本技術(shù)涉及真空腔體倉門開合領(lǐng)域，尤其是涉及一種真空腔體倉門開合裝置。

背景技術(shù)：

1、磁控濺射鍍膜設(shè)備是一種利用物理氣相沉積（pvd）技術(shù)進(jìn)行薄膜制備的設(shè)備，其中，真空腔體為硅片的鍍膜提供了一個低壓環(huán)境，并且每個真空腔體的長度方向的側(cè)壁上均開設(shè)有矩形的過料口，并且每個真空腔體上都安裝有用于輸送物料的輸送機(jī)構(gòu)，以便于裝有硅片的載板能夠從一個真空腔體進(jìn)入到另一個真空腔體中。

2、通常，真空腔體的頂壁上開設(shè)有安裝口，安裝口上通常會設(shè)置一個倉門對安裝口進(jìn)行封閉，倉門靠近安裝口一側(cè)的側(cè)壁上安裝有加熱器，通過加熱器升高真空腔體內(nèi)的溫度，從而使真空腔體內(nèi)達(dá)到適宜工作的溫度。

3、在傳統(tǒng)方式中，對于倉門的安裝，通常是通過吊裝的方式將倉門運(yùn)送至真空腔體上的安裝口處進(jìn)行安裝的。但是，通過這種方式安裝倉門后，在需要對加熱器進(jìn)行檢修維護(hù)時，還需要通過吊裝的方式將倉門調(diào)離真空腔體后進(jìn)行檢修，通常比較麻煩。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為了能夠方便對倉門上的加熱器進(jìn)行維護(hù)，本技術(shù)提供一種真空腔體倉門開合裝置。

2、本技術(shù)提供一種真空腔體倉門開合裝置，采用如下技術(shù)方案：

3、一種真空腔體倉門開合裝置，包括機(jī)架和腔體，所述腔體安裝在機(jī)架上，所述腔體的頂壁上開設(shè)有安裝口，所述腔體上位于安裝口處還轉(zhuǎn)動安裝有封閉門，所述機(jī)架上安裝有用于驅(qū)動封閉門轉(zhuǎn)動的開合機(jī)構(gòu)，所述開合機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動組件，所述驅(qū)動組件安裝在機(jī)架上，所述封閉門與驅(qū)動組件相連，且所述封閉門用于將安裝口封閉，且所述封閉門上用于安裝加熱器，所述腔體上安裝有保持機(jī)構(gòu)，所述保持機(jī)構(gòu)與封閉門相連，且所述保持機(jī)構(gòu)用于保持封閉門與腔體緊密連接。

4、通過采用上述技術(shù)方案，通過將腔體設(shè)置在機(jī)架上，并將封閉門的一端與腔體轉(zhuǎn)動連接，利用驅(qū)動組件驅(qū)動封閉門轉(zhuǎn)動，使封閉門將腔體上的安裝口封閉，使得封閉門上的加熱器能夠?qū)φ婵涨惑w內(nèi)進(jìn)行加熱，從而使真空腔體內(nèi)達(dá)到工作溫度，并且通過保持機(jī)構(gòu)使封閉門與腔體緊密連接，從而便于保持真空腔體內(nèi)的真空度。而在需要對加熱器進(jìn)行維護(hù)時，則通過保持機(jī)構(gòu)松開封閉門，并通過驅(qū)動組件驅(qū)動封閉門向遠(yuǎn)離腔體的方向轉(zhuǎn)動，從而打開安裝口，從而方便操作人員對封閉門上的加熱器進(jìn)行維護(hù)，從而提高了維護(hù)加熱器的便利性。

5、在一個具體的可實施方案中，所述驅(qū)動組件包括開合氣缸和支座，所述支座設(shè)置在機(jī)架上位于腔體的一側(cè)，所述開合氣缸安裝在封閉門上，且所述開合氣缸的輸出端與支座相連。

6、通過采用上述技術(shù)方案，通過開合氣缸驅(qū)動活塞桿收縮，從而拉動封閉門，使得封閉門能夠向上轉(zhuǎn)動，從而打開安裝口，通過開合氣缸驅(qū)動活塞桿伸出，從而推動封閉門，使得封閉門能夠向下轉(zhuǎn)動，從而封閉安裝口。并且通過將開合氣缸安裝在封閉門上，從而減少了空間的占用，并且使得封閉門的開合也更省力。

7、在一個具體的可實施方案中，所述開合機(jī)構(gòu)還包括緩沖組件，所述緩沖組件包括轉(zhuǎn)套、推桿、鎖定件和解鎖件，所述轉(zhuǎn)套轉(zhuǎn)動安裝在支座上，所述推桿沿開合氣缸的活塞桿的軸線方向安裝在開合氣缸的活塞桿上，且所述推桿的一端穿過轉(zhuǎn)套并向遠(yuǎn)離開合氣缸的方向延伸，且所述推桿遠(yuǎn)離開合氣缸的一端用于與保持機(jī)構(gòu)相連，所述推桿上遠(yuǎn)離開合氣缸的一端的側(cè)壁上安裝有用于抵觸轉(zhuǎn)套的限位板，且所述限位板位于轉(zhuǎn)套遠(yuǎn)離開合氣缸的一側(cè)，所述鎖定件安裝在推桿上，且所述轉(zhuǎn)套位于限位板與鎖定件之間，且所述鎖定件用于對轉(zhuǎn)套遠(yuǎn)離限位板的一端限位，所述解鎖件安裝在機(jī)架上，且所述解鎖件與鎖定件相連。

8、通過采用上述技術(shù)方案，當(dāng)開合氣缸驅(qū)動活塞桿伸出時，通過鎖定件對轉(zhuǎn)套進(jìn)行限位，從而對推桿在軸線方向上進(jìn)行限位，使得開合氣缸能夠帶動封閉門向下轉(zhuǎn)動，從而便于封閉安裝口。當(dāng)封閉門將安裝口封閉時，解鎖件驅(qū)動鎖定件解除對轉(zhuǎn)套的限位，使得開合氣缸能夠繼續(xù)驅(qū)動活塞桿外伸，從而驅(qū)動保持機(jī)構(gòu)動作，從而將封閉門壓緊在腔體上，從而方便提高腔體的氣密性。

9、在一個具體的可實施方案中，所述鎖定件包括鎖定塊和鎖定彈簧，所述推桿的側(cè)壁上開設(shè)有鎖定槽，所述鎖定槽的軸線與推桿的軸線垂直，所述鎖定塊滑動安裝在鎖定槽內(nèi)，且所述鎖定塊的一端外伸出鎖定槽，且所述鎖定塊位于鎖定槽外的一端的側(cè)壁用于與轉(zhuǎn)套端部的側(cè)壁抵觸，所述鎖定彈簧安裝在鎖定槽內(nèi)，且所述鎖定彈簧的一端與鎖定槽的槽底壁相連，另一端與鎖定塊位于鎖定槽內(nèi)的一端相連。

10、通過采用上述技術(shù)方案，通過鎖定塊外伸出鎖定槽，從而對轉(zhuǎn)套的一端進(jìn)行限位，從而實現(xiàn)對推桿在其軸線方向上進(jìn)行限位，從而使得開合氣缸能夠順利帶動封閉門將安裝口封閉。

11、在一個具體的可實施方案中，所述解鎖件包括解鎖塊，所述解鎖塊安裝在支座上，且所述解鎖塊用于抵觸鎖定塊位于鎖定槽外的一端。

12、通過采用上述技術(shù)方案，當(dāng)封閉門將安裝口封閉時，鎖定塊抵觸解鎖塊，從而通過解鎖塊將鎖定塊推入鎖定槽中，從而使鎖定塊解除對轉(zhuǎn)套的限位，使得推桿能夠與轉(zhuǎn)套產(chǎn)生相對滑動，從而帶動保持機(jī)構(gòu)動作。

13、在一個具體的可實施方案中，所述保持機(jī)構(gòu)包括聯(lián)動組件和壓緊組件，所述壓緊組件包括壓緊塊、驅(qū)動桿和復(fù)位件，所述壓緊塊轉(zhuǎn)動安裝在腔體的頂壁上靠近安裝口處，且所述壓緊塊的一端用于壓緊封閉門的頂壁，所述驅(qū)動桿滑動安裝在腔體的頂壁上靠近壓緊塊處，且所述驅(qū)動桿的一端與壓緊塊遠(yuǎn)離安裝口的一端相連，所述復(fù)位件安裝在驅(qū)動桿上，所述復(fù)位件還與腔體相連，所述聯(lián)動組件安裝在腔體上，且所述聯(lián)動組件與驅(qū)動桿相連，所述聯(lián)動組件還與緩沖組件相連。

14、通過采用上述技術(shù)方案，當(dāng)封閉門將安裝口封閉時，通過開合機(jī)構(gòu)推動聯(lián)動組件動作，使得聯(lián)動組件帶動驅(qū)動桿移動，使驅(qū)動桿帶動壓緊塊轉(zhuǎn)動，使得壓緊塊的一端壓緊在封閉門的頂壁上，從而將封閉門壓緊在腔體上，從而便于保持封閉門與腔體連接的緊密性，減少腔體上安裝的用于運(yùn)送物料的機(jī)構(gòu)運(yùn)送物料時產(chǎn)生的振動，從而減少封閉門因腔體產(chǎn)生振動而與腔體之間出現(xiàn)縫隙，從而便于保持腔體的氣密性。

15、在一個具體的可實施方案中，所述復(fù)位件包括復(fù)位彈簧，所述機(jī)架上靠近壓緊塊處安裝有支撐板，所述驅(qū)動桿滑動安裝在支撐板上，且所述驅(qū)動桿穿過支撐板與壓緊塊相連，所述驅(qū)動桿遠(yuǎn)離壓緊塊的一端設(shè)有擋板，所述擋板與聯(lián)動組件相連，所述復(fù)位彈簧安裝在驅(qū)動桿上，且所述復(fù)位彈簧的一端與擋板的側(cè)壁抵觸，另一端與支撐板的側(cè)壁抵觸。

16、通過采用上述技術(shù)方案，在聯(lián)動組件帶動驅(qū)動桿移動時，驅(qū)動桿端部的擋板壓縮復(fù)位彈簧，從而方便在需要驅(qū)動桿復(fù)位時，能夠在復(fù)位彈簧的彈性力的作用下復(fù)位。

17、在一個具體的可實施方案中，所述聯(lián)動組件包括控制件、彈性件和連接件，所述控制件包括控制板，所述控制板沿著與封閉門的轉(zhuǎn)軸垂直的方向安裝在腔體上，且所述控制板位于驅(qū)動桿遠(yuǎn)離安裝口的一側(cè)，所述控制板的側(cè)壁上開設(shè)有供驅(qū)動桿的端部滑動的控制槽，所述控制槽的槽底壁與控制板的側(cè)壁之間通過斜坡連接，所述彈性件安裝在控制板上，且所述彈性件與機(jī)架相連，所述連接件安裝在機(jī)架上，且所述連接件與控制板相連，所述連接件還與緩沖組件相連。

18、通過采用上述技術(shù)方案，在聯(lián)動組件動作時，開合機(jī)構(gòu)驅(qū)動連接件動作，從而帶動控制板向遠(yuǎn)離腔體的方向移動，使得驅(qū)動桿端部的擋板從控制板的控制槽內(nèi)滑動至控制板的側(cè)壁上，從而使驅(qū)動桿向壓緊塊的方向移動，從而帶動壓緊塊轉(zhuǎn)動，以便于使壓緊塊能夠壓緊封閉門。

19、在一個具體的可實施方案中，所述彈性件包括拉簧，所述拉簧的一端與腔體相連，另一端與控制板相連。

20、通過采用上述技術(shù)方案，當(dāng)控制板被連接件帶動至遠(yuǎn)離腔體時，控制板帶動拉簧產(chǎn)生拉伸，以便于在后續(xù)需要打開封閉門時，拉簧能夠帶動控制板復(fù)位，從而通過驅(qū)動桿帶動壓緊塊松開封閉門。

21、在一個具體的可實施方案中，所述連接件包括連接架，所述連接架沿水平方向滑動安裝在機(jī)架上，且所述連接架的下端與控制板的一端相連，所述連接架的上端用于與緩沖組件相連。

22、通過采用上述技術(shù)方案，在用封閉門封閉安裝口時，開合機(jī)構(gòu)通過帶動連接架移動，從而帶動控制板移動，使得控制板帶動驅(qū)動桿移動，從而實現(xiàn)帶動壓緊塊壓緊封閉門的動作。

23、綜上所述，本技術(shù)包括以下至少一種有益效果：

24、1.本技術(shù)通過設(shè)置開合機(jī)構(gòu)，方便通過開合機(jī)構(gòu)實現(xiàn)封閉門的開啟和關(guān)閉，從而省去了通過吊裝的方式來運(yùn)送封閉門，從而方便對安裝在封閉門上的加熱器進(jìn)行維護(hù)。

25、2.本技術(shù)通過設(shè)置保持機(jī)構(gòu)，方便通過保持機(jī)構(gòu)將封閉門與腔體保持緊密連接，從而便于保持腔體的氣密性。