接在被連接有第一陽極3a的未被圖示的電路上，并被施加規(guī)定的電壓。這里，可以對第一陽極3a和第二陽極3b中的任一個(gè)施加規(guī)定電壓、或?qū)Φ谝魂枠O3a和第二陽極3b雙方陽極施加規(guī)定電壓。另外，規(guī)定電壓也可以是電位為O (接地)。
[0087]第二陰極42經(jīng)由直流電纜43與直流電纜35連接，通過中途設(shè)置的開關(guān)44能夠相對直流電纜35進(jìn)行斷開和連接。
[0088]然后，對基于本實(shí)施方式中的等離子體CVD裝置41的碳涂層清洗方法進(jìn)行說明。
[0089]利用等離子體CVD裝置41在如圖2所示的步驟I?6的工件W的內(nèi)表面上形成DLC涂層的操作是在不將第二陽極3b連接到所述電路上并在第二陰極42相對直流電纜35斷絕連接的狀態(tài)下，與碳涂層清洗裝置I完全相同的方式進(jìn)行。
[0090]在等離子體CVD裝置41中，在如圖2所示的步驟7中，將工件W換成模型工件W’后，第二陽極3b與所述電路連接，第二陰極42經(jīng)由直流電纜43、開關(guān)44與直流電纜35連接。并且執(zhí)行步驟8?11的操作。
[0091]通過這種方式，在步驟10中對被供應(yīng)到模型工件W’內(nèi)部的氧氣實(shí)施等離子體化時(shí)，控制裝置25控制從脈沖直流電源27經(jīng)由直流電纜35，43向模型工件W’及第二陰極42供應(yīng)所述負(fù)脈沖電流。這樣，能夠?qū)δＰ凸ぜ’及第二陰極42施加偏置電壓，在模型工件Ψ和第一陽極3a之間以及模型工件W’和第二陽極3b之間分別產(chǎn)生電位差，并發(fā)生放電。并且，由于所述放電，在模型工件Ψ和第一陽極3a及第二陽極3b之間、第二陰極42和第一陽極3a及第二陽極3b之間，氧氣發(fā)生等離子化現(xiàn)象，從而生成氧等離子體。
[0092]所以，產(chǎn)生所述氧等離子體的區(qū)域擴(kuò)大到相對第二密封部件2b上裝設(shè)的第一陽極3a而言是氧氣供應(yīng)罐8供應(yīng)的氧氣的上游側(cè)，從而能夠有效地分解在第一陽極3a周圍形成的所述DLC涂層并將其除去。
[0093]另外，在圖4所示的等離子體CVD裝置41中，同時(shí)具備了第二陽極3b和第二陰極42。但是也可以是僅具備第二陽極3b和第二陰極42中的任一個(gè)。
[0094]當(dāng)?shù)入x子體CVD裝置41僅具備第二陽極3b時(shí)，在如圖2所示的步驟7中將工件W換成模型工件Ψ后，第一陽極3a與所述電路的連接切換到第二陽極3b與所述電路的連接。這樣，對在步驟10中被供應(yīng)到模型工件W’內(nèi)部的氧氣進(jìn)行等離子化時(shí)，在被施加偏置電壓的模型工件W’和第二陽極3b之間產(chǎn)生電位差，從而發(fā)生放電。并且，通過所述放電，在模型工件W’和第二陽極3b之間，氧氣發(fā)生等離子化現(xiàn)象，從而生成氧等離子體。
[0095]所以，產(chǎn)生所述氧等離子體的區(qū)域擴(kuò)大到相對第二密封部件2b上裝設(shè)的第一陽極3a而言是氧氣供應(yīng)罐8供應(yīng)的氧氣的上游側(cè)，從而能夠有效地分解在第一陽極3a周圍形成的所述DLC涂層并將其除去。
[0096]當(dāng)?shù)入x子體CVD裝置41僅具備第二陰極42時(shí)，在如圖2所示的步驟7中將工件W換成模型工件W’后，讓第二陰極42經(jīng)由直流電纜43、開關(guān)44與直流電纜35連接。這樣，對在步驟10中被供應(yīng)到模型工件W’內(nèi)部的氧氣進(jìn)行等離子化時(shí)，在被施加偏置電壓的模型工件W’及第二陰極42與第一陰極3a之間產(chǎn)生電位差，從而發(fā)生放電。并且，通過所述放電，在模型工件W’及第二陰極42與第一陰極3a之間，氧氣發(fā)生等離子化現(xiàn)象，從而生成氧等離子體。
[0097]所以，產(chǎn)生所述氧等離子體的區(qū)域擴(kuò)大到相對第二密封部件2b上裝設(shè)的第一陽極3a而言是氧氣供應(yīng)罐8供應(yīng)的氧氣的上游側(cè)，從而能夠有效地分解在第一陽極3a周圍形成的所述DLC涂層并將其除去。
[0098]符號(hào)說明
[0099]1,41等離子體CVD裝置
[0100]2a第一密封部件
[0101]2b第二密封部件
[0102]3a第一陽極
[0103]3b第二陽極
[0104]4氣體供應(yīng)分系統(tǒng)
[0105]5工藝控制分系統(tǒng)
[0106]42第二陰極
[0107]W工件(第一陰極)
[0108]Ψ 模型工件(dummy workpiece)
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種碳涂層清洗方法，其為等離子體CVD裝置的碳涂層清洗方法，所述等離子體CVD裝置具備:對筒狀的導(dǎo)電性工件的兩端密封并由絕緣體構(gòu)成的有底筒狀的第一密封部件及第二密封部件、經(jīng)由所述第一密封部件對所述工件內(nèi)部減壓的減壓單元、對所述工件施加偏置電壓的電源、經(jīng)由所述第二密封部件向所述工件內(nèi)部供應(yīng)含烴的原料氣的原料氣供應(yīng)單元、以及至少在所述第一密封部件及第二密封部件中的所述第二密封部件上裝設(shè)的陽極，所述碳涂層清洗方法的特征在于， 設(shè)置有在將所述工件換成筒狀的導(dǎo)電性模型工件時(shí)向所述模型工件內(nèi)部供應(yīng)氧氣的氧氣供應(yīng)單元， 所述碳涂層清洗方法具備以下步驟: 通過所述第一密封部件及第二密封部件對所述工件的兩端密封，由所述原料氣供應(yīng)單元向通過所述減壓單元減壓到規(guī)定的真空度的所述工件內(nèi)部供應(yīng)原料氣，同時(shí)將所述工件作為與所述陽極相對的陰極通過所述電源施加偏置電壓，從而在所述工件內(nèi)部產(chǎn)生所述原料氣的等離子體，在所述工件的內(nèi)表面上形成碳涂層的步驟； 將內(nèi)表面上形成了所述碳涂層的工件換成筒狀的導(dǎo)電性模型工件，通過所述減壓單元將所述模型工件的內(nèi)部減壓到規(guī)定的真空度，通過所述氧氣供應(yīng)單元向所述模型工件的內(nèi)部供應(yīng)氧氣，同時(shí)將所述模型工件作為與所述陽極相對的陰極通過所述電源施加偏置電壓，由此在所述模型工件內(nèi)部產(chǎn)生氧等離子體的步驟；和 通過所述氧等離子體分解在所述等離子體CVD裝置的各個(gè)部分上形成的碳涂層并將其除去的步驟。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳涂層清洗方法，其特征在于， 在由所述氧氣供應(yīng)單元供應(yīng)的氧氣的上游側(cè)產(chǎn)生氧等離子體，通過該氧等離子體分解該陽極周圍形成的碳涂層并將其除去。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的碳涂層清洗方法，其特征在于， 使用接下去進(jìn)行處理的工件作為所述模型工件。4.一種等離子體CVD裝置，其特征在于，其具備: 對筒狀的導(dǎo)電性工件的兩端密封并由絕緣體構(gòu)成的有底筒狀的第一密封部件及第二密封部件； 經(jīng)由所述第一密封部件對所述工件內(nèi)部減壓的減壓單元； 對所述工件施加偏置電壓的電源； 經(jīng)由所述第二密封部件向所述工件內(nèi)部供應(yīng)含烴的原料氣的原料氣供應(yīng)單元； 至少在所述第一密封部件及第二密封部件中的所述第二密封部件上裝設(shè)的第一陽極；和 在將所述工件換成筒狀的導(dǎo)電性模型工件時(shí)向所述模型工件內(nèi)部供應(yīng)氧氣的氧氣供應(yīng)單元。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的等離子體CVD裝置，其特征在于， 其構(gòu)成為:在由所述氧氣供應(yīng)單元供應(yīng)的氧氣的相對于所述第一陽極的上游側(cè)具備第二陽極，對所述第一陽極和所述第二陽極中的任一個(gè)陽極或雙方陽極施加規(guī)定電壓。6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的等離子體CVD裝置，其特征在于， 在由所述氧氣供應(yīng)單元供應(yīng)的氧氣的上游側(cè)具備通過所述電源施加偏置電壓的第二陰極。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種碳涂層清洗方法及等離子體CVD裝置。等離子體CVD裝置(1)具備：對工件(W)或模型工件(W’)兩端密封的由絕緣體構(gòu)成的第一密封部件(2a)或第二密封部件(2b)；陽極(3)；對工件(W)或模型工件(W’)的內(nèi)部進(jìn)行減壓的減壓單元(26)；向工件(W)內(nèi)部供應(yīng)原料氣的原料氣供應(yīng)單元(6)；脈沖電源(27)和向模型工件(W’)內(nèi)部供應(yīng)氧氣的氧氣供應(yīng)單元(8)。根據(jù)該碳涂層清洗方法及等離子體裝置，能夠清洗在等離子體CVD裝置的各個(gè)部分上形成的碳涂層。
【IPC分類】C23C16/26, C23C16/44, H05H1/46, C23C16/515
【公開號(hào)】CN105229197
【申請?zhí)枴緾N201480028664
【發(fā)明人】小林幸司, 船津純矢
【申請人】本田技研工業(yè)株式會(huì)社
【公開日】2016年1月6日
【申請日】2014年5月30日
【公告號(hào)】CA2903184A1, WO2014192928A1, WO2014192929A1