真空設(shè)備多載具同時(shí)多工處理工藝的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種表面處理真空工藝，尤指一種真空設(shè)備多載具同時(shí)多工處理工藝。
【背景技術(shù)】
[0002]一般真空設(shè)備用于鍍膜、刻蝕、表面處理等加工，其應(yīng)用的領(lǐng)域有半導(dǎo)體、光電、電機(jī)、電子、民生用品等產(chǎn)業(yè)，過(guò)程中都需經(jīng)過(guò)多道工藝處理以便形成不同材質(zhì)的膜層結(jié)構(gòu)。為了達(dá)到高品質(zhì)、高產(chǎn)能且低成本的操作目標(biāo)，現(xiàn)有真空設(shè)備多為連續(xù)式真空設(shè)備。
[0003]現(xiàn)有的連續(xù)式真空工藝設(shè)備40的結(jié)構(gòu)如圖7所示，包括依序連接的一前段工藝腔41、一工藝前緩沖腔42、一工藝腔43、一工藝后緩沖腔44以及一后段工藝腔45，素材由該前段工藝腔41處被送往該后段工藝腔45的方向，其中間經(jīng)過(guò)該工藝腔43時(shí)進(jìn)行表面處理的工藝，如:鍍膜、刻蝕等表面處理，而該工藝腔43又可根據(jù)不同的表面處理工藝程序而設(shè)計(jì)成多個(gè)相連接的工藝腔，操作過(guò)程中，該前段工藝腔41以及該后段工藝腔45可用于抽真空或是破真空，而該工藝前緩沖腔42至該工藝后緩沖腔44的部分僅能進(jìn)行抽真空。
[0004]以該連續(xù)式真空工藝設(shè)備40進(jìn)行單一素材的單工工藝請(qǐng)參閱圖7、圖8所示，該連續(xù)式真空工藝設(shè)備40設(shè)有兩個(gè)工藝腔43 (分別為第一工藝腔43A與第二工藝腔43B)，縱向方向顯示為時(shí)間方向，首先，第一素材Al位于該前段工藝腔41處，并隨著時(shí)間的演進(jìn)而往該后段工藝腔45的方向行進(jìn)，當(dāng)?shù)谝凰夭腁l完成工藝而離開(kāi)該后段工藝腔45后，第二素材A2才由該前段工藝腔41處進(jìn)入該工藝前緩沖腔42內(nèi)，而第一素材Al未離開(kāi)該后段工藝腔45之前，第二素材A2 —直位于該前段工藝腔41等待，第三素材A3的行程同第一素材Al與第二素材A2，完成圖8所示的工藝的成品為三層的層狀結(jié)構(gòu):底層為素材，其上分別為于第一工藝腔43A與第二工藝腔43B處完成的薄膜，因此，通過(guò)素材進(jìn)行單向移動(dòng)的方式，便可得到依序堆疊的薄膜，具有工藝單一、產(chǎn)能快等優(yōu)點(diǎn)，然而，由于需要增加工藝腔43的數(shù)量才可提升產(chǎn)能，故卻有增加設(shè)備購(gòu)置成本占地空間等缺點(diǎn)。
[0005]另外，以該連續(xù)式真空工藝設(shè)備40進(jìn)行單一素材的多工工藝請(qǐng)參閱圖9所示，該連續(xù)式真空工藝設(shè)備40設(shè)有兩個(gè)工藝腔43 (分別為第一工藝腔43A與第二工藝腔43B)，縱向方向顯示為時(shí)間方向，首先，第一素材Al位于該前段工藝腔41處，并隨著時(shí)間的演進(jìn)往該工藝后緩沖腔44行進(jìn)、再返回該工藝前緩沖腔42、再前往該工藝后緩沖腔44，最后由該后段工藝腔45離開(kāi)該連續(xù)式真空工藝設(shè)備40，在第一素材Al尚未離開(kāi)該連續(xù)式真空工藝設(shè)備50之前，第二素材A2 —直在該前段工藝腔41內(nèi)等待，而第二素材A2與第三素材A3的行程同第一素材Al,將于該第一工藝腔處43A與該第二工藝腔43B處完成的薄膜定義為第一薄膜與第二薄膜，則完成圖9所示的工藝的成品為七層的層狀結(jié)構(gòu):底層為素材，其上依序?yàn)榈谝槐∧?、第二薄膜、第二薄膜、第一薄膜、第一薄膜以及第二薄膜，因此，通過(guò)素材進(jìn)行來(lái)回的移動(dòng)，便可得到任意組合的薄膜結(jié)構(gòu)，對(duì)于任意組合的薄膜結(jié)構(gòu)而言具有設(shè)備造價(jià)較低的優(yōu)點(diǎn)，然而，卻需要較長(zhǎng)的工時(shí)，而容易導(dǎo)致產(chǎn)能變慢，因此，所述的單一素材的單工工藝與多工工藝的缺點(diǎn)，實(shí)有改善的必要。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的主要目的在于提供一種真空設(shè)備多載具同時(shí)多工處理工藝，以解決現(xiàn)有技術(shù)中用于連續(xù)式真空工藝設(shè)備的工藝的缺點(diǎn)。
[0007]本發(fā)明的技術(shù)方案是提供一種真空設(shè)備多載具同時(shí)多工處理工藝，包括有:
[0008]制備兩片以上的素材；
[0009]制備一連續(xù)式真空工藝設(shè)備:該連續(xù)式真空工藝設(shè)備具有依序連接的一前段工藝腔、一表面處理腔以及一后段工藝腔，其中，該表面處理腔具有依序連接的一工藝前緩沖腔、一第一工藝腔、一第二工藝腔以及一工藝后緩沖腔；以及
[0010]移動(dòng)素材:將各素材由該前段工藝腔處依序進(jìn)入該連續(xù)式真空工藝設(shè)備內(nèi)，并且較早進(jìn)入該表面處理腔的素材恒比較晚進(jìn)入該表面處理腔的素材更靠近該后段工藝腔，其中，各素材同時(shí)間在該表面處理腔內(nèi)進(jìn)行來(lái)回且個(gè)別的移動(dòng)，其中，當(dāng)各素材通過(guò)該第一工藝腔與該第二工藝腔時(shí)進(jìn)行表面處理，最后各素材依序由該后段工藝腔處離開(kāi)該連續(xù)式真空工藝設(shè)備。
[0011]所述的真空設(shè)備多載具同時(shí)多工處理工藝，其中
[0012]于制備兩片以上的素材的步驟中，總共置備兩片素材，且分別定義為第一素材與第二素材；
[0013]于制備一連續(xù)式真空工藝設(shè)備步驟中，在表面處理腔的第二工藝腔與工藝后緩沖腔之間進(jìn)一步置備一第三工藝腔，并且于第一工藝腔與第三工藝腔內(nèi)進(jìn)行的相同的表面處理；
[0014]于移動(dòng)素材的步驟中:
[0015]第一素材于前段工藝腔進(jìn)入表面處理腔，且移動(dòng)于表面處理腔內(nèi)的順序依序?yàn)楣に嚽熬彌_腔、工藝后緩沖腔、工藝后緩沖腔、工藝后緩沖腔、第一工藝腔、工藝后緩沖腔、第一工藝腔、第二工藝腔、工藝后緩沖腔、第二工藝腔以及工藝后緩沖腔，最后進(jìn)入后段工藝腔，并且由后段工藝腔離開(kāi)連續(xù)式真空工藝設(shè)備；以及
[0016]當(dāng)?shù)谝凰夭牡谝淮挝挥诠に嚭缶彌_腔內(nèi)時(shí)，第二素材位于前段工藝腔內(nèi)，當(dāng)?shù)谝凰夭牡诙挝挥诠に嚭缶彌_腔內(nèi)，第二素材才進(jìn)入表面處理腔內(nèi)，并且第二素材于表面處理腔內(nèi)的移動(dòng)順序依序?yàn)楣に嚽熬彌_腔、第三工藝腔、工藝前緩沖腔、第三工藝腔、工藝前緩沖腔、工藝前緩沖腔、第二工藝腔、工藝前緩沖腔、第二工藝腔，并且當(dāng)?shù)谝凰夭倪M(jìn)入后段工藝腔時(shí)，第二素材進(jìn)入工藝后緩沖腔，當(dāng)?shù)谝凰夭碾x開(kāi)連續(xù)式真空工藝設(shè)備時(shí)，第二素材進(jìn)入后段工藝腔，最后由后段工藝腔離開(kāi)連續(xù)式真空工藝設(shè)備。
[0017]所述的真空設(shè)備多載具同時(shí)多工處理工藝，其中
[0018]于制備兩片以上的素材的步驟中，總共置備兩片素材，且分別定義為第一素材與第二素材；
[0019]于制備一連續(xù)式真空工藝設(shè)備步驟中，在表面處理腔的第二工藝腔與工藝后緩沖腔之間進(jìn)一步置備一第三工藝腔，并且于第一工藝腔與第三工藝腔內(nèi)進(jìn)行的為相同的表面處理；
[0020]于移動(dòng)素材的步驟中:
[0021]第一素材于前段工藝腔進(jìn)入表面處理腔，且移動(dòng)于表面處理腔內(nèi)的順序依序?yàn)楣に嚽熬彌_腔、第二工藝腔、工藝后緩沖腔、第三工藝腔、工藝后緩沖腔、第二工藝腔、工藝后緩沖腔，最后進(jìn)入后段工藝腔，并且由后段工藝腔離開(kāi)連續(xù)式真空工藝設(shè)備；以及
[0022]當(dāng)?shù)谝凰夭牡谝淮挝挥诘诙に嚽粌?nèi)時(shí)，第二素材位于前段工藝腔內(nèi)，當(dāng)?shù)谝凰夭牡谝淮挝挥诠に嚭缶彌_腔內(nèi)，第二素材才進(jìn)入表面處理腔內(nèi)，并且第二素材于表面處理腔內(nèi)的移動(dòng)順序依序?yàn)榈诙に嚽?、工藝前緩沖腔、第一工藝腔、工藝前緩沖腔、第二工藝腔，并且當(dāng)?shù)谝凰夭倪M(jìn)入后段工藝腔時(shí)，第二素材進(jìn)入工藝后緩沖腔，當(dāng)?shù)谝凰夭碾x開(kāi)連續(xù)式真空工藝設(shè)備時(shí)，第二素材進(jìn)入后段工藝腔，最后由后段工藝腔離開(kāi)連續(xù)式真空工藝設(shè)備。
[0023]本發(fā)明一實(shí)施例中，所述的真空設(shè)備多載具同時(shí)多工處理工藝，其中
[0024]于制備兩片以上的素材的步驟中，總共置備兩片素材，且分別定義為第一素材與第二素材；
[0025]于制備一連續(xù)式真空工藝設(shè)備步驟中，在表面處理腔的第二工藝腔與工藝后緩沖腔之間進(jìn)一步置備一第三工藝腔，并且于第一工藝腔與第三工藝腔內(nèi)進(jìn)行的為相同的表面處理；
[0026]于移動(dòng)素材的步驟中:
[0027]第一素材于前段工藝腔進(jìn)入表面處理腔，且移動(dòng)于表面處理腔內(nèi)的順序依序?yàn)楣に嚽熬彌_腔、第一工藝腔、工藝后緩沖腔、第二工藝腔、工藝后緩沖腔、第三工藝腔、工藝后緩沖腔，最后進(jìn)入后段工藝腔，并且由后段工藝腔離開(kāi)連續(xù)式真空工藝設(shè)備；以及
[0028]當(dāng)?shù)谝凰夭牡谝淮挝挥诘谝还に嚽粌?nèi)時(shí)，第二素材位于前段工藝腔內(nèi)，當(dāng)?shù)谝凰夭牡谝淮挝挥诠に嚭缶彌_腔內(nèi)，第二素材才進(jìn)入表面處理腔內(nèi)，并且第二素材于表面處理腔內(nèi)的移動(dòng)順序依序?yàn)榈谝还に嚽?、工藝前緩沖腔、第二工藝腔、工藝前緩沖腔、第一工藝腔，并且當(dāng)?shù)谝凰夭倪M(jìn)入后段工藝腔時(shí)，第二素材進(jìn)入工藝后緩沖腔，當(dāng)?shù)谝凰夭碾x開(kāi)連續(xù)式真空工藝設(shè)備時(shí)，第二素材進(jìn)入后段工藝腔，最后由后段工藝腔離開(kāi)連續(xù)式真空工藝設(shè)備。
[0029]通過(guò)上述的技術(shù)手段，本發(fā)明可達(dá)到的功效增進(jìn)有:各素材同時(shí)間可在該表面處理腔內(nèi)進(jìn)行來(lái)回且個(gè)別的移動(dòng)，可根據(jù)不同的薄膜結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)各素材在表面處理腔內(nèi)的移動(dòng)路徑，而得到任意組合的薄膜結(jié)構(gòu)，故可利用較低造價(jià)的設(shè)備得到任意組合的薄膜結(jié)構(gòu)，且同時(shí)間可有兩片以上的素材在表面處理腔內(nèi)移動(dòng)，可有效減少工時(shí)、提聞廣能。
【附圖說(shuō)明】
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