micalCompany)) ;0?!化如->1心//?用多元醇（N，N，N'，N'-四（2-徑丙基乙二胺））（獲自己斯夫度AS巧）；^uraco化基于胺的多元醇 (獲自己斯夫）；M姐化賊自1敷基于胺的多元醇（獲自拜耳材料科技有限責(zé)任公司度ayer MaterialScienceUX)) 異丙醇胺燈IPA)(獲自陶氏化學(xué)公司）；和S乙醇胺燈EA)(獲 自馬林克羅特貝克公司（MallinckrodtBakerInc.))。多種優(yōu)選的胺起始的多元醇固化劑 列于表1中。
[0050] 表 1
[0051]
[0052] 在不希望受理論束縛的情況下，除了促進(jìn)用其產(chǎn)生的端點(diǎn)檢測(cè)窗的物理性質(zhì)的所 要平衡之外，據(jù)相信，用于固化劑系統(tǒng)中的胺起始的多元醇固化劑的濃度還作用W自動(dòng)催 化其反應(yīng)和固化劑系統(tǒng)中的任何雙官能固化劑與異氯酸醋封端的氨基甲酸醋預(yù)聚物中所 存在的未反應(yīng)的異氯酸醋（NC0)基團(tuán)的反應(yīng)。
[0053] 用于形成本發(fā)明的化學(xué)機(jī)械拋光墊的端點(diǎn)檢測(cè)窗的雙官能固化劑優(yōu)選地選自二 醇和二胺。更優(yōu)選地，雙官能固化劑是選自由W下組成的群組的雙官能芳香族固化劑：二乙 基甲苯二胺值ETDA) ;3,5-二甲基硫基-2,4-甲苯二胺和其異構(gòu)體；3,5-二乙基甲苯-2， 4-二胺和其異構(gòu)體（例如，3,5-二乙基甲苯-2,6-二胺）；4,4'-雙-(仲下基氨基）-二 苯基甲燒山4-雙-(仲下基氨基）-苯；4,4'-亞甲基-雙-(2-氯苯胺）；4,4'-亞甲 基-雙-(3-氯-2,6-二乙基苯胺）（MCDEA);聚環(huán)下燒氧化物-二-對(duì)氨基苯甲酸醋；N， N'-二烷基二氨基二苯基甲燒；p，p'-亞甲基二苯胺（MDA);間苯二胺（MPDA);4,4'-亞 甲基-雙-(2-氯苯胺）（MB0CA);4,4'-亞甲基-雙-(2,6-二乙基苯胺）（MDEA);4,4'-亞 甲基-雙-(2,3-二氯苯胺）（MDCA);4,4'-二氨基-3,3'-二乙基-5,5'-二甲基二苯 基甲燒；2,2'，3,3'-四氯二氨基二苯基甲燒；丙二醇二-對(duì)氨基苯甲酸醋；和其混合物。 更優(yōu)選地，所用雙官能芳香族固化劑選自由W下組成的群組：4,4'-亞甲基-雙-(2-氯苯 胺HMBOCA) ;4,4'-亞甲基-雙-(3-氯-2,6-二乙基苯胺HMCDEA);和其異構(gòu)體。最優(yōu) 選地所用雙官能芳香族固化劑是4,4'-亞甲基-雙- (2-氯苯胺）（MB0CA)。
[0054] 固化劑系統(tǒng)的組分中所含有的反應(yīng)性氨基團(tuán)的總和（即，胺（畑2)基團(tuán)和徑基 (0H)基團(tuán)的總和）除W用于形成本發(fā)明的化學(xué)機(jī)械拋光墊的端點(diǎn)檢測(cè)窗的異氯酸醋封端 的氨基甲酸醋預(yù)聚物中的未反應(yīng)的異氯酸醋（NC0)基團(tuán)（即，化學(xué)計(jì)量比）優(yōu)選地是0.7 到1. 2 (優(yōu)選地0. 8到1. 10 ;更優(yōu)選地0. 95到1. 05 ;最優(yōu)選地0. 98到1. 02)。
[00巧]本發(fā)明的化學(xué)機(jī)械拋光墊的端點(diǎn)檢測(cè)窗優(yōu)選地展現(xiàn)>lg/cm3(優(yōu)選地1.05到 1. 2g/cm3;更優(yōu)選地1. 1到1. 2g/cm3)的密度；小于0. 1體積％的孔隙率；35到65的肖氏D 硬度；< 300% (優(yōu)選地100到< 300% ;更優(yōu)選地150至IJ250% ;最優(yōu)選地175至IJ245% ) 的斷裂伸長(zhǎng)率；和25到100% (優(yōu)選地25到85% ;更優(yōu)選地25到80% ;最優(yōu)選地25到 65% )的400nm下雙通透射率DPT4。。，如在本文中實(shí)例中闡述的條件下測(cè)量。
[0056] 本發(fā)明的化學(xué)機(jī)械拋光墊的端點(diǎn)檢測(cè)窗優(yōu)選地展現(xiàn)25到100% (優(yōu)選地30到 85% ;更優(yōu)選地45到80% ;最優(yōu)選地40到65% )的800皿下雙通透射率DPTs。。，如在本文 中實(shí)例中闡述的條件下測(cè)量。優(yōu)選地，本發(fā)明的化學(xué)機(jī)械拋光墊的端點(diǎn)檢測(cè)窗展現(xiàn)25到 100% (優(yōu)選地30到85% ;更優(yōu)選地45到80% ;最優(yōu)選地40到65% )的DPTs。。，如在本文 中實(shí)例中闡述的條件下測(cè)量；和25至Ij100% (優(yōu)選地25到85% ;更優(yōu)選地25到80% ;最 優(yōu)選地25到65% )的400nm下雙通透射率DPTw。，如在本文中實(shí)例中闡述的條件下測(cè)量； 并且其中端點(diǎn)檢測(cè)窗展現(xiàn)< 30%、《25% (更優(yōu)選地《15% ;最優(yōu)選地《10% )的800皿 與400nm之間雙通透射率差量ADPTs。。4。。，如在本文中實(shí)例中闡述的條件下測(cè)量。
[0057] 本發(fā)明的化學(xué)機(jī)械拋光墊的端點(diǎn)檢測(cè)窗優(yōu)選地選自塞就位窗和整體窗。更優(yōu)選 地，端點(diǎn)檢測(cè)窗是并入到拋光層中的整體窗。
[0058] 本發(fā)明的化學(xué)機(jī)械拋光墊任選地進(jìn)一步包含至少一個(gè)與拋光層介接的額外層。優(yōu) 選地，拋光層使用粘合劑與至少一個(gè)額外層介接。粘合劑可W選自壓敏性粘合劑、熱烙性粘 合劑、接觸粘合劑和其組合。優(yōu)選地，粘合劑是熱烙性粘合劑或壓敏性粘合劑。更優(yōu)選地， 粘合劑是熱烙性粘合劑。
[0059] 本發(fā)明的化學(xué)機(jī)械拋光墊優(yōu)選地適于與拋光機(jī)的壓板介接。優(yōu)選地，化學(xué)機(jī)械拋 光墊適于附著到拋光機(jī)的壓板。優(yōu)選地，化學(xué)機(jī)械拋光墊可W使用壓敏性粘合劑和真空中 的至少一者附著到壓板。優(yōu)選地，本發(fā)明的化學(xué)機(jī)械拋光墊進(jìn)一步包含壓敏性壓板粘合劑 W促進(jìn)附著到壓板。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員將知道如何選擇適用作壓敏性壓板粘合劑的適 當(dāng)壓敏性粘合劑。優(yōu)選地，本發(fā)明的化學(xué)機(jī)械拋光墊還將包括施用于壓敏性壓板粘合劑上 的離型襯墊。
[0060] 制造本發(fā)明的化學(xué)機(jī)械拋光墊的方法包含：提供具有拋光表面的拋光層；提供具 有5. 5到9. 5重量％ (優(yōu)選地5. 75到9. 0重量％ )的未反應(yīng)的NC0基團(tuán)的異氯酸醋封端 的氨基甲酸醋預(yù)聚物，其中所述異氯酸醋封端的氨基甲酸醋預(yù)聚物是包含W下的成分的反 應(yīng)產(chǎn)物：(a)芳香族多官能異氯酸醋；和化）預(yù)聚物多元醇；提供固化劑系統(tǒng)，其包含：0到 90重量％ (優(yōu)選地0到75重量％ ;更優(yōu)選地0到70重量％ )的雙官能固化劑；和10到 100重量％ (優(yōu)選地25到100重量％ ;更優(yōu)選地30到100重量％ )的胺起始的多元醇固化 劑，其每分子具有至少一個(gè)氮原子（優(yōu)選地一到四個(gè)氮原子；更優(yōu)選地兩到四個(gè)氮原子；最 優(yōu)選地兩個(gè)氮原子）并且每分子具有平均至少=個(gè)（優(yōu)選地=到六個(gè)；更優(yōu)選地=到五個(gè)； 最優(yōu)選地四個(gè)）徑基；將所述異氯酸醋封端的氨基甲酸醋預(yù)聚物和所述固化劑系統(tǒng)組合w形成組合；使所述組合反應(yīng)W形成產(chǎn)物；由所述產(chǎn)物形成端點(diǎn)檢測(cè)窗；用所述拋光層介接 所述端點(diǎn)檢測(cè)窗W提供化學(xué)機(jī)械拋光墊。優(yōu)選地，端點(diǎn)檢測(cè)窗W使用已知技術(shù)并入到拋光 層中的整體窗形式或W使用已知技術(shù)并入到化學(xué)機(jī)械拋光墊中的塞就位窗形式與拋光層 介接。最優(yōu)選地，端點(diǎn)檢測(cè)窗W整體窗形式并入到拋光層中。
[0061] 本發(fā)明的化學(xué)機(jī)械拋光襯底的方法包含：提供化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備，其具有壓板、光 源和光傳感器（優(yōu)選地多傳感器攝譜儀）；提供至少一個(gè)待拋光的襯底（優(yōu)選地，其中襯底 選自由W下中的至少一者組成的群組：磁性襯底、光學(xué)襯底和半導(dǎo)體襯底；更優(yōu)選地，其中 襯底是半導(dǎo)體襯底；最優(yōu)選地，其中襯底是半導(dǎo)體晶片）；提供本發(fā)明的化學(xué)機(jī)械拋光墊； 將所述化學(xué)機(jī)械拋光墊安裝到所述壓板上；任選地在化學(xué)機(jī)械拋光墊的拋光表面與襯底之 間的界面處提供拋光介質(zhì)（優(yōu)選地，其中拋光介質(zhì)選自由W下組成的群組：拋光漿料和不 含磨料的反應(yīng)性液體調(diào)配物）；在所述拋光表面與所述襯底之間產(chǎn)生動(dòng)態(tài)接觸，其中至少 某一材料由所述襯底去除；和通過W下方式確定拋光端點(diǎn)：使來自所述光源的光透射通過 端點(diǎn)檢測(cè)窗，并且分析反射出所述襯底的表面、回通過所述端點(diǎn)檢測(cè)窗入射到所述光傳感 器的所述光。優(yōu)選地，拋光端點(diǎn)基于對(duì)反射出襯底的表面并且透射通過端點(diǎn)檢測(cè)窗的光波 長(zhǎng)的分析來確定，其中光波長(zhǎng)具有> 370nm到800nm的波長(zhǎng)。更優(yōu)選地，拋光端點(diǎn)基于對(duì)反 射出襯底的表面并且透射通過端點(diǎn)檢測(cè)窗的光的多個(gè)波長(zhǎng)的分析來確定，其中所分析的波 長(zhǎng)之一具有> 370nm到800nm的波長(zhǎng)。
[0062] 本發(fā)明的一些實(shí)施例現(xiàn)將詳細(xì)地描述于W下實(shí)例中。
[0063]比巧連例C1-C4巧連倆I1-6
[0064] 根據(jù)表2中提供的調(diào)配物細(xì)節(jié)制備端點(diǎn)檢測(cè)窗。使用滿流混合器在1，00化pm下 將窗預(yù)聚物與固化劑系統(tǒng)的組分混合30秒。將除了雙官能固化劑（即，MB0CA和MCDEA)的 所有原料維持在60°C的預(yù)混合溫度下。將MB0CA和MCDEA當(dāng)使用時(shí)維持在12