右方向延伸的水平驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述前后夾持機(jī)構(gòu)與水平驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)傳動(dòng)連接。

11、優(yōu)選的，所述上下夾持機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)上下間隔設(shè)置在拋光腔內(nèi)頂壁和內(nèi)底壁上升降框架組件和與升降框架組件傳動(dòng)連接的第一驅(qū)動(dòng)裝置；

12、兩個(gè)所述升降框架組件在第一驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)下能夠夾持在樣品的上下兩側(cè)。

13、優(yōu)選的，每個(gè)所述升降框架組件均包括下第一連桿、下第二連桿、上第一連桿和上第二連桿；

14、所述下第一連桿和下第二連桿均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有同一個(gè)固定座，所述固定座固定安裝在拋光腔內(nèi)頂壁和內(nèi)底壁上，所述上第一連桿和上第二連桿均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有同一個(gè)連接板；

15、所述第一驅(qū)動(dòng)裝置的輸出端固定設(shè)有固定塊，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置的輸出軸穿過固定塊傳動(dòng)設(shè)有橫向設(shè)置的第一絲杠，所述上第一連桿和下第一連桿相互鉸接連接在固定塊上；

16、所述上第二連桿和下第二連桿相互鉸接連接有移動(dòng)塊，所述移動(dòng)塊套裝在第一絲杠上，且移動(dòng)塊與第一絲杠螺紋連接，使連接板豎向移動(dòng)；

17、兩個(gè)所述連接板相對(duì)一側(cè)分別與夾持板轉(zhuǎn)動(dòng)連接，且其中一個(gè)夾持板與連接板之間設(shè)有能夠驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)夾持板轉(zhuǎn)動(dòng)的第三驅(qū)動(dòng)裝置，使得夾持樣品之后，能夠使樣品沿水平方向轉(zhuǎn)動(dòng)。

18、優(yōu)選的，所述前后夾持機(jī)構(gòu)包括第一伸縮裝置、滑軌條和兩個(gè)前后間隔滑動(dòng)設(shè)在滑軌條上的滑動(dòng)塊；

19、所述水平驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上傳動(dòng)設(shè)有承載板，所述第一伸縮裝置固定設(shè)在承載板上；

20、每個(gè)所述滑動(dòng)塊上均鉸接連接有斜桿，所述承載板的底部轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)桿，兩個(gè)所述斜桿均與轉(zhuǎn)動(dòng)桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接；

21、所述承載板上開設(shè)有兩個(gè)前后間隔設(shè)置且上下通透的滑行孔，每個(gè)所述所述滑動(dòng)塊上均固定設(shè)有滑動(dòng)插設(shè)在滑行孔內(nèi)的滑動(dòng)板，其中一個(gè)所述滑動(dòng)板上設(shè)有伸縮套桿，所述伸縮套桿與第一伸縮裝置的固定端相互連接，另一個(gè)所述滑動(dòng)板與第一伸縮裝置的活動(dòng)桿端面相互連接，使實(shí)現(xiàn)兩個(gè)滑動(dòng)塊同時(shí)向相對(duì)或相背的方向移動(dòng)。

22、優(yōu)選的，每個(gè)所述滑動(dòng)塊上均固定設(shè)有長板，兩個(gè)所述長板相對(duì)的一側(cè)分別與夾緊板轉(zhuǎn)動(dòng)連接，且其中一個(gè)長板與夾緊板之間設(shè)有能夠驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)夾緊板轉(zhuǎn)動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)裝置，能夠使得樣品沿豎向方向轉(zhuǎn)動(dòng)；

23、兩個(gè)滑動(dòng)塊向相對(duì)或相背的方向移動(dòng)時(shí)，能夠帶動(dòng)兩個(gè)夾緊板夾持在樣品的前后兩側(cè)。

24、優(yōu)選的，所述清洗組件包括固定設(shè)在處理腔內(nèi)底壁上的清洗框、豎向設(shè)在清洗框架內(nèi)的第二伸縮裝置和固定設(shè)在第二伸縮裝置活動(dòng)桿端面的升降板；

25、所述清洗框內(nèi)設(shè)有清洗水，所述第二伸縮裝置為防水材質(zhì)，第二伸縮裝置能夠?qū)⒊休d樣品的升降板升至干燥組件內(nèi)。

26、優(yōu)選的，所述干燥組件包括沿左右方向設(shè)置的第三伸縮裝置、多個(gè)加熱燈和箱體，所述第三伸縮裝置設(shè)在箱體內(nèi)，多個(gè)所述加熱燈均設(shè)在箱體的內(nèi)側(cè)壁上；

27、所述貫穿孔開設(shè)在箱體的內(nèi)底壁上；

28、所述升降板插入貫穿孔時(shí)，升降板與箱體的內(nèi)底壁為同一水平面，所述第三伸縮裝置的活動(dòng)桿端面固定設(shè)有推板，所述箱體的遠(yuǎn)離第三伸縮裝置的一側(cè)設(shè)有排出門，使得通過推板能夠?qū)⑸料潴w內(nèi)的樣品穿過排出門排出。

29、優(yōu)選的，所述殼體的上端設(shè)有進(jìn)入門，所述拋光腔內(nèi)設(shè)有臨時(shí)放置臺(tái)組件，且臨時(shí)放置臺(tái)組件設(shè)在進(jìn)入門的正下方；

30、所述臨時(shí)放置臺(tái)組件包括豎向設(shè)在拋光腔內(nèi)底壁的第四伸縮裝置和固定設(shè)在第四伸縮裝置活動(dòng)桿端部的放置板；

31、所述樣品通過進(jìn)入門能夠放置在放置板上，以便于前后夾持機(jī)構(gòu)能夠夾持樣品。

32、優(yōu)選的，具體操作如下：

33、s1，將樣品通過進(jìn)入門放置在放置板上；

34、s2，通過水平驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)將前后夾持機(jī)構(gòu)移動(dòng)至樣品的前后兩側(cè)，之后再驅(qū)動(dòng)前后夾持機(jī)構(gòu)啟動(dòng)，使得將樣品進(jìn)行夾持，并夾持樣品移動(dòng)至上下夾持機(jī)構(gòu)之間停止，此時(shí)放置板在第四伸縮裝置的作用下收縮至拋光腔內(nèi)；

35、s3，通過第二驅(qū)動(dòng)裝置的啟動(dòng)，能夠帶動(dòng)夾緊板和樣品轉(zhuǎn)動(dòng)，使得帶動(dòng)樣品以前后方向?yàn)檩S線進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，待轉(zhuǎn)動(dòng)方向調(diào)整好后則停止；

36、s4，通過上下夾持機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)，使得上下夾持機(jī)構(gòu)夾持在調(diào)整好方位的樣品上下兩側(cè)，此時(shí)前后夾持機(jī)構(gòu)脫離樣品，之后通過第三驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)，使得帶動(dòng)樣品以上下方向?yàn)檩S線進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，以調(diào)節(jié)樣品的拋光方位；

37、s5，待調(diào)整樣品的拋光方位后，依次對(duì)氬離子體拋光頭的位置進(jìn)行調(diào)整，以及通過抽真空器進(jìn)行抽氣，之后就可以對(duì)樣品進(jìn)行拋光，而需要對(duì)樣品不同面進(jìn)行拋光時(shí)，則可以重復(fù)s3-s5的操作，以實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品不同面進(jìn)行拋光；

38、s6，拋光完成后，前后夾持機(jī)構(gòu)夾持樣品移動(dòng)至移動(dòng)至清洗框的正上方，并將樣品落入清洗水中，進(jìn)行清洗；

39、s7，待清洗完成后，通過第二伸縮裝置能夠?qū)⒊休d樣品的升降板升至箱體內(nèi)，在加熱燈作用下，對(duì)樣品進(jìn)行干燥，而后在第三伸縮裝置的作用下，將樣品沿排出門推出，使得拋光完成。

40、有益效果是：1.樣品在調(diào)整的過程中，可以通過上下夾持機(jī)構(gòu)上的夾持板和前后夾持機(jī)構(gòu)上的夾緊板進(jìn)行交替夾持樣品，上下夾持機(jī)構(gòu)通過夾持板將樣品夾持時(shí)，可驅(qū)動(dòng)第三驅(qū)動(dòng)裝置，使得帶動(dòng)夾持板轉(zhuǎn)動(dòng)，以帶動(dòng)樣品沿上下方向軸線進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，而前后夾持機(jī)構(gòu)通過夾緊板進(jìn)行夾持時(shí)，上下夾持機(jī)構(gòu)脫離，之后再驅(qū)動(dòng)第二驅(qū)動(dòng)裝置，使得帶動(dòng)樣品沿前后方向軸線進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，使得調(diào)整樣品的拋光面，以達(dá)到樣品全方位進(jìn)行拋光的目的。

41、2.拋光完成之后，能夠通過前后夾持機(jī)構(gòu)沿著水平驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)，使得前后夾持機(jī)構(gòu)夾持樣品移動(dòng)至清洗組件的上方，之后拋光厚的樣品落入清洗框內(nèi)進(jìn)行清洗，此過程不需要工作人員取出再放入，大大降低了工作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度。

42、3.在清洗完的樣品可通過第二伸縮裝置將載有樣品的升降板升至貫穿孔處，并且升降板與箱體的內(nèi)底壁為同一水平面，之后通過加熱燈能夠?qū)悠愤M(jìn)行干燥，待干燥完成后，可將樣品從排出門排出，此過程不需要工作人員手動(dòng)操作，進(jìn)而起到了提高工作效率的作用。