r>[0107]在產(chǎn)生了中間波紋和波浪邊的長金屬板64中，一般如圖10所示，在長金屬板64的寬度方向的中央部64c附近出現(xiàn)延伸差率的極大值(點(diǎn)A)。另外，在從長金屬板64的寬度方向的中央部向周邊部側(cè)稍微離開的位置出現(xiàn)延伸差率的極小值(點(diǎn)B)。并且，延伸差率從點(diǎn)B向?qū)挾确较虻闹苓叢恐饾u增加(點(diǎn)C)，并且，在寬度方向的端部，延伸差率的值達(dá)到最大(點(diǎn)D)。因此，在圖10中如點(diǎn)劃線所示，描繪出在中央部分Rl示出延伸差率=10X10_5、在周邊部分R2示出延伸差率=20X 10_5的基準(zhǔn)線81的情況下，延伸差率的曲線80位于基準(zhǔn)線81的下方，這表示滿足了上述的條件(I)和(2)。在圖10所示的例子中，滿足了上述的條件⑴和(2)。
[0108]關(guān)于條件(3)，判定寬度方向D2的端部64e的延伸差率、即點(diǎn)D處的延伸差率是否大于中央部分Rl的延伸差率的最大值(圖10所示的例子中，為點(diǎn)A處的延伸差率)。圖10所示的例子中，滿足了上述的條件(3)。
[0109]通過實(shí)施這樣的篩選，即使因?yàn)殚L金屬板64的軋制率大而導(dǎo)致在長金屬板64中出現(xiàn)起伏形狀的情況下，也能夠提前判斷該起伏形狀的程度是否會(huì)在之后的蒸鍍掩模20的制造工序、有機(jī)EL顯示裝置的制造工序中成為問題。由此，可使同時(shí)制作的2個(gè)以上的細(xì)長狀蒸鍍掩模20的長度的差異的程度為容許范圍內(nèi)。因此，能夠使制造的蒸鍍掩模20的有效區(qū)域22的各貫通孔25的間距的偏差得到降低，由此，可提高有機(jī)EL顯示裝置的像素的尺寸精度和位置精度。此外，可提高蒸鍍掩模20的制造工序中的成品率。
[0110]需要說明的是，對(duì)用于得到具有圖10所示的延伸差率的曲線80的、全寬500mm的長金屬板64的方法沒有特別限定。
[0111]例如，通過軋制母材55，制作具有超過500mm的全寬、例如700mm的全寬的長金屬板，其后，將該長金屬板的寬度方向的兩端切掉預(yù)定范圍，由此可制作寬500_的長金屬板64。需要說明的是，具有700mm的全寬的長金屬板中，圖10中如以雙點(diǎn)劃線所示，有時(shí)存在延伸差率超過20X 10_5的部分。即使這種情況下，通過將兩端切掉預(yù)定范圍，可得到滿足上述條件⑴?⑶的長金屬板64。
[0112]或者，在不將兩端切掉預(yù)定范圍的情況下，也可以通過軋制制作滿足上述條件
(I)?(3)的長金屬板64。
[0113](蒸鍍掩模的制造方法)
[0114]下面，主要參照?qǐng)D11?圖20，對(duì)利用如上篩選出的長金屬板64來制造蒸鍍掩模20的方法進(jìn)行說明。以下說明的蒸鍍掩模20的制造方法中，如圖11所示，供給長金屬板64，在該長金屬板64上形成貫通孔25，進(jìn)一步裁斷長金屬板64，從而得到由片狀的金屬板21構(gòu)成的蒸鍍掩模20。
[0115]更具體地說，蒸鍍掩模20的制造方法包括:供給延伸成帶狀的長金屬板64的工序；將利用照相平版印刷技術(shù)的蝕刻實(shí)施于長金屬板64，在長金屬板64上從第I面64a側(cè)形成第I凹部30的工序；和，將利用了照相平版印刷技術(shù)的蝕刻實(shí)施于長金屬板64，在長金屬板64上從第2面64b側(cè)形成第2凹部35的工序。并且，形成于長金屬板64的第I凹部30和第2凹部35相互相通，從而在長金屬板64上制作出貫通孔25。在圖11所示的例子中，第2凹部35的形成工序在第I凹部30的形成工序之前實(shí)施，并且在第2凹部35的形成工序與第I凹部30的形成工序之間進(jìn)一步設(shè)置有對(duì)所制作的第2凹部35進(jìn)行密封的工序。以下詳細(xì)說明各工序。
[0116]圖11示出了用于制作蒸鍍掩模20的制造裝置60。如圖11所示，首先，準(zhǔn)備將長金屬板64卷取于芯材61上而成的卷繞體62。并且，通過旋轉(zhuǎn)該芯材61而將卷繞體62放卷，從而如圖11所示那樣供給延伸成帶狀的長金屬板64。需要說明的是，長金屬板64形成有貫通孔25后形成片狀的金屬板21、進(jìn)而形成蒸鍍掩模20。
[0117]被供給的長金屬板64被傳送輥72傳送至蝕刻裝置(蝕刻單元)70。利用蝕刻單元70，實(shí)施圖12?圖20所示的各處理。
[0118]首先，如圖12所示，在長金屬板64的第I面64a上(圖12的紙面中的下側(cè)的面上)和第2面64b上涂布負(fù)型的感光性抗蝕劑材料，在長金屬板64上形成抗蝕劑膜65c、65do接著，準(zhǔn)備曝光掩模85a、85b，該曝光掩模85a、85b不使光透過至抗蝕劑膜65c、65d中的欲除去的區(qū)域，將曝光掩模85a、85b分別如圖13所示配置于抗蝕劑膜65c、65d上。作為曝光掩模85a、85b，使用例如玻璃干板，該玻璃干板不使光透過至抗蝕劑膜65c、65d中的欲除去的區(qū)域。其后，通過真空密合使曝光掩模85a、85b與抗蝕劑膜65c、65d充分密合。
[0119]需要說明的時(shí)，作為感光性抗蝕劑材料，可以使用正型的感光性抗蝕劑材料。這種情況下，作為曝光掩模，使用使光透過至抗蝕劑膜中的欲除去的區(qū)域的曝光掩模。
[0120]在此，根據(jù)本實(shí)施方式，如上所述，使用端部64e的延伸差率大于中央部分Rl的延伸差率的最大值的長金屬板64。即，長金屬板64的寬度方向D2的端部64e的起伏形狀的程度大于長金屬板64的寬度方向D2的中央部64c的起伏形狀的程度。一般在真空密合中，通過使設(shè)置于長金屬板64上的抗蝕劑膜65c、65d與曝光掩模85a、85b之間存在的空氣從長金屬板64和抗蝕劑膜65c、65d的層積體的端部向外部排出，可實(shí)現(xiàn)抗蝕劑膜65c、65d與曝光掩模85a、85b之間的密合。此處，假設(shè)長金屬板64的端部64e的起伏形狀的程度小于長金屬板64的中央部64c的起伏形狀的程度，則可以認(rèn)為，與層積體的中央部附近的區(qū)域相比，層積體的端部附近的區(qū)域率先與曝光掩模85a、85b密合，其結(jié)果，導(dǎo)致層積體的中央部附近存在的空氣的溢出通道消失。相對(duì)于此，根據(jù)本實(shí)施方式，長金屬板64的端部64e的起伏形狀的程度大于長金屬板64的中央部64c的起伏形狀的程度，因此，能夠可靠地確保層積體的中央部附近存在的空氣的溢出通道，因此，能夠使曝光掩模85a、85b與抗蝕劑膜65c、65d在整個(gè)區(qū)域充分密合。
[0121]其后，隔著曝光掩模85a、85b將抗蝕劑膜65c、65d曝光，進(jìn)一步將抗蝕劑膜65c、65d顯影。如此，如圖14所示，可在長金屬板64的第I面64a上形成抗蝕劑圖案(也簡稱為抗蝕劑)65a、在長金屬板64的第2面64b上形成抗蝕劑圖案(也簡稱為抗蝕劑)65b。
[0122]接著，如圖15所示，將長金屬板64上形成的抗蝕劑圖案65b作為掩模，使用蝕刻液(例如氯化鐵(III)溶液)，從長金屬板64的第2面64b側(cè)蝕刻。例如，蝕刻液從噴嘴隔著抗蝕劑圖案65b噴向著長金屬板64的第2面64b，所述噴嘴配置在與傳送的長金屬板64的第2面64b面對(duì)的一側(cè)。其結(jié)果，如圖15所示，長金屬板64中的未被抗蝕劑圖案65b覆蓋的區(qū)域中，蝕刻液所致的侵蝕推進(jìn)。如此，從第2面64b側(cè)在長金屬板64上形成大量的第2凹部35。
[0123]其后，如圖16所示，利用對(duì)蝕刻液具有耐性的樹脂69，將所形成的第2凹部35被覆。即，利用對(duì)蝕刻液具有耐性的樹脂69，將第2凹部35密封。如圖16所示的例子中，樹脂69的膜按照不僅覆蓋所形成的第2凹部35、而且也覆蓋第2面64b (抗蝕劑圖案65b)的方式形成。
[0124]接著，如圖17所示，對(duì)長金屬板64進(jìn)行第2次蝕刻。在第2次蝕刻中，長金屬板64僅從第I面64a側(cè)被蝕刻，從第I面64a側(cè)，第I凹部30的形成推進(jìn)。由于長金屬板64的第2面64b側(cè)被覆有對(duì)蝕刻液具有耐性的樹脂69，因此，通過第I次蝕刻形成所期望的形狀的第2凹部35的形狀不會(huì)受損。
[0125]基于蝕刻的侵蝕在長金屬板64中的與蝕刻液接觸的部分進(jìn)行。因此，侵蝕不僅僅在長金屬板64的法線方向(厚度方向)推進(jìn)，在沿著長金屬板64的板面的方向也推進(jìn)。其結(jié)果，如圖18所示，蝕刻在長金屬板64的法線方向推進(jìn)而使第I凹部30與第2凹部35連接，不僅如此，在與抗蝕劑圖案65a的相鄰的二個(gè)孔66a面對(duì)的位置分別形成的兩個(gè)第I凹部30在位于二個(gè)孔66a之間的橋部67a的內(nèi)側(cè)匯合。
[0126]如圖19所示，從長金屬板64的第I面64a側(cè)的蝕刻進(jìn)一步推進(jìn)。如圖19所示，相鄰的兩個(gè)第I凹部30匯合而成的匯合部分43脫離抗蝕劑圖案65a，處于抗蝕劑圖案65a之下的該匯合部分43中，蝕刻所致的侵蝕也在金屬板64的法線方向(厚度方向)推進(jìn)。由此，朝向沿著蒸鍍掩模的法線方向的一側(cè)尖銳的匯合部分43從沿著蒸鍍掩模的法線方向的一側(cè)被蝕刻，從而如圖19所示那樣被倒角。由此，可使第I凹部30的壁面31相對(duì)于蒸鍍掩模的法線方向所形成的傾斜角ΘI增大。
[0127]如此，基于蝕刻的長金屬板64的第I面64a的侵蝕在長金屬板64的用于形成有效區(qū)域22的整個(gè)區(qū)域內(nèi)推進(jìn)。由此，用于形成有效區(qū)域22的區(qū)域內(nèi)的長金屬板64的沿著法線方向的最大厚度Ta相比蝕刻前的長金屬板64的最大厚度Tb變薄。
[0128]如上所述，從長金屬板64的第I面64a側(cè)的蝕刻僅推進(jìn)預(yù)先設(shè)定的量，對(duì)長金屬板64的第2次蝕刻結(jié)束。此時(shí)，第I凹部30沿著長金屬板64的厚度方向延伸至到達(dá)第2凹部35的位置處，從而利用相互相通的第I凹部30和第2凹部35在長金屬板64上形成貫通孔25。
[0129]其后，如圖20所示，從長金屬板64上除去樹脂69。通過使用例如堿系剝離液而能夠除去樹脂膜69。需要說明的是，使用堿系剝離液的情況下，如圖20所示，與樹脂69同時(shí)也除去抗蝕劑圖案65a、65b。
[0130]利用以夾持該長金屬板64的狀態(tài)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的傳送輥72、72向切斷裝置(切斷單元)73傳送如此形成有大量貫通孔25的長金屬板64。需要說明的是，藉由利用該傳送輥72,72的旋轉(zhuǎn)而作用于長金屬板64的張力(拉伸力)，使上述的供給芯材61旋轉(zhuǎn)，從而由卷繞體62供給長金屬板64。
[0131]其后，利用切斷裝置(切斷單元)73將形成有大量凹部61的長金屬板64切斷成預(yù)定的長度和寬度，從而得到形成有大量貫通孔25的片狀金屬板21。
[0132]如上操作，可得到由形成有大量貫通孔25的金屬板21構(gòu)成的蒸鍍掩模20。在此，根據(jù)本實(shí)施方式，金屬板21的第I面21a在有效區(qū)域22的整個(gè)區(qū)域被蝕刻。因此，使蒸鍍掩模20的有效區(qū)域22的厚度減小，并且可以使在第I面21a側(cè)形成的兩個(gè)第I凹部30的壁面31的先端邊緣32匯合的部分43的外輪廓為倒角的形狀。因此，可以增大上述角度Θ 1，由此，可提高蒸鍍材料的利用效率和蒸鍍的位置精度。
[0133]但是，將具有起伏形狀的長金屬板64沿著長度方向切斷成預(yù)定的寬度意味著，由切斷后得到的細(xì)長狀金屬板21構(gòu)成的各蒸