一種多晶硅設(shè)備的化學(xué)絡(luò)合清洗方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明屬于多晶娃清洗技術(shù)領(lǐng)域，設(shè)及一種多晶娃設(shè)備的化學(xué)絡(luò)合清洗方。
【背景技術(shù)】
[0002] 作為生產(chǎn)太陽能發(fā)電板和電子元件的基礎(chǔ)材料多晶娃產(chǎn)品，近年來可謂大起大 落。經(jīng)過多年的發(fā)展，多晶娃產(chǎn)品和組件市場逐漸平穩(wěn)回升。多晶娃生產(chǎn)過程中對設(shè)備的 潔凈度要求極其嚴格，尤其是油分子和重金屬離子，太陽能級的多晶娃純度要求9個9%， 電子級更是達到11個9%，在龐大的設(shè)備系統(tǒng)中，哪怕幾個PPM的油分子都會造成無法出產(chǎn) 品的嚴重后果。因此，多晶娃設(shè)備的開車前清洗技術(shù)多年W來，代表著工業(yè)清洗行業(yè)的最高 水平。
[0003]多晶娃設(shè)備投產(chǎn)前的清洗，不僅僅是代表清洗技術(shù)的高低，關(guān)鍵是對清洗企業(yè)的 綜合實力體現(xiàn)，不僅對清洗技術(shù)的苛刻要求，重要的是對清洗現(xiàn)場的管理能力。清洗工藝流 程，清洗劑，清洗后的保護，再到安裝公司對儲罐和設(shè)備的安裝，都對最后多晶娃產(chǎn)品有著 很大的影響。多晶娃設(shè)備中的儲罐清洗，有著非常高的潔凈度要求，比如清洗脫脂后，用去 離子的純水進行沖洗儲罐表面其他離子，然后需要對儲罐用無油，無水，無塵的Ξ無壓縮空 氣進行干燥處理，最后成品保護處理。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明解決的技術(shù)問題在于提供一種多晶娃設(shè)備的化學(xué)絡(luò)合清洗方法，能夠?qū)崿F(xiàn) 大規(guī)模作業(yè)，滿足多晶娃設(shè)備清洗的高要求，有利于縮短多晶娃設(shè)備清洗的時間，縮短了電 子級多晶娃的產(chǎn)出時間。
[0005]本發(fā)明是通過W下技術(shù)方案來實現(xiàn)：
[0006]-種多晶娃設(shè)備的化學(xué)絡(luò)合清洗方法，包括W下操作：
[0007] 1)對待清洗的多晶娃設(shè)備進行去除表面附著物或雜質(zhì)的預(yù)處理，然后向多晶娃 設(shè)備中注入水進行試漏檢測；
[0008] 2)待多晶娃設(shè)備無漏水后，采用高效脫脂劑對設(shè)備表面進行脫脂處理，所述的脫 脂清洗劑為非離子表面活性劑；脫脂處理結(jié)束后排出脫脂清洗劑；脫脂處理后的設(shè)備立即 進行水沖洗，沖洗至流出水的抑值中性為準；
[0009] 3)水沖洗結(jié)束后，采用絡(luò)合除誘劑W浸泡清洗、循環(huán)清洗或噴淋清洗的方式對設(shè) 備進行絡(luò)合除誘清洗，所述的絡(luò)合除誘為絡(luò)合除誘劑溶解于35°C~45°C的水中，抑值為 1~4;絡(luò)合除誘清洗過程中在供給絡(luò)合除誘劑的清洗循環(huán)槽中設(shè)置標準同材質(zhì)標準試片 進行監(jiān)測，至流出液鐵離子總量穩(wěn)定時結(jié)束清洗；絡(luò)合除誘清洗結(jié)束后排出絡(luò)合除誘劑，用 水沖洗至水清；
[0010] 4)水沖洗結(jié)束后，采用漂洗劑W循環(huán)清洗或噴淋清洗的方式對設(shè)備進行漂洗，所 述的漂洗劑為弱酸溶液，其抑值為3. 5~4. 0,溫度為45~60°C，漂洗1~化；
[0011] 5)漂洗結(jié)束后排出漂洗劑，然后用溫度為30~35°C、抑值為8~9的氨水進行 氨塞處理，時間為0.2~1.化；
[0012] 6)氨塞處理結(jié)束立即投加純化劑對設(shè)備表面進行純化處理，純化結(jié)束后排出純化 劑，用水沖洗至水清；
[0013] 7)將設(shè)備用無油無塵的潔凈空氣強力吹干，封閉并充氮保護。
[0014] 所述的預(yù)處理為拉擦或噴砂處理，清除至表面無明顯附著物、雜物及誘跡；
[0015] 在之后的每道工序清洗前進行正、反循環(huán)十分鐘，排凈空氣，然后進行清洗作業(yè)。
[0016] 所述的非離子表面活性劑是脂肪醇聚氧乙締酸與與馨合劑、分散劑的混合物的溶 液，其中脂肪醇聚氧乙締酸所占的質(zhì)量分數(shù)為0. 3~0. 6%，所述的分散劑為脂肪酸類的分 散劑，所述的馨合劑為有機麟，脂肪醇聚氧乙締酸與馨合劑、分散劑的質(zhì)量比為（2~8): (0.5~1) :(0.5~1);非離子表面活性劑于35~45°C、抑值9~11的條件下進行脫脂。
[0017] 所述的絡(luò)合除誘劑包括邸TA鋼鹽、有機酸并添加保護劑，其中邸TA鋼鹽所占的質(zhì) 量分數(shù)為60~80%，EDTA鋼鹽：有機酸：保護劑的質(zhì)量比為（8~10) : (2~4) :(0.2~1); 所述的有機酸為巧樣酸或氨基橫酸，所述的保護劑為有機胺鹽化合物；絡(luò)合除誘劑添加的 質(zhì)量分數(shù)為1~5%。
[0018] 所述的漂洗劑為巧樣酸溶液，用氨水調(diào)抑值為3. 5~4。
[0019] 氨塞處理結(jié)束后用純化劑對設(shè)備表面進行純化處理，所述的純化劑采用金屬表面 純化劑，在溫度為60~70°C、抑值為10~11的條件下純化，純化處理時間為8~16h;或 者純化劑采用表面成膜劑，在常溫下、抑值為9~11的條件下純化；
[0020] 或者，漂洗處理結(jié)束后再加氨水使抑值為9. 5~9. 8,然后W氧化劑作為純化劑進 行純化，在溫度38~42°C下處理6~化，所述的氧化劑為過氧化物或高儘酸鐘。
[0021] 所述的多晶娃設(shè)備為管材、閥口時，所述的預(yù)處理清除至表面無誘跡；所述的脫 脂處理分為粗脫脂處理和精脫脂處理來進行，其中粗脫脂處理采用有機溶劑進行處理，精 脫脂處理采用非離子表面活性劑進行處理；所述的絡(luò)合除誘清洗時，碳鋼腐蝕率K《5g/ nf'h，腐蝕總量< 60g/nf;所述的漂洗時要求沖洗后鐵離子含量為300mg/l，不誘鋼《2g/ ·h，腐蝕總量< 20g/nf。
[0022] 所述的多晶娃設(shè)備為換熱器、塔類或罐類時，所述的預(yù)處理清除至表面無誘跡、雜 物及重油；所述的脫脂處理分為粗脫脂處理和精脫脂處理來進行，其中粗脫脂處理采用有 機溶劑進行處理，精脫脂處理采用非離子表面活性劑進行處理；所述的絡(luò)合除誘清洗時，每 小時檢測一次鐵離子和抑值，控制腐蝕速率；所述的漂洗結(jié)束后檢測溫度、抑值和總化 量。
[0023] 所述的多晶娃設(shè)備為塔類或罐類時，還在設(shè)備內(nèi)設(shè)置噴淋裝置；所述的絡(luò)合除誘 劑、漂洗劑、純化液等通過噴淋裝置噴淋至設(shè)備表面。
[0024] 所述的清洗液通過清洗換向平臺實行正反交替循環(huán)清洗方式，避免清洗死角漏 洗。
[00巧]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有W下有益的技術(shù)效果：
[0026] 本發(fā)明提供的多晶娃設(shè)備的化學(xué)絡(luò)合清洗方法，絡(luò)合化學(xué)清洗及設(shè)備清洗工藝是 對傳統(tǒng)"酸堿清洗"的一項綠色新技術(shù)革命；其采用的無毒無味，不揮發(fā)，排放無污染環(huán)境的 絡(luò)合除誘劑進行清洗，所排除的廢液均為環(huán)保、無害化廢液，完全解決了多晶娃清洗中的各 種難題，避免了酸洗對設(shè)備材質(zhì)的腐蝕損傷，廢液完全達到環(huán)保要求，而清洗后的清洗液可 反復(fù)使用。
[0027] 本發(fā)明提供的多晶娃設(shè)備的化學(xué)絡(luò)合清洗方法，采用了多種的清洗工序的結(jié)合， 首先排除化學(xué)清洗難去除的附作物雜物，再經(jīng)過絡(luò)合除誘清洗、漂洗、氨塞、純化、吹干、充 氮保護的工藝，而且各工藝之間用水清洗，在不傷害設(shè)備的情況下能夠達到高潔凈度的清 洗，而且清洗過后設(shè)備持續(xù)運行時間長。
[0028] 本發(fā)明提供的多晶娃設(shè)備的化學(xué)絡(luò)合清洗方法，能夠采用循環(huán)清洗、噴淋清洗、 浸泡清洗多種方式，便于搭建清洗平臺，清洗液可采用循環(huán)管路輸送，而溫度及抑的檢測 都可W從測試管路中獲取，方便了操作而且便于精細化的調(diào)節(jié)，采用正、反循環(huán)方式進行清 洗，可W將清洗不到的死角徹底清洗干凈并能夠?qū)崿F(xiàn)流量的準確調(diào)控可W適應(yīng)不同的清洗 要求。
[0029] 本發(fā)明提供的多晶娃設(shè)備的化學(xué)絡(luò)合清洗方法，能夠采用浸泡式循環(huán)流水線作 業(yè)，使多晶娃設(shè)備的管道清洗產(chǎn)能提高3~5倍，能大大縮短多晶娃設(shè)備清洗的時間。
【具體實施方式】
[0030] 下面對本發(fā)明做進一步詳細描述，所述是對本發(fā)明的解釋而不是限定。
[0031] 一種多晶娃設(shè)備的化學(xué)絡(luò)合清洗方法，包括W下操作：
[0032] 1)對待清洗的多晶娃設(shè)備進行去除表面附著物或雜質(zhì)的預(yù)處理，然后向多晶娃 設(shè)備中注入水進行試漏檢測；
[0033] 2)待多晶娃設(shè)備無漏水后，采用脫脂清洗劑對設(shè)備表面進行脫脂處理，所述的脫 脂清洗劑為非離子表面活性劑；脫脂處理結(jié)束后排出脫脂清洗劑；脫脂處理后的設(shè)備立即 進行水沖洗，沖洗至流出水的抑值中性為準；
[0034] 3)水沖洗結(jié)束后，采用絡(luò)合除誘劑W浸泡清洗、循環(huán)清洗或噴淋清洗的方式對設(shè) 備進行絡(luò)合除誘清洗，所述的絡(luò)合除誘為絡(luò)合除誘劑和絡(luò)合除垢劑溶解于35°C~45°C的 水中，抑值為1~4;絡(luò)合除誘清洗過程中在供給絡(luò)合除誘劑的管路中設(shè)置標準同材質(zhì)標準 試片進行