一種行星齒輪式雙面研磨/拋光機(jī)的制作方法
【專利說明】
[技術(shù)領(lǐng)域]
[0001]本發(fā)明涉及研磨機(jī)或拋光機(jī)，尤其涉及一種行星齒輪式雙面研磨/拋光機(jī)。
[【背景技術(shù)】]
[0002]雙面研磨/拋光機(jī)非常適用于硬脆性材料薄形精密零件的上、下兩平行端面的同時(shí)磨削及拋光，可以加工出平面度、等厚度及粗糙度要求非常高的薄形零件，所以在光學(xué)及半導(dǎo)體材料的加工領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。
[0003]如圖1和圖2所示，傳統(tǒng)的雙面研磨(拋光機(jī))采用行星輪系傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，包括機(jī)架、太陽輪10、內(nèi)齒圈11、下研磨盤12，上研磨盤40、行星齒輪41、太陽輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、內(nèi)齒圈驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、下研磨盤驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、上研磨盤驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。太陽輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括太陽輪驅(qū)動(dòng)軸2，太陽輪10固定在太陽輪驅(qū)動(dòng)軸2的上端。工件100放置在行星齒輪41的空腔內(nèi)，設(shè)備工作時(shí)，行星齒輪41由內(nèi)齒圈11和太陽輪10帶動(dòng)圍繞著太陽輪10進(jìn)行公轉(zhuǎn)，行星齒輪41也進(jìn)行一定速度的自轉(zhuǎn)。此時(shí)上研磨盤40和下研磨盤12壓持著加工零件4進(jìn)行相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)工件4上下平面進(jìn)行同時(shí)研磨(或拋光)的加工。
[0004]行星齒輪41的厚度略小于工件4的厚度，碳素鋼制做的行星齒輪41硬度較高，在與太陽輪10、內(nèi)齒圈11在配合工作的過程中，會(huì)對(duì)設(shè)備上太陽輪10、內(nèi)齒圈11的嚙合處造成嚴(yán)重的局部磨損。
[0005]對(duì)于傳統(tǒng)的研磨/拋光機(jī)設(shè)備，操作人員需定期對(duì)太陽輪10手工進(jìn)行加減墊片，調(diào)整太陽輪10的高度，錯(cuò)開其磨損的部位，使太陽輪10輪齒的磨損均勻，以延長(zhǎng)太陽輪10使用壽命。
[0006]內(nèi)齒圈11的直徑較大，齒數(shù)多，磨損相對(duì)比太陽輪輕一些，但內(nèi)齒圈11在多個(gè)位置加減墊片的方法很難將調(diào)內(nèi)齒圈平，內(nèi)齒圈11在保養(yǎng)時(shí)可以翻轉(zhuǎn)使用，也可以在維護(hù)保養(yǎng)時(shí)對(duì)端面進(jìn)行切削，減薄其厚度。
[0007]雙面研磨機(jī)(拋光機(jī))的太陽輪及內(nèi)齒圈的嚙合處磨損一直以來都是雙面研磨機(jī)設(shè)備保養(yǎng)的主要問題，太陽輪和內(nèi)齒圈高度的調(diào)整也是費(fèi)工費(fèi)時(shí)保養(yǎng)操作，并且還可能因太陽輪或內(nèi)齒圈調(diào)整裝配不良而造成加工零件的良率下降。
[
【發(fā)明內(nèi)容】
]
[0008]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種太陽輪磨損均勻、行星齒輪機(jī)構(gòu)零部件使用壽命長(zhǎng)、維護(hù)保養(yǎng)工作量較小的行星齒輪式雙面研磨/拋光機(jī)。
[0009]本發(fā)明進(jìn)一步要解決的技術(shù)問題是提供一種內(nèi)齒圈磨損均勻的行星齒輪式雙面研磨/拋光機(jī)。
[0010]為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是，一種行星齒輪式雙面研磨/拋光機(jī)，包括機(jī)架、太陽輪、內(nèi)齒圈、下研磨盤，太陽輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、內(nèi)齒圈驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、下研磨盤驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、上研磨盤驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和太陽輪升降機(jī)構(gòu)；太陽輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括太陽輪驅(qū)動(dòng)軸，太陽輪固定在太陽輪驅(qū)動(dòng)軸的上端；機(jī)架包括機(jī)座和固定在機(jī)座上的安裝座，太陽輪驅(qū)動(dòng)軸的中部由安裝座支承，太陽輪升降機(jī)構(gòu)包括升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第一螺套、第二螺套、托板和復(fù)數(shù)根拉桿；第一螺套松套在安裝座外面，由安裝座支承，第二螺套的內(nèi)螺紋與第一螺套的外螺紋旋合，第一螺套由升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)；安裝座的下部包括復(fù)數(shù)個(gè)拉桿孔，拉桿的上端固定在第二螺套上，拉桿的下端穿過拉桿孔，固定在托板上，托板安裝在太陽輪驅(qū)動(dòng)軸的下部。
[0011]以上所述的行星齒輪式雙面研磨/拋光機(jī)，包括內(nèi)齒圈升降機(jī)構(gòu)，內(nèi)齒圈驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括齒圈支架、升降套、齒圈驅(qū)動(dòng)齒輪和支架軸承，齒圈支架包括支架和軸承座，內(nèi)齒圈固定在支架上。軸承座通過支架軸承安裝在升降套上；升降套松套在安裝座的外面，與安裝座滑動(dòng)配合；升降套坐落在第二螺套上，由第二螺套的頂面支承；齒圈驅(qū)動(dòng)齒輪固定在軸承座上。
[0012]以上所述的行星齒輪式雙面研磨/拋光機(jī)，安裝座下部包括突緣，安裝座的突緣固定在機(jī)座上；安裝座的突緣上包括三個(gè)所述的拉桿孔，所述的拉桿為三根；第一螺套的下端由安裝座的突緣支承，第一螺套的外螺紋位于第一螺套的上部，第一螺套的下部包括齒輪；升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括減速機(jī)和由減速機(jī)帶動(dòng)的驅(qū)動(dòng)齒輪，第一螺套的齒輪由驅(qū)動(dòng)齒輪帶動(dòng)。
[0013]以上所述的行星齒輪式雙面研磨/拋光機(jī)，下研磨盤驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括托盤，下研磨盤驅(qū)動(dòng)軸和下研磨盤驅(qū)動(dòng)齒輪；下研磨盤驅(qū)動(dòng)軸穿過安裝座的內(nèi)孔，下研磨盤驅(qū)動(dòng)軸的上部和下部由安裝座分別通過軸承支承；下研磨盤固定在托盤上，托盤固定在下研磨盤驅(qū)動(dòng)軸的上端，下研磨盤驅(qū)動(dòng)齒輪固定在下研磨盤驅(qū)動(dòng)軸的下端。
[0014]以上所述的行星齒輪式雙面研磨/拋光機(jī)，太陽輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括滑套和太陽輪驅(qū)動(dòng)齒輪，下研磨盤驅(qū)動(dòng)軸為空心軸，太陽輪驅(qū)動(dòng)軸穿過下研磨盤驅(qū)動(dòng)軸的內(nèi)孔；滑套套在太陽輪驅(qū)動(dòng)軸的外面，與太陽輪驅(qū)動(dòng)軸滑動(dòng)配合；滑套的上端和下端由研磨盤驅(qū)動(dòng)軸分別通過軸承支承；托板通過止推軸承安裝在太陽輪驅(qū)動(dòng)軸的下部，太陽輪驅(qū)動(dòng)齒輪固定在太陽輪驅(qū)動(dòng)軸的下端。
[0015]以上所述的行星齒輪式雙面研磨/拋光機(jī)，太陽輪驅(qū)動(dòng)軸為空心軸，上研磨盤驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括中心軸、上滑套、下滑套、上軸承、下軸承、中心軸軸承、中心軸驅(qū)動(dòng)齒輪和上研磨盤的驅(qū)動(dòng)盤；中心軸穿過太陽輪驅(qū)動(dòng)軸的內(nèi)孔，驅(qū)動(dòng)盤固定在中心軸的上端，中心軸驅(qū)動(dòng)齒輪固定在中心軸的下部，中心軸的下端通過中心軸軸承安裝在機(jī)座上；上滑套和下滑套分別套在中心軸的上部和下部，與中心軸滑動(dòng)配合；上滑套通過上軸承安裝在太陽輪驅(qū)動(dòng)軸內(nèi)孔的上端，下滑套通過上軸承安裝在太陽輪驅(qū)動(dòng)軸內(nèi)孔的下端。
[0016]以上所述的行星齒輪式雙面研磨/拋光機(jī)，太陽輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括中心輪和中心輪座，中心輪座固定在太陽輪驅(qū)動(dòng)軸的上端，中心輪固定在中心輪座上，太陽輪固定在中心輪上。
[0017]本發(fā)明行星齒輪式雙面研磨/拋光機(jī)可以很方便地調(diào)整太陽輪的高度，調(diào)整過程可以隨時(shí)進(jìn)行，調(diào)整過程中不需要拆卸零件，不會(huì)更變?cè)O(shè)備裝配精度，可以保證機(jī)床長(zhǎng)期工作穩(wěn)定性，采用本設(shè)備的太陽輪升降機(jī)構(gòu)，太陽輪的磨損會(huì)均勻，使用壽命大大提高。
[【附圖說明】]
[0018]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。
[0019]圖1是現(xiàn)有技術(shù)行星齒輪式雙面研磨/拋光機(jī)主體上部的剖視圖。
[0020]圖2是現(xiàn)有技術(shù)行星齒輪式雙面研磨/拋光機(jī)研磨部件的剖視圖。
[0021]圖3是本發(fā)明實(shí)施例行星齒輪式雙面研磨/拋光機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]圖4是圖3中I部位的局部放大圖。
[【具體實(shí)施方式】]
[0023]本發(fā)明實(shí)施例行星齒輪式雙面研磨(拋光)機(jī)的結(jié)構(gòu)如圖3所示，包括機(jī)架、太陽輪10、內(nèi)齒圈11、下研磨盤12，太陽輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、內(nèi)齒圈驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、下研磨盤驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、上研磨盤驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、太陽輪升降機(jī)構(gòu)和內(nèi)齒圈升降機(jī)構(gòu)。
[0024]機(jī)架包括機(jī)座19和固定在機(jī)座19上的安裝座1，安裝座I中空，下部有安裝突緣101，安裝座的突緣101用螺絲29固定在機(jī)座19上。
[0025]太陽輪升降機(jī)構(gòu)包括升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、螺套5、螺套6、三角形的托板7和3根拉桿8。
[0026]螺套5松套在安裝座I外面，螺套5的下端由安裝座I的突緣101支承.螺套6的內(nèi)螺紋與螺套5的外螺紋旋合。安裝座I的突緣101上有三個(gè)拉桿孔，拉桿8的上端固定在螺套6上，拉桿8的下端穿過拉桿孔，固定在三角形的托板7上。
[0027]螺套5的外螺紋位于螺套5的上部，螺套5的下部有一個(gè)齒輪501。升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括由電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)的減速機(jī)13和由減速機(jī)13帶動(dòng)的驅(qū)動(dòng)齒輪14