1.一種新型鈦鋯基超硬工具涂層的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:
2.如權(quán)利要求1所述的新型鈦鋯基超硬工具涂層的制備方法,其特征在于,在所述步驟一中,所述待鍍樣品清洗過程包括:將所述待鍍樣品分別浸沒在丙酮、去離子水和無水乙醇中分別超聲波清洗10~20min,并風(fēng)干表面;以及
3.如權(quán)利要求1所述的新型鈦鋯基超硬工具涂層的制備方法,其特征在于,在所述步驟一中,離子注入條件包括:選擇陰極為ti,引出電壓為10-15kv,觸發(fā)頻率0-15hz,控制靶流為80-120ma,注入時間為30min。
4.如權(quán)利要求2或3所述的新型鈦鋯基超硬工具涂層的制備方法,其特征在于,在所述步驟二中,設(shè)置鍍膜轉(zhuǎn)速為1r/min,真空態(tài)保持至1.0~1.2pa。
5.如權(quán)利要求1所述的新型鈦鋯基超硬工具涂層的制備方法,其特征在于,在所述步驟三中,設(shè)置鍍膜轉(zhuǎn)速為1r/min,真空態(tài)保持至2.4~3.6pa,氮氣和氬氣分壓比為1:2。
6.如權(quán)利要求1所述的新型鈦鋯基超硬工具涂層的制備方法,其特征在于,在所述步驟四中,設(shè)置轉(zhuǎn)速為截止鍍膜結(jié)束由1r/min增加至5r/min,真空態(tài)保持至2.4~3.6pa,氮氣和氬氣分壓比為1:2。
7.如權(quán)利要求1-3、5、6中任一項所述的新型鈦鋯基超硬工具涂層的制備方法,其特征在于,設(shè)置tizralcr靶材為tipzrqalrcrs,式中,p、q、r、s滿足0.40≤p≤0.55,0.25≤q≤0.35,0.10≤r≤0.25,0.05≤s≤0.10,p+q+r+s=1,電流為90~120a,偏壓-50~-350v,持續(xù)2~10min;
8.一種新型鈦鋯基超硬工具涂層,其特征在于,使用如權(quán)利要求1-7中任一項所述的新型鈦鋯基超硬工具涂層的制備方法制備得到,所述新型鈦鋯基超硬工具涂層包括依次沉積的粘結(jié)層、過渡層和功能層;
9.如權(quán)利要求8所述的新型鈦鋯基超硬工具涂層,其特征在于,所述新型鈦鋯基超硬工具涂層厚度為3~6um。
10.一種新型鈦鋯基超硬工具涂層在超硬強韌耐高溫刀具中的應(yīng)用,其特征在于,使用如權(quán)利要求8所述的新型鈦鋯基超硬工具涂層。