本發(fā)明涉及銻化鎵晶片加工，具體為一種銻化鎵晶片表面加工用拋光裝置。

背景技術：

1、gasb基材料制造的器件除了在光纖通信中有巨大的潛在應用價值外，在其他領域也有很大的潛在應用價值，如制作多種用途的紅外探測器件及火箭和監(jiān)視系統(tǒng)中的紅外成像器件，用于火災報警和環(huán)境污染檢測的傳感器，監(jiān)測工廠中腐蝕氣體(如hcl等)和有毒氣體的泄漏的傳感器等。

2、在對銻化鎵晶片進行加工生產(chǎn)時，會需要通過加工拋光裝置對銻化鎵晶片表面進行拋光操作，以滿足銻化鎵晶片后續(xù)生產(chǎn)加工的需要，達到對銻化鎵晶片充分使用的效果，和起到提高銻化鎵晶片使用質(zhì)量和精度的作用。

3、現(xiàn)有公開號為cn109500674a的中國專利申請，其公開了一種帶除塵功能且切削量可調(diào)的銻化鎵單晶片打磨設備。包括底座，其左上端設置有柜體，柜體上端設置有第一直線導軌，第一直線導軌上安裝有滑塊，滑塊與推進機構(gòu)連接，滑塊上端安裝有側(cè)面打磨機構(gòu)；底座右上端設置有支撐座，支撐座上設置有第二直線導軌，第二直線導軌上安裝有升降座，升降座與升降機構(gòu)連接實現(xiàn)上下升降，升降座上設置有第二電機，第二電機輸出軸連接真空吸盤，銻化鎵單晶片安裝在真空吸盤上；它還包括吸塵裝置，該發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，自動化程度高，能夠?qū)?-5mm厚的銻化鎵單晶片進行快速夾裝和對銻化鎵單晶片側(cè)面進行快速打磨，且對于銻化鎵單晶片側(cè)面的切削量可以進行快速調(diào)節(jié)，提高打磨效率和打磨效果，同時打磨過程產(chǎn)生的粉塵可以被吸塵裝置吸收，保護了周邊的生產(chǎn)環(huán)境。

4、現(xiàn)有公開號為cn112077691b的中國專利申請，其公開了一種銻化鎵單晶片的拋光方法，包括如下步驟；1)對銻化鎵單晶片進行雙面磨削，去除銻化鎵單晶片表面的損傷；2)對磨削后的銻化鎵單晶片采用拋光布配合拋光液進行化學機械拋光；3)對化學機械拋光后的銻化鎵單晶片進行取片清洗，該發(fā)明通過對拋光液的組分和含量，以及與之配合的拋光布進行選擇優(yōu)化，實現(xiàn)了銻化鎵單晶片拋光的一步成型，無需經(jīng)過粗拋、中拋、精拋三步拋光，工藝簡單，穩(wěn)定性好，且銻化鎵單晶片拋光后表面質(zhì)量高，無劃痕和起霧的缺陷，表面粗糙度低，可達到粗糙度值ra小于0.15nm。

5、然而，該加工平臺在具體使用時存在以下缺陷：

6、1、現(xiàn)有的拋光裝置在對銻化鎵單晶片進行拋光時，雖可以對銻化鎵單晶片進行較好的拋光加工操作，但是在將銻化鎵單晶片放置到拋光盤上進行拋光加工時，對于限位盤的使用尺寸卡合拆裝便捷性不高，使得在對不同數(shù)量的銻化鎵單晶片進行打磨拋光時，會造成放置盤的限位效果不穩(wěn)固，降低對銻化鎵單晶表面拋光精度的情況，且對于拋光盤表面雜質(zhì)同步清理效果不高，使得后續(xù)的銻化鎵單晶片進行放置拋光時，會加大對銻化鎵單晶片拋光的時間，降低銻化鎵單晶片拋光效率的情況；

7、2、現(xiàn)有的拋光裝置在對銻化鎵單晶片進行拋光加工時，往往需要操作人員手動加工拋光液再對拋光液進行添加操作，對于拋光液加注到攪拌桶內(nèi)后自動攪拌使用效果不高，且在對攪拌桶進行長時間使用時，對于攪拌桶內(nèi)壁粘附的拋光液同步刮除清理效果不高，造成對拋光液浪費，進而加大對拋光液的使用成本，并增加工作人員手動攪拌拋光液的工作量，降低工作人員的施工效率。

技術實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種銻化鎵晶片表面加工用拋光裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

2、為實現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明采用如下技術方案：

3、本發(fā)明提供的一種銻化鎵晶片表面加工用拋光裝置，包括裝置主體、拋光盤、攪拌桶、連接泵口、連接頭、輸送管、連接架、放置盤、晶片主體、限位盤、壓板、定位板和調(diào)節(jié)機構(gòu)，所述裝置主體的外壁旋轉(zhuǎn)連接有拋光盤，所述裝置主體的外壁固定連接有攪拌桶，所述連接泵口設置于攪拌桶的頂部，所述連接泵口的內(nèi)壁可拆卸連接有連接頭，所述連接頭的外壁固定連接有輸送管，所述裝置主體的外壁固定連接有套接于輸送管外壁的連接架，所述放置盤放置于拋光盤的表面，所述放置盤的底部設置有晶片主體，所述放置盤的外壁套接有限位盤，所述限位盤的內(nèi)壁放置有與放置盤頂部相貼合的壓板，所述限位盤的內(nèi)壁放置有位于壓板上方的定位板；

4、所述調(diào)節(jié)機構(gòu)包括有：

5、滑動組件，所述裝置主體的外壁旋轉(zhuǎn)連接有第一螺紋桿，所述第一螺紋桿的一端固定連接有第一旋鈕，所述第一螺紋桿的外壁螺紋連接有與裝置主體外壁滑動連接的移動桿，所述裝置主體的外壁與移動桿的連接部位開設有滑槽；

6、升降組件，所述移動桿的外壁旋轉(zhuǎn)連接有第二螺紋桿，所述第二螺紋桿的一端固定連接有第二旋鈕，所述第二螺紋桿的外壁螺紋連接有與移動桿外壁滑動連接的升降塊，所述移動桿的外壁與升降塊的連接部位開設有固定槽，所述升降塊的外壁旋轉(zhuǎn)連接有銜接塊，所述銜接塊的外壁卡合連接有調(diào)節(jié)盤；

7、其中，所述調(diào)節(jié)盤的兩端旋轉(zhuǎn)連接有與放置盤外壁相貼合的輔助輪。

8、作為本發(fā)明的優(yōu)選方案，所述攪拌桶的頂部開設有加注口，所述連接頭的外壁設置有外螺旋，所述連接泵口的內(nèi)壁與外螺旋的連接部位設置有內(nèi)螺旋；

9、其中，所述外螺旋與內(nèi)螺旋之間為螺紋連接，所述銜接塊的外壁設置有安裝機構(gòu)，所述裝置主體的外壁設置有位于拋光盤一側(cè)的清理機構(gòu)，所述攪拌桶的內(nèi)壁設置有攪拌機構(gòu)。

10、作為本發(fā)明的優(yōu)選方案，所述安裝機構(gòu)包括有：

11、安裝盒，所述銜接塊的外壁固定連接有安裝盒，所述調(diào)節(jié)盤的外壁固定連接有與安裝盒外壁滑動連接的插桿，所述插桿的外壁卡合連接有卡塊，所述卡塊的外壁固定連接有與安裝盒外壁滑動連接的伸縮桿，所述伸縮桿的外壁套接有與安裝盒內(nèi)壁固定連接的第一彈簧；

12、轉(zhuǎn)動桿，所述卡塊的外壁旋轉(zhuǎn)連接有轉(zhuǎn)動桿，所述轉(zhuǎn)動桿的一端旋轉(zhuǎn)連接有連接桿，所述連接桿的底部固定連接有與安裝盒內(nèi)壁固定連接的第二彈簧，所述連接桿的頂部固定連接有與安裝盒外壁滑動連接的拉桿；

13、插塊，所述調(diào)節(jié)盤的底部固定連接有與銜接塊外壁滑動連接的插塊，所述銜接塊的外壁與插塊的連接部位開設有插槽。

14、作為本發(fā)明的優(yōu)選方案，所述插桿和卡塊的擠壓部位呈圓弧狀，所述卡塊和伸縮桿均設置有兩組，兩組所述卡塊和伸縮桿的位置分布均關于插桿的中心軸相對稱；

15、其中，所述第一彈簧的一端與安裝盒的內(nèi)壁之間為固定連接，且第一彈簧的另一端與卡塊的外壁之間為固定連接。

16、作為本發(fā)明的優(yōu)選方案，所述轉(zhuǎn)動桿通過卡塊與連接桿之間構(gòu)成轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)，所述轉(zhuǎn)動桿設置有兩組，兩組所述轉(zhuǎn)動桿的位置分布關于連接桿的中心軸相對稱。

17、作為本發(fā)明的優(yōu)選方案，所述清理機構(gòu)包括有：

18、固定桿，所述固定桿的外壁旋轉(zhuǎn)連接有第三螺紋桿，所述第三螺紋桿的一端固定連接有第三旋鈕，所述第三螺紋桿的外壁螺紋連接有與固定桿外壁滑動連接的升降桿，所述固定桿的外壁與升降桿的連接部位開設有限位槽；

19、第四螺紋桿，所述升降桿的側(cè)壁旋轉(zhuǎn)連接有第四螺紋桿，所述第四螺紋桿的一端固定連接有伺服電機，所述第四螺紋桿的外壁螺紋連接有與升降桿側(cè)壁伸縮連接的延伸桿，所述升降桿的側(cè)壁與延伸桿的連接部位開設有伸縮槽，所述延伸桿的一端固定連接有清理刮板。

20、作為本發(fā)明的優(yōu)選方案，所述升降桿通過第三螺紋桿與限位槽之間構(gòu)成升降結(jié)構(gòu)，所述清理刮板通過升降桿與限位槽之間構(gòu)成升降結(jié)構(gòu)；

21、其中，所述清理刮板通過第四螺紋桿和延伸桿與伸縮槽之間構(gòu)成伸縮結(jié)構(gòu)。

22、作為本發(fā)明的優(yōu)選方案，所述攪拌機構(gòu)包括有：

23、驅(qū)動電機，所述裝置主體的外壁固定連接有驅(qū)動電機，所述驅(qū)動電機的輸出端固定連接有與攪拌桶內(nèi)壁旋轉(zhuǎn)連接的轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸的外壁固定連接有連接塊，所述連接塊的外壁固定連接有與攪拌桶內(nèi)壁相貼合的固定刮板；

24、伸縮塊，所述連接塊的外壁滑動連接有伸縮塊，所述伸縮塊的外壁旋轉(zhuǎn)連接有擺動桿，所述擺動桿的一端旋轉(zhuǎn)連接有與固定刮板內(nèi)壁滑動連接的伸縮刮板，所述伸縮刮板的底部固定連接有與固定刮板內(nèi)壁滑動連接的頂升桿。

25、作為本發(fā)明的優(yōu)選方案，所述伸縮塊通過微型防潮電動推動進行驅(qū)動，所述固定刮板和伸縮刮板的外壁輪廓均呈圓柱狀；

26、其中，所述擺動桿和伸縮刮板均設置有兩組，兩組所述擺動桿和伸縮刮板的位置分布均關于固定刮板的中心軸相對稱。

27、作為本發(fā)明的優(yōu)選方案，所述頂升桿通過伸縮塊和擺動桿與固定刮板之間構(gòu)成伸縮結(jié)構(gòu)，所述固定刮板的內(nèi)壁與頂升桿的連接部位開設有連接槽。

28、與現(xiàn)有技術相比，以上一個或多個技術方案存在以下有益效果：

29、1、該一種銻化鎵晶片表面加工用拋光裝置，當在通過拋光加工裝置對銻化鎵晶片表面進行拋光加工時，為了提高對不同外壁輪廓的放置盤外壁限位的穩(wěn)定性，達到對不同數(shù)量銻化鎵晶片旋轉(zhuǎn)拋光穩(wěn)定性的效果，可以根據(jù)限位盤與放置盤外壁貼合輪廓的需要，拉動拉桿通過連接桿的連接，帶動第二彈簧進行同步拉伸運動，并通過轉(zhuǎn)動桿的轉(zhuǎn)動連接，帶動與伸縮桿固定連接的卡塊往安裝盒的外壁滑動，并對第一彈簧進行擠壓運動，使得卡塊與插桿之間不接觸，并在插桿的連接下，使得限位盤從安裝盒內(nèi)拔出，并使得插塊沿插槽的內(nèi)壁同步拔出，達到對不同外壁輪廓直徑的限位盤卡合拆裝便捷性的效果，起到對不同數(shù)量的銻化鎵晶片拋光限位穩(wěn)定性的作用；

30、2、該一種銻化鎵晶片表面加工用拋光裝置，當在通過拋光裝置對銻化鎵晶片表面進行加工生產(chǎn)時，為了提高拋光盤在長時間旋轉(zhuǎn)拋光加工后，對于拋光盤表面雜質(zhì)清理的便捷性，防止后續(xù)的銻化鎵晶片放置到拋光盤上時吸附雜質(zhì)，加大銻化鎵晶片表面拋光繁瑣性的情況，可以定期轉(zhuǎn)動第三旋鈕通過第三螺紋桿的旋轉(zhuǎn)運動，帶動升降桿沿限位槽的內(nèi)壁滑動，升降桿的滑動帶動清理刮板與拋光盤的表面相貼合，并在拋光盤的旋轉(zhuǎn)運動下，帶動清理刮板對拋光盤表面的雜質(zhì)進行清理運動，同時，可以打開伺服電機通過第四螺紋桿的轉(zhuǎn)動，帶動清理刮板進行伸縮運動，起到對拋光盤表面全方位旋轉(zhuǎn)清理的作用，達到提高對后續(xù)銻化鎵晶片表面拋光清潔度的效果；

31、3、該一種銻化鎵晶片表面加工用拋光裝置，當在通過攪拌桶對拋光液進行添加儲存使用時，為了提高拋光液在攪拌桶內(nèi)自動添加攪拌的便捷性，可以將拋光液從加注口處添加后，打開驅(qū)動電機通過轉(zhuǎn)軸的連接，帶動與連接塊固定連接的固定刮板進行同步旋轉(zhuǎn)運動，同時，帶動擺動桿進行同步沿轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)中心進行旋轉(zhuǎn)運動，達到對攪拌桶內(nèi)添加的拋光液進行自動攪拌的效果，起到提高工作人員工作效率的作用；

32、4、該一種銻化鎵晶片表面加工用拋光裝置，當在通過攪拌桶對拋光液進行添加儲存使用時，為了提高攪拌桶內(nèi)壁吸附的拋光液同步刮除清理的效果，可以驅(qū)動伸縮塊沿連接塊的外壁滑動，伸縮塊的滑動通過擺動桿的轉(zhuǎn)動，帶動與頂升桿固定連接的伸縮刮板沿固定刮板的端部進行伸縮運動，達到對攪拌桶內(nèi)壁刮除范圍有效調(diào)節(jié)的效果，同時，起到對攪拌桶吸附到拋光液充分使用的作用。