一種金屬遮罩的對(duì)位方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種金屬蒸鍍技術(shù)，尤其涉及一種用于OLED蒸鍍的金屬遮罩的對(duì)位方法。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light Emitting D1de，0LED)顯示器以輕薄、主動(dòng)發(fā)光、響應(yīng)速度快、視角廣、色彩豐富、亮度高、功耗低以及耐高低溫等諸多優(yōu)點(diǎn)而被業(yè)界認(rèn)為是繼液晶顯示器(Liquid Crystal Display，IXD)之后的新型顯示技術(shù)，OLED顯示器可廣泛應(yīng)用于智能手機(jī)、平板電腦、電視等終端產(chǎn)品。
[0003]在現(xiàn)有技術(shù)中，對(duì)OLED進(jìn)行蒸鍍是在真空室內(nèi)，將作為處理對(duì)象的OLED基板朝向下安裝其蒸鍍面，當(dāng)蒸鍍用的金屬遮罩配置在OLED基板的蒸鍍面與蒸鍍?cè)粗g時(shí)，將蒸鍍?cè)醇訜嵋允拐翦儾牧险舭l(fā)，并經(jīng)由金屬遮罩的開孔使其附著于OLED基板表面而進(jìn)行蒸鍍。例如，OLED基板采用精細(xì)金屬遮罩(Fine Metal Mask, FMM)蒸鍍有機(jī)發(fā)光材料來制備彩色化像素圖案，該精細(xì)金屬遮罩包括開孔和橋，開孔與需蒸鍍的有機(jī)發(fā)光材料子像素區(qū)域精確對(duì)位并保持一致，橋用于防止有機(jī)發(fā)光材料蒸鍍到其它區(qū)域。當(dāng)蒸鍍紅色發(fā)光材料時(shí)，使精細(xì)金屬遮罩的開孔正對(duì)紅色子像素，而綠色子像素和藍(lán)色子像素被遮罩遮擋，這樣從蒸鍍?cè)窗l(fā)出的紅色發(fā)光材料就可以僅沉積在紅色子像素區(qū)；在紅色發(fā)光材料蒸鍍完成后，遮罩平移一個(gè)子像素的距離使開孔對(duì)準(zhǔn)另一顏色的子像素，以此類推完成RGB三基色材料的蒸鍍，從而形成彩色化像素圖案。由于顯示屏的像素較為密集，導(dǎo)致連接相鄰子像素開孔的肋骨寬度非常小，一旦解析度要求提高時(shí)，則很難精確地形成彩色化像素圖案。這是因?yàn)?，在?dāng)前的蒸鍍制程工藝中，蒸鍍定義OLED基板的紅色子像素、綠色子像素和藍(lán)色子像素時(shí)，往往使用整張一體成型或整張分割形態(tài)的精細(xì)金屬遮罩進(jìn)行高精準(zhǔn)對(duì)位(諸如，數(shù)個(gè)微米的對(duì)位等級(jí))，首先大尺寸的整張精細(xì)金屬遮罩不易制作，此外還需考慮整張遮罩和OLED基板的對(duì)位容忍度。如果遮罩和基板的對(duì)位精度控制不好，容易造成像素的混色現(xiàn)象，降低像素發(fā)光開口率，從而降低整個(gè)OLED基板的產(chǎn)品良率。
[0004]有鑒于此，如何設(shè)計(jì)一種用于高分辨率的OLED基板的金屬遮罩之對(duì)位方法，以消除因?qū)ξ痪容^差所引起的相鄰像素間的混色現(xiàn)象，從而克服現(xiàn)有技術(shù)中的上述缺陷或不足，是業(yè)內(nèi)相關(guān)技術(shù)人員亟待解決的一項(xiàng)課題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的金屬遮罩與OLED基板對(duì)位精度較差所引起的相鄰像素間的混色問題，本發(fā)明提供了一種新穎的、用于OLED蒸鍍的金屬遮罩的對(duì)位方法。
[0006]依據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種金屬遮罩的對(duì)位方法，適于高分辨率的OLED顯示器，該對(duì)位方法包括以下步驟:
[0007]提供一磁鐵板；
[0008]形成多個(gè)OLED基板于所述磁鐵板的上方；
[0009]形成一精細(xì)金屬遮罩(Fine Metal Mask，F(xiàn)MM)于所述OLED基板的上方；
[0010]根據(jù)所述OLED基板的數(shù)量及每個(gè)OLED基板的尺寸，將所述精細(xì)金屬遮罩至少分割為第一直排群組和第二直排群組；以及
[0011]提供一蒸鍍?cè)匆来螌?duì)所述第一直排群組和所述第二直排群組進(jìn)行蒸鍍，以定義單一顏色的子像素圖案。
[0012]在其中的一實(shí)施例，所述蒸鍍?cè)吹恼翦兎较驗(yàn)榇怪闭翦?、水平上方蒸鍍或水平下方蒸鍍?br>[0013]在其中的一實(shí)施例，所述蒸鍍?cè)礊辄c(diǎn)蒸鍍?cè)?、線蒸鍍?cè)椿蚱矫嬲翦冊(cè)础?br>[0014]在其中的一實(shí)施例，所述第一直排群組或所述第二直排群組與所述OLED基板的對(duì)位精度取決于單一的誤差精度。
[0015]在其中的一實(shí)施例，若所述精細(xì)金屬遮罩的坐標(biāo)精度為A，所述第一直排群組與所述OLED基板的對(duì)位誤差精度為a，所述第二直排群組與所述OLED基板的對(duì)位誤差精度為b，則A等于a與b之和。
[0016]依據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，提供了一種金屬遮罩的對(duì)位方法，適于高分辨率的OLED顯示器，該對(duì)位方法包括以下步驟:
[0017]提供一磁鐵板；
[0018]形成一 OLED基板于所述磁鐵板的上方；
[0019]形成第一精細(xì)金屬遮罩群組于所述OLED基板的上方；
[0020]提供一蒸鍍?cè)磳?duì)所述第一精細(xì)金屬遮罩群組進(jìn)行蒸鍍，以定義單一顏色的子像素圖案；
[0021]形成第二精細(xì)金屬遮罩群組于所述OLED基板的上方，所述第二精細(xì)金屬遮罩群組的位置不同于所述第一精細(xì)金屬遮罩群組的位置；以及
[0022]利用所述蒸鍍?cè)磳?duì)所述第二精細(xì)金屬遮罩群組進(jìn)行蒸鍍，以定義所述單一顏色的子像素圖案，直至所述OLED基板中所有的所述單一顏色的子像素圖案均被定義完成。
[0023]在其中的一實(shí)施例，所述單一顏色的子像素圖案對(duì)應(yīng)于紅色子像素、綠色子像素或藍(lán)色子像素。
[0024]在其中的一實(shí)施例，所述蒸鍍?cè)吹恼翦兎较驗(yàn)榇怪闭翦?、水平上方蒸鍍或水平下方蒸鍍?br>[0025]在其中的一實(shí)施例，所述蒸鍍?cè)礊辄c(diǎn)蒸鍍?cè)?、線蒸鍍?cè)椿蚱矫嬲翦冊(cè)础?br>[0026]在其中的一實(shí)施例，所述對(duì)位方法還包括:在所述蒸鍍?cè)磳?duì)所述第一精細(xì)金屬遮罩群組或所述第二精細(xì)金屬遮罩群組進(jìn)行蒸鍍時(shí)，提供一遮擋層以覆蓋所述OLED基板中的未蒸鍍區(qū)域。
[0027]采用本發(fā)明的用于OLED蒸鍍的金屬遮罩的對(duì)位方法，首先提供一磁鐵板，然后形成多個(gè)OLED基板于磁鐵板的上方，接著形成一精細(xì)金屬遮罩于OLED基板的上方，并根據(jù)OLED基板的數(shù)量及每個(gè)OLED基板的尺寸，將精細(xì)金屬遮罩至少分割為第一直排群組和第二直排群組，最后提供一蒸鍍?cè)匆来螌?duì)第一直排群組和第二直排群組進(jìn)行蒸鍍，以定義單一顏色的子像素圖案。相比于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明使用直排群組方式的精細(xì)金屬遮罩與OLED基板進(jìn)行對(duì)位，藉由不同的直排群組遮罩分次蒸鍍定義單一顏色的子像素圖案，由于直排群組遮罩的尺寸較小，在制作上相較于整塊遮罩的制作容易，因此可提高直排群組遮罩的像素坐標(biāo)精度，進(jìn)而提高直排群組遮罩和OLED基板的對(duì)位容忍度，從而降低或消除因?qū)ξ痪人鸬南噜徬袼亻g的混色風(fēng)險(xiǎn)，增加整體基板的產(chǎn)品良率。
【附圖說明】
[0028]讀者在參照附圖閱讀了本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】以后，將會(huì)更清楚地了解本發(fā)明的各個(gè)方面。其中，
[0029]圖1示出現(xiàn)有技術(shù)中的一種采用精細(xì)金屬遮罩(Fine Metal Mask)來蒸鍍定義OLED的子像素圖案的原理不意圖；
[0030]圖2A示出在同一 OLED基板上排布有多個(gè)單元(cell)的排布示意圖；
[0031]圖2B示出與圖2A的OLED基板進(jìn)行高精準(zhǔn)對(duì)位的一種現(xiàn)有精細(xì)金屬遮罩的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0032]圖2C示出與圖2A的OLED基板進(jìn)行高精準(zhǔn)對(duì)位的另一種現(xiàn)有精細(xì)金屬遮罩的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]圖3示出依據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施方式，用于OLED蒸鍍的金屬遮罩的對(duì)位方法的流程框圖；
[0034]圖4示出圖3的對(duì)位方法中所使用的金屬遮罩的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0035]圖5(a)至圖5(c)分別示出在圖3的對(duì)位方法中，將金屬遮罩分割為多個(gè)直排群組的狀態(tài)示意圖；
[0036]圖6(a)至圖6(c)示出采用圖5(a)至圖5(c)的多個(gè)直排群組依次與OLED基板進(jìn)行對(duì)位和蒸鍍以定義單一顏色的子像素圖案的狀態(tài)示意圖；
[0037]圖7示出依據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式，用于OLED蒸鍍的金屬遮罩的對(duì)位方法的流程框圖；
[0038]圖8(a)至圖8(c)分別示出在圖7的對(duì)位方法中，與OLED基板進(jìn)行對(duì)位的多個(gè)精細(xì)金屬遮罩群組的狀態(tài)示意圖；以及
[0039]圖9(a)至圖9(c)示出采用圖8(a)至圖8(c)的多個(gè)精細(xì)金屬遮罩群組依次與OLED基板進(jìn)行對(duì)位和蒸鍍以定義單一顏色的子像素圖案的狀態(tài)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0040]為了使本申請(qǐng)所揭示的技術(shù)內(nèi)容更加詳盡與完備，可參照附圖以及本發(fā)明的下述各種具體實(shí)施例，附圖中相同的標(biāo)記代表相同或相似的組件。然而，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，下文中所提供的實(shí)施例并非用來限制本發(fā)明所涵蓋的范圍。此外，附圖僅僅用于示意性地加以說明，并未依照其原尺寸進(jìn)行繪制。
[0041]下面參照附圖，對(duì)本發(fā)明各個(gè)方面的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
[0042]圖1示出現(xiàn)有技術(shù)中的一種采用精細(xì)金屬遮罩(Fine Metal Mask)來蒸鍍定義OLED的子像素圖案的原理示意圖。圖2A示出在同一 OLED基板上排布有多個(gè)單元(cell)的排布示意圖，圖2B示出與圖2A的OLED基板進(jìn)行高精準(zhǔn)對(duì)位的一種現(xiàn)有精細(xì)金屬遮罩的結(jié)構(gòu)示意圖，圖2C示出與圖2A的OLED基板進(jìn)行高精準(zhǔn)對(duì)位的另一種現(xiàn)有精細(xì)金屬遮罩的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0043]參照?qǐng)D1，數(shù)字標(biāo)記100表示精細(xì)金屬遮罩，102表示OLED基板，104表示磁鐵板(magnetic plate)，106表示蒸鍍?cè)?。如前所述，將OLED基板102朝向下安裝其蒸鍍面，當(dāng)蒸鍍用的金屬遮罩100位于OLED基板102的蒸鍍面與蒸鍍?cè)?06之間時(shí)，將蒸鍍?cè)?06加熱以使蒸鍍材料蒸發(fā)，并經(jīng)由金屬遮罩100的開孔使其附著于OLED基板102的表面而進(jìn)行蒸鍍。
[0044]在圖2A中，現(xiàn)有的OLED基板200包括多個(gè)單元(cell) 202，諸如九個(gè)單元，每個(gè)單元均采用基板與精細(xì)金屬遮罩的高精準(zhǔn)對(duì)位來定義子像素圖案。如圖2B所示，其在精細(xì)金屬遮罩模具(model FMM) 204上形成整張一體成型的金屬遮罩(full mask sheet)206，該金屬遮罩206具有多個(gè)狹縫(slot)或狹條間隙(slit aperture)，利用這些狹縫或狹條間隙來定義子像素的圖案。然而，這種遮罩結(jié)構(gòu)必須考量所有單元的坐標(biāo)誤差，混色風(fēng)險(xiǎn)高，且降低了像素發(fā)光開口率。此外，大尺寸的整張金屬遮罩較難制作，且其中心區(qū)域容易出現(xiàn)下垂現(xiàn)象，這也影響了金屬遮罩與基板的對(duì)位精度，導(dǎo)致混色情形的產(chǎn)生。
[0045]如圖2C所示，雖然其將整張金屬遮罩分割為多個(gè)較小尺寸的金屬遮罩208、210和212，但是該遮罩結(jié)構(gòu)在與基板進(jìn)行對(duì)位時(shí)，仍然需要整體考慮每個(gè)金屬遮罩與基板的對(duì)位容忍度。一旦遮罩與基板的對(duì)位精度控制不好，也容易造成不同像素間的混色現(xiàn)象，進(jìn)而降低了整個(gè)OLED基板的產(chǎn)品良率。
[0046]為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的上述缺陷或不足，本發(fā)明提供了一種新的用于OLED蒸鍍的金屬遮罩的對(duì)位方法。圖3示出依據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施方式，用于OLED蒸鍍的金屬遮罩的對(duì)位方法的流程框圖。圖4示出圖3的對(duì)位方法中所使用的金屬遮罩的結(jié)構(gòu)示意圖。圖5(a)至圖5(c)分別示出在圖3的對(duì)位方法中，將金屬遮罩分割為多個(gè)直排群組的狀態(tài)示意圖。圖6(a)至圖6(c)示出采用圖5(a)至圖5(c)的多個(gè)直排群組依次與OLED基板進(jìn)行對(duì)位和蒸鍍以定義單一顏色的子像素圖案的狀態(tài)示意圖。