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      一種新型鈦鋯基超硬工具涂層及其制備方法和應(yīng)用與流程

      文檔序號:40357496發(fā)布日期:2024-12-18 13:35閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種新型鈦鋯基超硬工具涂層的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:

      2.如權(quán)利要求1所述的新型鈦鋯基超硬工具涂層的制備方法,其特征在于,在所述步驟一中,所述待鍍樣品清洗過程包括:將所述待鍍樣品分別浸沒在丙酮、去離子水和無水乙醇中分別超聲波清洗10~20min,并風(fēng)干表面;以及

      3.如權(quán)利要求1所述的新型鈦鋯基超硬工具涂層的制備方法,其特征在于,在所述步驟一中,離子注入條件包括:選擇陰極為ti,引出電壓為10-15kv,觸發(fā)頻率0-15hz,控制靶流為80-120ma,注入時間為30min。

      4.如權(quán)利要求2或3所述的新型鈦鋯基超硬工具涂層的制備方法,其特征在于,在所述步驟二中,設(shè)置鍍膜轉(zhuǎn)速為1r/min,真空態(tài)保持至1.0~1.2pa。

      5.如權(quán)利要求1所述的新型鈦鋯基超硬工具涂層的制備方法,其特征在于,在所述步驟三中,設(shè)置鍍膜轉(zhuǎn)速為1r/min,真空態(tài)保持至2.4~3.6pa,氮氣和氬氣分壓比為1:2。

      6.如權(quán)利要求1所述的新型鈦鋯基超硬工具涂層的制備方法,其特征在于,在所述步驟四中,設(shè)置轉(zhuǎn)速為截止鍍膜結(jié)束由1r/min增加至5r/min,真空態(tài)保持至2.4~3.6pa,氮氣和氬氣分壓比為1:2。

      7.如權(quán)利要求1-3、5、6中任一項所述的新型鈦鋯基超硬工具涂層的制備方法,其特征在于,設(shè)置tizralcr靶材為tipzrqalrcrs,式中,p、q、r、s滿足0.40≤p≤0.55,0.25≤q≤0.35,0.10≤r≤0.25,0.05≤s≤0.10,p+q+r+s=1,電流為90~120a,偏壓-50~-350v,持續(xù)2~10min;

      8.一種新型鈦鋯基超硬工具涂層,其特征在于,使用如權(quán)利要求1-7中任一項所述的新型鈦鋯基超硬工具涂層的制備方法制備得到,所述新型鈦鋯基超硬工具涂層包括依次沉積的粘結(jié)層、過渡層和功能層;

      9.如權(quán)利要求8所述的新型鈦鋯基超硬工具涂層,其特征在于,所述新型鈦鋯基超硬工具涂層厚度為3~6um。

      10.一種新型鈦鋯基超硬工具涂層在超硬強韌耐高溫刀具中的應(yīng)用,其特征在于,使用如權(quán)利要求8所述的新型鈦鋯基超硬工具涂層。


      技術(shù)總結(jié)
      本發(fā)明公開了一種新型鈦鋯基超硬工具涂層,包括依次沉積的粘結(jié)層、過渡層和功能層;其中,所述粘結(jié)層包括依次沉積的TiZrAlCr層和TiZrAlCrSi層,所述過渡層包括依次沉積的TiZrAlCrN層和TiZrAlCrSiN層,所述功能層包括周期性的交替沉積的TiZrAlCrN層和TiZrAlCrSiN層;本發(fā)明還公開了一種新型鈦鋯基超硬工具涂層在超硬強韌耐高溫刀具中的應(yīng)用;本發(fā)明提供的新型鈦鋯基超硬工具涂層解決現(xiàn)有刀具涂層高溫硬度低,耐磨損性能不強,耐崩裂性能較弱等問題。

      技術(shù)研發(fā)人員:薛勇杰,劉曙光,邱維維,馬善意,高建國,楊文軍,王非,李學(xué)先
      受保護的技術(shù)使用者:北京機械工業(yè)自動化研究所有限公司
      技術(shù)研發(fā)日:
      技術(shù)公布日:2024/12/17
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