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      FePt-C系濺射靶及其制造方法_5

      文檔序號(hào):9308122閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
      陽(yáng)187] 與實(shí)施例1同樣測(cè)定所制作的燒結(jié)體的相對(duì)密度,為91. 10%。 陽(yáng)188] 然后,使用所得到的燒結(jié)體,與實(shí)施例1~3、比較例1同樣,制作瓣射祀,且與實(shí)施 例1~3、比較例1同樣地進(jìn)行瓣射時(shí)產(chǎn)生的顆粒數(shù)的評(píng)價(jià)。
      [0189] 在瓣射累積持續(xù)時(shí)間15分鐘、30分鐘、1小時(shí)、2小時(shí)的各時(shí)刻的顆粒數(shù)分別為 23、7、1、8。對(duì)運(yùn)些值進(jìn)行作圖而成的圖與其他實(shí)施例、比較例及參考例的結(jié)果一起示于圖 2、圖 3。
      [0190] 由圖2、圖3可知,使用本參考例1的祀進(jìn)行瓣射時(shí)產(chǎn)生的顆粒的產(chǎn)生數(shù)極少。認(rèn) 為運(yùn)是因?yàn)椋戏蹆H為金屬粉(化粉、Pt粉),未使用C粉末。
      [0191] (實(shí)施例4)
      [0192] 本實(shí)施例4中的混合粉末、燒結(jié)體及祀的組成的目標(biāo)為巧0Fe-50Pt)-16. 71摩 爾% C-6. 51摩爾% Si〇2。旨P,金屬成分的組成目標(biāo)為50原子% Fe-50原子% Pt,F(xiàn)e、Pt、 C (碳)、Si化的組成比目標(biāo)為化為38. 39摩爾%、Pt為38. 39摩爾%、C為16. 71摩爾%、 Si化為6. 51摩爾%。此外,C(碳)及Si〇2的含量不W摩爾%表示而是W體積%表示時(shí),本 實(shí)施例4中的混合粉末及祀組成的目標(biāo)為巧0Fe-50Pt)-10體積% C-20體積% Si〇2。
      [0193] 首先,W氣體霧化法制作化Pt合金霧化粉末。所得到的化Pt合金霧化粉末的平 均粒徑(中值徑)為45ym。
      [0194]W球磨機(jī)混合(W46化pm進(jìn)行48小時(shí)一累積轉(zhuǎn)數(shù)1,330, 560次)所得到的化Pt 合金霧化粉末1020.OOg、及平均粒徑0. 7ym的Si〇2粉末41. 42g,制作第一混合粉末。認(rèn) 為第一混合粉末的制作中,W球磨機(jī)長(zhǎng)時(shí)間混合,第一混合粉末中的化Pt合金霧化粉末及 Si化粉末被充分微細(xì)化。 陽(yáng)1巧]將平均粒徑8ym的非晶態(tài)碳20. 63g添加到所制作的第一混合粉末990.OOg中, 在非晶態(tài)碳的粒徑實(shí)質(zhì)上不變小的范圍內(nèi)利用滾筒混合機(jī)進(jìn)行弱混合(W使用球的滾筒 混合機(jī)混合15分鐘),獲得加壓燒結(jié)用混合粉末。此外,所使用的非晶態(tài)碳與實(shí)施例1~3 中使用的相同,未形成二次粒子。 陽(yáng)196] 使所得到的加壓燒結(jié)用混合粉末在溫度:1300°C、壓力:26. 2MPa、時(shí)間:60min、氣 氛:5X10 2paW下的真空中的條件進(jìn)行熱壓,制作燒結(jié)體。 陽(yáng)197] 與實(shí)施例1同樣測(cè)定所制作的燒結(jié)體的相對(duì)密度,為96. 55%。
      [0198] W金屬顯微鏡進(jìn)行所得到的燒結(jié)體的組織觀察。圖7顯示本實(shí)施例4的燒結(jié)體的 金屬顯微鏡照片(拍攝時(shí)的照片倍率為1000倍,照片中的比例尺刻度為50ym)。圖7中深 灰色圓形的部分為非晶態(tài)碳,淺灰色部分為化Pt合金相。此外,圓形的C相彼此之間有些 許黑色部位(圖7中W箭頭指示的部位),該黑色部位為空隙(空隙)。認(rèn)為平均粒徑(中 值徑)大至45ym的化Pt合金霧化粉末通過(guò)球磨機(jī)的長(zhǎng)時(shí)間混合也被充分微細(xì)化。認(rèn)為 經(jīng)充分微細(xì)化后的化Pt合金霧化粉末易于包覆平均粒徑大至8ym的非晶態(tài)碳的周圍,但 認(rèn)為也偶爾出現(xiàn)未被包覆的部位。此外,由圖7可知,C相是長(zhǎng)徑除W短徑的值為2W下的 近似球形。
      [0199] 然后,使用所得到的燒結(jié)體,與實(shí)施例1~3、比較例1、參考例1同樣地制作瓣射 祀,且與實(shí)施例1~3、比較例1、參考例1同樣地進(jìn)行瓣射時(shí)產(chǎn)生的顆粒數(shù)的評(píng)價(jià)。 陽(yáng)200] 在瓣射累積持續(xù)時(shí)間15分鐘、30分鐘、1小時(shí)、2小時(shí)的各時(shí)刻的顆粒數(shù)分別為 351、110、60、38。對(duì)運(yùn)些值進(jìn)行作圖而成的圖與其他實(shí)施例、比較例及參考例的結(jié)果一起示 于圖8、圖9。圖8、圖9的橫軸為瓣射累積持續(xù)時(shí)間化),縱軸為顆粒數(shù)(個(gè))。圖8與圖9 的縱軸的刻度的節(jié)距不同,圖8的縱軸的刻度的節(jié)距較大,圖9的縱軸的刻度的節(jié)距較小。 陽(yáng)201](比較例2) 陽(yáng)202] 本比較例2中的混合粉末、燒結(jié)體及祀的組成的目標(biāo)為巧0Fe-50Pt)-16. 71摩 爾% C-6. 51摩爾% Si〇2,與實(shí)施例4同樣。但是,實(shí)施例4中,首先混合化Pt合金霧化粉 末與Si〇2粉末制作第一混合粉末,然后,將非晶態(tài)碳添加到所制作的第一混合粉末中,經(jīng)混 合而制作加壓燒結(jié)用混合粉末,但比較例2如后所述,一次混合化Pt合金霧化粉末與碳黑 及Si〇2粉末,制作加壓燒結(jié)用混合粉末,就該點(diǎn)而言大為不同。 陽(yáng)203] 本比較例2也與實(shí)施例4同樣,首先W氣體霧化法制作化Pt合金霧化粉末。所得 到的化Pt合金霧化粉末的平均粒徑(中值徑)為45ym。 陽(yáng)204] W球磨機(jī)混合(W46化pm進(jìn)行48小時(shí)一累積轉(zhuǎn)數(shù)1,330, 560次)所得到的化Pt 合金霧化粉末1020.OOg、W-次粒子的平均粒徑20~50皿形成二次粒子的碳黑21. 25g、 及平均粒徑0. 7ym的Si〇2粉末41. 42g,制作加壓燒結(jié)用混合粉末。認(rèn)為該加壓燒結(jié)用混 合粉末的制作中,通過(guò)球磨機(jī)長(zhǎng)時(shí)間混合,加壓燒結(jié)用混合粉末中的化Pt合金霧化粉末也 被充分微細(xì)化。 陽(yáng)205] 使所得到的加壓燒結(jié)用混合粉末在溫度:1320°C、壓力:26. 2MPa、時(shí)間:60min、氣 氛:5X10 2paW下的真空中的條件進(jìn)行熱壓,制作燒結(jié)體。
      [0206] 與實(shí)施例1同樣測(cè)定所制作的燒結(jié)體相對(duì)密度,為100. 08%。
      [0207] W金屬顯微鏡進(jìn)行所得到的燒結(jié)體的組織觀察。圖10顯示本比較例2的燒結(jié)體 的金屬顯微鏡照片(拍攝時(shí)的照片倍率為1000倍,照片中的比例尺刻度為50 ym)。由圖 10可知,本比較例2的燒結(jié)體組織與實(shí)施例4的燒結(jié)體組織(圖7)相比,非常致密化,作 為高倍率(拍攝時(shí)的照片倍率為1000倍)的金屬顯微鏡照片的圖10中,C的部位僅W深 灰色的小點(diǎn)被觀察到。但是,深灰色的小點(diǎn)的大小由照片中的比例尺刻度觀察認(rèn)為有1ym 左右,作為所用的原料粉的碳黑的一次粒子的平均粒徑為20~50皿左右,認(rèn)為分散在化Pt 合金相中的C形成了二次粒子。 陽(yáng)20引此外,實(shí)施例4中,作為圓形的C相彼此之間存在的黑色部位(圖7中W箭頭指示 的部位)的空隙(空隙)存在少許,但本比較例2的燒結(jié)體的組織中并未觀察到運(yùn)樣的空 隙(空隙)。 陽(yáng)209] 然后,使用所得到的燒結(jié)體,與實(shí)施例1~4、比較例1、參考例1同樣地制作瓣射 祀,且與實(shí)施例1~4、比較例1、參考例1同樣地進(jìn)行瓣射時(shí)產(chǎn)生的顆粒數(shù)的評(píng)價(jià)。
      [0210] 在瓣射累積持續(xù)時(shí)間15分鐘、30分鐘、1小時(shí)、2小時(shí)的各時(shí)刻的顆粒數(shù)分別為 17584、14466、13377、14167。對(duì)運(yùn)些值進(jìn)行作圖而成的圖與其他實(shí)施例、比較例及參考例的 結(jié)果一起不于圖8。 悅11] 本比較例2的顆粒產(chǎn)生數(shù)與實(shí)施例4相比,變得極多。
      [0212]由圖8可知,使用本比較例2的瓣射祀進(jìn)行瓣射時(shí)產(chǎn)生的顆粒數(shù)與實(shí)施例4相比, 變得非常多。本比較例2中,所用的碳原料粉為一次粒子的平均粒徑(中值徑)為20~ 50nm左右的極小的碳黑,認(rèn)為形成了二次粒子,且在化Pt合金相中也形成了二次粒子。二 次粒子的C為一次粒子的C被壓粉后的狀態(tài),由于二次粒子內(nèi)部的C的一次粒子的周圍未 被化Pt合金包覆,因此認(rèn)為在瓣射過(guò)程中W塊狀態(tài)自祀脫落而成為顆粒。因此,認(rèn)為使用 本比較例2的瓣射祀進(jìn)行瓣射時(shí)產(chǎn)生的顆粒數(shù)與實(shí)施例4相比非常多。 陽(yáng)21引(比較例扣
      [0214] 本比較例3中,除了將比較例2中使用的碳原材料由碳黑21. 25g替換成非晶態(tài)碳 21. 25g,及將制作燒結(jié)體時(shí)的溫度設(shè)為134(TCW外,與比較例2同樣地制作燒結(jié)體及瓣射 祀。此外,所用的非晶態(tài)碳與實(shí)施例1~4使用的相同,未形成二次粒子。
      [0215] 與實(shí)施例1同樣測(cè)定所制作的燒結(jié)體的相對(duì)密度,為98. 25%。
      [0216] W金屬顯微鏡進(jìn)行所得到的燒結(jié)體的組織觀察。圖11顯示本比較例3的燒結(jié)體 的金屬顯微鏡照片(拍攝時(shí)的照片倍率為1000倍,照片中的比例尺刻度為50 ym)。由圖 11可知,本比較例3的燒結(jié)體組織與比較例2的燒結(jié)體同樣,與實(shí)施例4的燒結(jié)體組織(圖 7)相比非常致密化,作為高倍率(拍攝時(shí)的照片倍率為1000倍)的金屬顯微鏡照片的圖 11中,C的部位僅W深灰色的小點(diǎn)被觀察到。此外,實(shí)施例4中,作為圓形的C相彼此之間 存在的黑色部位(圖7中W箭頭指示的部位)的空隙(空隙)存在少許,但本比較例3的 燒結(jié)體的組織中并未觀察到運(yùn)樣的空隙(空隙)。
      [0217] 此外,可知本比較例3的燒結(jié)體的組織(圖11)與比較例2的燒結(jié)體組織(圖10) 同樣,即使使用一次粒子的平均粒徑(中值徑)20~50皿的碳黑、使用平均粒徑8ym的非 晶態(tài)碳作為碳材料,所得到的燒結(jié)體的組織均相同。認(rèn)為運(yùn)是因?yàn)?,即使使用平均粒?ym 的非晶態(tài)碳,W球磨機(jī)長(zhǎng)時(shí)間混合化Pt合金霧化粉末及Si〇2粉末,也能被充分粉碎。 陽(yáng)21引然后,使用所得到的燒結(jié)體,與實(shí)施例1~4、比較例1、2、參考例1同樣地制作瓣 射祀,且與實(shí)施例1~4、比較例1、2、參考例1同樣地進(jìn)行瓣射時(shí)產(chǎn)生的顆粒數(shù)的評(píng)價(jià)。 [0219] 在瓣射累積持續(xù)時(shí)間15分鐘、30分鐘、1小時(shí)、2小時(shí)的各時(shí)刻的顆粒數(shù)分別為 14266、14562、13681、13404。對(duì)運(yùn)些值進(jìn)行作圖而成的圖與其他實(shí)施例、比較例及參考例的 結(jié)果一起示于圖8。 陽(yáng)220] 由圖8可知,對(duì)于非晶態(tài)碳而言,與僅在其粒徑實(shí)質(zhì)上不變小的范圍內(nèi)進(jìn)行混合 的實(shí)施例4相比,W球磨機(jī)充分混合碳原材料的本比較例3在瓣射時(shí)的顆粒產(chǎn)生數(shù)非常多。 即使使用與瓣射時(shí)的顆粒產(chǎn)生數(shù)少的實(shí)施例4同樣的碳原材料(平均粒徑8ym的非晶態(tài) 碳),通過(guò)球磨機(jī)充分混合時(shí)也被粉碎,成為與平均粒徑原本就小的碳黑(一次粒子的平均 粒徑(中值徑)為20~50nm左右)相同程度的平均粒徑,且形成了二次粒子,因此認(rèn)為瓣 射時(shí)的顆粒產(chǎn)生數(shù)變多。 陽(yáng)221](參考例2) 陽(yáng)222] 本參考例2中的混合粉末、燒結(jié)體及祀的組成的目標(biāo)為巧0Fe-50Pt)-8. 99摩爾% Si化。目P,金屬成分的組成目標(biāo)為50原子% Fe-50原子% Pt,該方面與實(shí)施例4、比較例2、 3同樣,但不含C,且金屬W外的成分僅含Si〇2。此外,Si〇2的含量不W摩爾%表示而是W體 積%表示時(shí),本參考例2中的混合粉末及祀組成的目標(biāo)為巧0Fe-50Pt)-25體積% Si化。 陽(yáng)223] 首先,W氣體霧化法制作化Pt合金霧化粉末。所得到的化Pt合金霧化粉末的平 均粒徑(中值徑)為45ym。 陽(yáng)224] W球磨機(jī)混合(W46化pm進(jìn)行36小時(shí)一累積轉(zhuǎn)數(shù)997, 920次)所得到的化Pt 合金霧化粉末1170.OOg與平均粒徑0. 7ym的Si〇2粉末55. 36g,制作加壓燒結(jié)用混合粉 末。認(rèn)為加壓燒結(jié)用混合粉末的制造中,通過(guò)球磨機(jī)長(zhǎng)時(shí)間混合,能使加壓燒結(jié)用混合粉末 中的化Pt合金霧化粉末及Si〇2粉末被充分微細(xì)化。
      [0225] 使所得到的加壓燒結(jié)用混合粉末在溫度:1000°C、壓力:26. 2MPa、時(shí)間:60min、氣 氛:5X10 2paW下的真空中的條件進(jìn)行熱壓,制作燒結(jié)體。
      [0226] 與實(shí)施例1同樣測(cè)定所制作的燒結(jié)體的相對(duì)密度,為98. 44%。 陽(yáng)227] W金屬顯微鏡進(jìn)行所得到的燒結(jié)體的組織觀察。圖12顯示本參考例2的燒結(jié)體 的金屬顯微鏡照片(拍攝時(shí)的照片倍率為1000倍,照片中的比例尺刻度為50ym)。由圖 12可知,本參考例2的燒結(jié)體組織與實(shí)施例4的燒結(jié)體組織(圖7)相比,非常致密化,作為 高倍率(拍攝時(shí)的照片倍率為1000倍)的金屬顯微鏡照片的圖12中,Si化的部位僅W深 灰色的小點(diǎn)被觀察到。此外,實(shí)施例4中,作為圓形的C相彼此之間存在的黑色部位(圖7 中W箭頭指示的部位)的空隙(空隙)存在少許,但本參考例2的燒結(jié)體的組織中并未觀 察到運(yùn)樣的空隙(空隙)。 陽(yáng)22引然后,使用所得到的燒結(jié)體,與實(shí)施例1~4、比較例1~3、參考例1同樣地制作瓣 射祀,且與實(shí)施例1~4、比較例1~3、參考例1同樣地進(jìn)行瓣射時(shí)產(chǎn)生的顆粒數(shù)的評(píng)價(jià)。 陽(yáng)229] 在瓣射累積持續(xù)時(shí)間15分鐘、30分鐘、1小時(shí)、2小時(shí)的各時(shí)刻的顆粒數(shù)分別為 48、51、27、35。對(duì)運(yùn)些值進(jìn)行作圖而成的圖與其他實(shí)施例、比較例及參考例的結(jié)果一起示于 圖8、圖9。
      [0230]由圖8、圖9可知,不含C、金屬成分W外僅含Si〇2的本參考例2在瓣射時(shí)的顆粒 產(chǎn)生數(shù)非常少。認(rèn)為運(yùn)是由于Si〇2與金屬的固著力比C大、且Si〇2的原子鍵比C的原子鍵 更牢固。 陽(yáng)231](討論)
      [0232] 將實(shí)施例1~4、比較例1~3、參考例1、2的主要數(shù)據(jù)總結(jié)示于下表1。 悅劉[表1] 陽(yáng)234]
      陽(yáng)235] 實(shí)施例1~3、比較例1、參考例1為不含金屬氧化物(Si〇2)的情況,實(shí)施例4、比 較例2、3、參考例2為含有金屬氧化物(Si〇2)的情況。 陽(yáng)236] 實(shí)施例1~3的祀組成為60. 50 (5(Fe-50Pt) -39. 50C,由于具有分散在化Pt合金 相中的一次粒子的C不構(gòu)成二次粒子、且一次粒子的C彼此不相互接觸的結(jié)構(gòu),因此包含在 本發(fā)明的范圍內(nèi)。
      [0237]另一方面,比較例1為與實(shí)施例1~3同樣地祀組成為 60. 50 (5(Fe-50Pt)-39. 50C,但分散在化Pt合金相中的一次粒子構(gòu)成二次粒子、且一次粒 子的C彼此相互接觸,因此不包含在本發(fā)明的范圍內(nèi)。 陽(yáng)23引如由表1及圖2、圖3可知,包含在本發(fā)明范圍內(nèi)的實(shí)施例1~3在瓣射累積持續(xù) 時(shí)間2小時(shí)的時(shí)刻,顆粒產(chǎn)生數(shù)少至113~814,與不包含在本發(fā)明范圍內(nèi)的比較例1在同 時(shí)刻的顆粒產(chǎn)生數(shù)4807相比,為1/40~1/6左右。
      [0239] 包含在本發(fā)明范圍內(nèi)的實(shí)施例1~3由于具有分散在化Pt合金相中的一次粒子 的C不構(gòu)成二次粒子、且一次粒子的C彼此不相互接觸的結(jié)構(gòu),因此認(rèn)為分散在化Pt合金 相中的一次粒子的C的周圍基本上由化Pt合金包覆,認(rèn)為在瓣射過(guò)程中一次粒子的C不易 自化Pt合金相脫落從而不易產(chǎn)生顆粒。
      [0240] 另一方面認(rèn)為,在不包含在本發(fā)明范圍內(nèi)的比較例1中,所用的碳原料粉為一次 粒子的平均粒徑(中值徑)極小至20~50皿左右的碳黑,形成了二次粒子,在化Pt合金 相中也形成二次粒子。二次粒子的C為一次粒子的C為被壓粉后的狀態(tài),二次粒子內(nèi)部的C 的一次粒子的周圍不易被化Pt合金包覆,因此認(rèn)為在瓣射過(guò)程中容易w塊狀態(tài)自祀脫落, 容易成為顆粒。 陽(yáng)241] 含有金屬氧化物(Si〇2)的實(shí)施例4的祀組成為76. 78摩爾% (5(Fe-50Pt)-16. 71 摩爾%C-6. 51摩爾%Si〇2,且具有分散在化Pt合金相中的一次粒子的C不構(gòu)成二次粒子、 一次粒子的C彼此不相互接觸的結(jié)構(gòu),因此包含在本發(fā)明的范圍內(nèi)。此外,實(shí)施例4中,雖 然使用了平均粒徑大至45ym的化Pt合金霧化粉末,但認(rèn)為通過(guò)添加Si〇2后利用球磨機(jī)的 第一階段的長(zhǎng)時(shí)間混合(添
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