發(fā)出信號(hào)。這樣PVD腔室中無(wú)需設(shè)置上下兩個(gè)觀察窗，只需要一個(gè)觀察窗即可觀察，然后結(jié)合各傳感器是否發(fā)出信號(hào)判斷BLADE或DISK是否到達(dá)安全位置。
[0034]本發(fā)明相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)最大的改進(jìn)在于采用漫反射傳感器代替對(duì)射傳感器，采用漫發(fā)射器能夠降低成本，并且在腔室車庫(kù)上僅設(shè)置一個(gè)觀察窗，這樣不僅方便操作，而且使得整個(gè)腔室更加美觀。
[0035]實(shí)施例一
[0036]參見(jiàn)圖3和圖4，所述觀察窗100設(shè)置在所述PVD腔室的腔室車庫(kù)的下方。
[0037]較佳的，作為一種可實(shí)施方式，所述傳感器的數(shù)量為四個(gè)，分別為旋轉(zhuǎn)手臂外沿傳感器600、旋轉(zhuǎn)手臂內(nèi)沿傳感器700、遮擋盤內(nèi)沿傳感器500和遮擋盤外沿傳感器400 ;所述旋轉(zhuǎn)手臂外沿傳感器600、旋轉(zhuǎn)手臂內(nèi)沿傳感器700、遮擋盤內(nèi)沿傳感器500和遮擋盤外沿傳感器400均設(shè)置在所述觀察窗100的可視范圍內(nèi)。本實(shí)施例中，當(dāng)檢測(cè)所述遮擋盤200是否到達(dá)安全位置時(shí)，所述遮擋盤外沿傳感器400在所述PVD腔室遮擋盤檢測(cè)裝置中作為限位使用；當(dāng)檢測(cè)所述旋轉(zhuǎn)手臂300是否到達(dá)安全位置時(shí)，所述旋轉(zhuǎn)手臂外沿傳感器600作為限位使用。
[0038]使用時(shí)，遮擋盤電機(jī)將遮擋盤200通過(guò)旋轉(zhuǎn)手臂300旋轉(zhuǎn)至腔室車庫(kù)，如圖3及圖4所示，旋轉(zhuǎn)手臂外沿傳感器600、旋轉(zhuǎn)手臂內(nèi)沿傳感器700及遮擋盤內(nèi)沿傳感器500這三個(gè)漫反射傳感器通過(guò)設(shè)置在下方的觀察窗100檢測(cè)到遮擋盤200是否到達(dá)安全位置，遮擋盤外沿傳感器400作為限位使用，當(dāng)旋轉(zhuǎn)手臂外沿傳感器600、旋轉(zhuǎn)手臂內(nèi)沿傳感器700及遮擋盤內(nèi)沿傳感器500發(fā)出信號(hào)，而遮擋盤外沿傳感器400不發(fā)出信號(hào)時(shí)，遮擋盤200到達(dá)安全位置，腔室可進(jìn)行沉積工藝。當(dāng)進(jìn)行預(yù)燒、清洗和涂覆工藝時(shí)，遮擋盤電機(jī)通過(guò)旋轉(zhuǎn)手臂300將遮擋盤200旋轉(zhuǎn)至腔室內(nèi)，基座升降電機(jī)上升將遮擋盤200頂起，旋轉(zhuǎn)手臂回轉(zhuǎn)至車庫(kù)內(nèi)，旋轉(zhuǎn)手臂內(nèi)沿傳感器700檢測(cè)旋轉(zhuǎn)手臂是否到達(dá)安全位置，旋轉(zhuǎn)手臂內(nèi)沿傳感器700作為限位使用，當(dāng)旋轉(zhuǎn)手臂內(nèi)沿傳感器700發(fā)出信號(hào)，而旋轉(zhuǎn)手臂內(nèi)沿傳感器700不發(fā)出信號(hào)時(shí)，旋轉(zhuǎn)手臂到達(dá)安全位置，頂針升降電機(jī)才允許上升。
[0039]本實(shí)施例需要預(yù)先設(shè)定好旋轉(zhuǎn)手臂外沿傳感器、旋轉(zhuǎn)手臂內(nèi)沿傳感器、遮擋盤外沿傳感器和遮擋盤內(nèi)沿傳感器的檢測(cè)距離。
[0040]實(shí)施例二
[0041]參見(jiàn)圖5和圖6，本實(shí)施例中，所述觀察窗100設(shè)置在所述PVD腔室的腔室車庫(kù)的側(cè)面。
[0042]較佳的，作為一種可實(shí)施方式，所述傳感器的數(shù)量為三個(gè)，分別為旋轉(zhuǎn)手臂外沿傳感器600、旋轉(zhuǎn)手臂內(nèi)沿傳感器700和遮擋盤內(nèi)沿傳感器500 ;所述旋轉(zhuǎn)手臂外沿傳感器600和遮擋盤內(nèi)沿傳感器500設(shè)置在所述觀察窗100的可視范圍內(nèi)。本實(shí)施例中，所述旋轉(zhuǎn)手臂內(nèi)沿傳感器700在所述PVD腔室遮擋盤檢測(cè)裝置中作為限位使用。所述旋轉(zhuǎn)手臂內(nèi)沿傳感器700設(shè)置在所述觀察窗的可視范圍外。
[0043]本實(shí)施例中，在腔室車庫(kù)側(cè)面有觀察窗100，遮擋盤電機(jī)將遮擋盤200通過(guò)旋轉(zhuǎn)手臂300旋轉(zhuǎn)至腔室車庫(kù)，旋轉(zhuǎn)手臂外沿傳感器600及遮擋盤內(nèi)沿傳感器500通過(guò)觀察窗100檢測(cè)到遮擋盤200是否到達(dá)安全位置，旋轉(zhuǎn)手臂內(nèi)沿傳感器700作為限位使用，當(dāng)旋轉(zhuǎn)手臂外沿傳感器600及遮擋盤內(nèi)沿傳感器500發(fā)出信號(hào)，而旋轉(zhuǎn)手臂內(nèi)沿傳感器700不發(fā)出信號(hào)時(shí)，遮擋盤200到達(dá)安全位置，腔室可進(jìn)行沉積工藝。當(dāng)進(jìn)行預(yù)燒、清洗和涂覆工藝時(shí)，遮擋盤電機(jī)通過(guò)旋轉(zhuǎn)手臂300將遮擋盤旋轉(zhuǎn)至腔室內(nèi)，基座升降電機(jī)上升將遮擋盤200頂起，旋轉(zhuǎn)手臂300回轉(zhuǎn)至車庫(kù)內(nèi)，旋轉(zhuǎn)手臂外沿傳感器600及遮擋盤內(nèi)沿傳感器500檢測(cè)旋轉(zhuǎn)手臂300是否到達(dá)安全位置，旋轉(zhuǎn)手臂內(nèi)沿傳感器700作為限位使用，當(dāng)旋轉(zhuǎn)手臂外沿傳感器600發(fā)出信號(hào)，而旋轉(zhuǎn)手臂內(nèi)沿傳感器700不發(fā)出信號(hào)時(shí)，旋轉(zhuǎn)手臂300到達(dá)安全位置，頂針升降電機(jī)才允許上升。
[0044]本實(shí)施例需要預(yù)先分別設(shè)定好旋轉(zhuǎn)手臂外沿傳感器、旋轉(zhuǎn)手臂內(nèi)沿傳感器及遮擋盤內(nèi)沿傳感器的檢測(cè)距離，當(dāng)遮擋盤進(jìn)入車庫(kù)，到達(dá)遮擋盤內(nèi)沿傳感器及旋轉(zhuǎn)手臂外沿傳感器的檢測(cè)范圍內(nèi)時(shí)，此時(shí)傳感器發(fā)出信號(hào)，表明遮擋盤及旋轉(zhuǎn)手臂都已到達(dá)安全位置，電機(jī)停止旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)手臂內(nèi)沿傳感器作為限位傳感器，其檢測(cè)范圍內(nèi)沒(méi)有檢測(cè)物體，因此沒(méi)有信號(hào)發(fā)出，表明遮擋盤及旋轉(zhuǎn)手臂沒(méi)有超過(guò)限位。
[0045]較佳的，作為一種可實(shí)施方式，所述PVD腔室遮擋盤檢測(cè)裝置還包括外罩800，所述外罩800罩設(shè)在所述旋轉(zhuǎn)手臂外沿傳感器600和所述遮擋盤內(nèi)沿傳感器500的外圍，所述外罩800與所述腔室車庫(kù)一體成型。
[0046]本發(fā)明還提供一種PVD腔室，包括實(shí)施例一和實(shí)施例二所述的PVD腔室遮擋盤檢測(cè)裝置。
[0047]以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本發(fā)明的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此，本發(fā)明專利的保護(hù)范圍應(yīng)以權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種PVD腔室遮擋盤檢測(cè)裝置，包括傳感器和觀察窗，其特征在于，所述觀察窗為一個(gè)，所述傳感器均為漫反射傳感器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的PVD腔室遮擋盤檢測(cè)裝置，其特征在于，所述觀察窗設(shè)置在所述PVD腔室的腔室車庫(kù)的下方。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的PVD腔室遮擋盤檢測(cè)裝置，其特征在于，所述傳感器的數(shù)量為四個(gè)，分別為旋轉(zhuǎn)手臂外沿傳感器、旋轉(zhuǎn)手臂內(nèi)沿傳感器、遮擋盤內(nèi)沿傳感器和遮擋盤外沿傳感器； 所述旋轉(zhuǎn)手臂外沿傳感器、旋轉(zhuǎn)手臂內(nèi)沿傳感器、遮擋盤內(nèi)沿傳感器和遮擋盤外沿傳感器均設(shè)置在所述觀察窗的可視范圍內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的PVD腔室遮擋盤檢測(cè)裝置，其特征在于，當(dāng)檢測(cè)所述遮擋盤是否到達(dá)安全位置時(shí)，所述遮擋盤外沿傳感器在所述PVD腔室遮擋盤檢測(cè)裝置中作為限位使用； 當(dāng)檢測(cè)所述旋轉(zhuǎn)手臂是否到達(dá)安全位置時(shí)，所述旋轉(zhuǎn)手臂外沿傳感器作為限位使用。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的PVD腔室遮擋盤檢測(cè)裝置，其特征在于，所述觀察窗設(shè)置在所述PVD腔室的腔室車庫(kù)的側(cè)面。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的PVD腔室遮擋盤檢測(cè)裝置，其特征在于，所述傳感器的數(shù)量為三個(gè)，分別為旋轉(zhuǎn)手臂外沿傳感器、旋轉(zhuǎn)手臂內(nèi)沿傳感器和遮擋盤內(nèi)沿傳感器； 所述旋轉(zhuǎn)手臂外沿傳感器和遮擋盤內(nèi)沿傳感器設(shè)置在所述觀察窗的可視范圍內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的PVD腔室遮擋盤檢測(cè)裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)手臂內(nèi)沿傳感器在所述PVD腔室遮擋盤檢測(cè)裝置中作為限位使用。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的PVD腔室遮擋盤檢測(cè)裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)手臂內(nèi)沿傳感器設(shè)置在所述觀察窗的可視范圍外。
9.根據(jù)權(quán)利要求5至8任意一項(xiàng)所述的PVD腔室遮擋盤檢測(cè)裝置，其特征在于，所述PVD腔室遮擋盤檢測(cè)裝置還包括外罩，所述外罩罩設(shè)在所述旋轉(zhuǎn)手臂外沿傳感器和所述遮擋盤內(nèi)沿傳感器的外圍，所述外罩與所述腔室車庫(kù)一體成型。
10.一種PVD腔室，其特征在于，包括權(quán)利要求1至9任意一項(xiàng)所述的PVD腔室遮擋盤檢測(cè)裝置。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種PVD腔室遮擋盤檢測(cè)裝置和PVD腔室，包括傳感器和觀察窗，所述觀察窗為一個(gè)，所述傳感器均為漫反射傳感器。本發(fā)明的PVD腔室遮擋盤檢測(cè)裝置僅采用一個(gè)觀察窗，降低了設(shè)備造價(jià)，并且設(shè)備外型簡(jiǎn)單美觀，再者本發(fā)明采用了漫反射激光傳感器來(lái)檢測(cè)遮擋盤位置，降低了設(shè)備成本。
【IPC分類】C23C14-54, C23C14-22
【公開(kāi)號(hào)】CN104746034
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201310751929
【發(fā)明人】沈圍, 葉華, 徐悅
【申請(qǐng)人】北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司
【公開(kāi)日】2015年7月1日
【申請(qǐng)日】2013年12月31日