相對(duì)于保持單元10的保持面10a的高度。如圖2所示，高度測(cè)定器40具有主體部41、以能夠在上下方向擺動(dòng)的方式支撐于主體部41上的測(cè)量臂42、安裝于測(cè)量臂42的前端部42a的2個(gè)測(cè)針43。主體部41配置于加工位置的保持單元10的附近。主體部41以使得前端部42a上下移動(dòng)的方式并以能夠擺動(dòng)的方式對(duì)測(cè)量臂42進(jìn)行支撐。主體部41設(shè)有氣缸45，該氣缸45在被提供由空氣供給源44加壓的氣體時(shí)，將基端側(cè)向比測(cè)量臂42的擺動(dòng)中心Μ靠下方的位置按壓，并使測(cè)量臂42的前端部42a上升。此外，主體部41設(shè)有檢測(cè)單元(未圖示)，該檢測(cè)單元檢測(cè)測(cè)量臂42繞擺動(dòng)中心Μ的旋轉(zhuǎn)位置，并檢測(cè)被加工物W的背面WR的高度。檢測(cè)單元將檢測(cè)結(jié)果輸出給控制單元100。
[0028]測(cè)量臂42形成為圓柱棒形狀，且以基端部42b為中心能夠擺動(dòng)的方式支撐于主體部41。在測(cè)量臂42的前端部42a設(shè)有針支撐部件46，該針支撐部件46安裝有2個(gè)測(cè)針43 ο
[0029]2個(gè)測(cè)針43形成為圓柱棒形狀，并且安裝于針支撐部件46上。2個(gè)測(cè)針43具有平行于測(cè)量臂42的平行部47、從平行部47的前端向保持單元10的保持面10a延伸并接觸被加工物W的背面WR的接觸部48。接觸部48的下端構(gòu)成與被加工物W的背面WR接觸的接觸點(diǎn)48a。2個(gè)測(cè)針43的在磨削過(guò)程中露出的與被加工物W的背面WR接觸的接觸點(diǎn)48a配設(shè)為同一高度位置處。2個(gè)測(cè)針43如圖5所示，以使得平行部47彼此平行且在水平方向上隔開(kāi)間隔的方式配置，接觸部48的長(zhǎng)度L形成為相等。2個(gè)測(cè)針43如圖3和圖4所示，沿著以保持單元10的旋轉(zhuǎn)軸A為中心的圓周C(在圖4中用單點(diǎn)劃線表示)上進(jìn)行排列，且以間隔W1大于相鄰被加工物W彼此在周向上的間隔W2的方式隔開(kāi)配設(shè)。
[0030]另外，本發(fā)明中所謂的相鄰被加工物W彼此在周向上的間隔W2，指的是接觸點(diǎn)48a在通過(guò)被加工物W的背面WR上的圓周C上的間隔W2。此外，在本實(shí)施方式中，2個(gè)測(cè)針43的間隔W1指的是這些測(cè)針43的中心間的間隔W1。此外，2個(gè)測(cè)針43的間隔W1形成為充分小于被加工物W的背面WR的外緣與所述圓周C交叉的點(diǎn)P間的間隔W3。
[0031]如上，通過(guò)配設(shè)2個(gè)測(cè)針43，在隔著保持部件Μ將多個(gè)被加工物W保持于保持單元10上的磨削時(shí)，如圖5中虛線所示，在一個(gè)測(cè)針43位于多個(gè)被加工物W之間時(shí)，另一個(gè)測(cè)針43與多個(gè)被加工物W中的任意一個(gè)背面WR接觸，始終測(cè)量被加工物W的背面WR的高度位置。
[0032]控制單元100分別控制構(gòu)成磨削裝置1的上述構(gòu)成要素，使磨削裝置1執(zhí)行對(duì)于被加工物W的加工動(dòng)作。另外，控制單元100的主體由例如通過(guò)CPU等構(gòu)成的運(yùn)算處理裝置和ROM、RAM等的未圖示的微型處理器構(gòu)成，且與顯示加工動(dòng)作的狀態(tài)的未圖示的顯示單元、由操作人員登錄加工內(nèi)容信息等時(shí)使用的未圖示的操作單元等連接。
[0033]接著，說(shuō)明本實(shí)施方式的磨削裝置1的加工動(dòng)作。首先，操作人員將加工內(nèi)容信息登錄于控制單元100，在由操作人員發(fā)出了加工動(dòng)作的開(kāi)始指示時(shí)，磨削裝置1開(kāi)始加工動(dòng)作。在加工動(dòng)作中，在離開(kāi)磨削單元20的下方的拆裝位置上，如果在保持單元10上的正面WS放置有貼附于保持部件Μ上的多個(gè)被加工物W，則控制單元100將被加工物W吸附保持于保持單元10。此外，控制單元100將被空氣供給源44加壓的氣體提供給氣缸45，并且如圖2中雙點(diǎn)劃線所示，使測(cè)量臂42的前端部42a和測(cè)針43上升而超過(guò)保持單元10的保持面 10a。
[0034]控制單元100憑借保持單元移動(dòng)單元移動(dòng)保持單元10，將保持單元10定位于加工位置處，并停止從空氣供給源44對(duì)氣缸45進(jìn)行的加壓氣體的供給，使2個(gè)測(cè)針43的接觸點(diǎn)48a與保持于保持單元10的被加工物W的背面WR接觸。如圖4所示，控制單元100將憑借主軸電動(dòng)機(jī)27而旋轉(zhuǎn)的磨削輪23定位于旋轉(zhuǎn)的保持單元10的旋轉(zhuǎn)軸A上。然后，控制單元100憑借加工進(jìn)給單元30使磨削輪23逐漸下降，向被加工物W的背面WR磨削進(jìn)給。憑借磨削輪23的磨削磨石26磨削被加工物W的背面WR。在磨削過(guò)程中，始終通過(guò)高度測(cè)定器40測(cè)定背面WR的高度。
[0035]控制單元100根據(jù)高度測(cè)定器40的檢測(cè)結(jié)果，在被加工物W的背面WR的高度成為期望高度時(shí)，憑借加工進(jìn)給單元30使磨削單元20離開(kāi)被加工物W。進(jìn)而，控制單元100將被空氣供給源44加壓的氣體提供給氣缸45，使測(cè)量臂42的前端部42a和測(cè)針43上升而超過(guò)保持單元10的保持面10a。
[0036]控制單元100此后憑借保持單元移動(dòng)單元使保持單元10從磨削單元20下方的加工位置起向拆裝位置移動(dòng)。而且，在保持單元10位于拆裝位置時(shí)，控制單元100停止保持單元移動(dòng)單元造成的保持單元10的移動(dòng)，解除保持單元10對(duì)被加工物W的吸附保持。在交換了磨削后的被加工物W與磨削前的被加工物W時(shí)，磨削裝置1與上述工序同樣地對(duì)被加工物W實(shí)施磨削。
[0037]如上，本實(shí)施方式的磨削裝置1具有2個(gè)測(cè)針43，將2個(gè)測(cè)針43沿著以保持單元10的旋轉(zhuǎn)軸A為中心的圓周進(jìn)行排列，且以間隔W1大于相鄰的被加工物W彼此在周向上的間隔W2的方式隔開(kāi)配設(shè)。進(jìn)而，將2個(gè)測(cè)針43間的間隔W1形成為充分小于被加工物W的背面WR的外緣與所述圓周C交叉的點(diǎn)P間的間隔W3。因此，在磨削時(shí)1個(gè)測(cè)針43位于多個(gè)被加工物W之間的情況下，另一個(gè)測(cè)針43必定會(huì)接觸多個(gè)被加工物W的背面WR而能夠測(cè)量。因此，在同時(shí)保持多個(gè)被加工物W并進(jìn)行磨削的情況下，測(cè)針43既不會(huì)落入被加工物W之間也不會(huì)卡在被加工物W上，能夠使測(cè)針43穩(wěn)定接觸被加工物W的背面WR并測(cè)量被加工物W的厚度。
[0038]此外，在本發(fā)明中，磨削裝置1可以具有多個(gè)保持單元10和磨削單元20。在本發(fā)明中，可以在實(shí)施磨削前通過(guò)高度測(cè)定器40預(yù)先測(cè)定保持單元10的保持面10a的高度位置，控制單元100計(jì)算與在磨削中測(cè)定的高度位置之差，并根據(jù)差值求出被加工物W的厚度，控制為將其磨削至期望的厚度。
[0039]進(jìn)而，在本發(fā)明中，在保持單元10的保持面10a的外徑形成為與被加工物W或保持部件Μ的外徑大致等同的情況下，另外設(shè)置高度測(cè)定器(未圖示)，該高度測(cè)定器具有1個(gè)接觸保持面10a的外周的外周部10b(圖2所示)的測(cè)針?？刂茊卧?00使在磨削過(guò)程中另外設(shè)置的高度測(cè)定器的測(cè)物W的厚度。
[0040]另外，本發(fā)明不限于上針接觸外周部10b，可以始終測(cè)定保持單元10的高度位置，根據(jù)測(cè)定的值等求出被加工述實(shí)施方式。即，能夠在不脫離本發(fā)明主旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變形并實(shí)施。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種磨削裝置，其具有:保持單元，其具有保持被加工物的保持面；磨削單元，其對(duì)保持于該保持單元上的被加工物的上表面進(jìn)行磨削；以及高度測(cè)定器，其對(duì)由該磨削單元進(jìn)行了磨削后的被加工物的該上表面的高度進(jìn)行測(cè)定， 該磨削裝置的特征在于， 該保持單元具有保持多個(gè)被加工物并形成為尺寸大于被加工物的尺寸的保持面，且該保持單元能夠以與該保持面正交并通過(guò)該保持面的中心的旋轉(zhuǎn)軸為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，在該保持面上，在以該旋轉(zhuǎn)軸為中心的圓周上，沿周向保持該多個(gè)被加工物， 該高度測(cè)定器具有2個(gè)測(cè)針，該2個(gè)測(cè)針的與被加工物的上表面接觸的接觸點(diǎn)配設(shè)于同一高度位置處，該2個(gè)測(cè)針沿著以該保持單元的旋轉(zhuǎn)軸為中心的該圓周進(jìn)行排列，且以間隔大于相鄰的被加工物彼此在周向上的間隔的方式隔開(kāi)配設(shè)， 在磨削多個(gè)被加工物時(shí)，在一個(gè)該測(cè)針位于該多個(gè)被加工物之間的情況下，另一個(gè)該測(cè)針與多個(gè)被加工物中的任意一個(gè)的上表面接觸，始終測(cè)量被加工物的高度位置。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種磨削裝置，其在同時(shí)保持多個(gè)被加工物進(jìn)行磨削的情況下，能夠使測(cè)針?lè)€(wěn)定接觸被加工物的上表面并測(cè)量被加工物的厚度。磨削裝置具有：保持單元，其具有保持被加工物(W)的保持面；磨削單元，其磨削保持于保持單元的被加工物(W)的背面(WR)；以及高度測(cè)定器(40)，其測(cè)定被磨削單元磨削的被加工物(W)的背面(WR)的高度。高度測(cè)定器(40)具有2個(gè)測(cè)針(43)，該2個(gè)測(cè)針(43)在被加工物(W)的背面(WR)上接觸的接觸點(diǎn)配設(shè)于同一高度位置處。2個(gè)測(cè)針(43)沿著保持單元的以旋轉(zhuǎn)軸(A)為中心的圓周(C)上進(jìn)行排列，并且以間隔(W1)大于相鄰的被加工物(W)彼此在周向上的間隔(W2)的方式隔開(kāi)配設(shè)。
【IPC分類】B24B49/04
【公開(kāi)號(hào)】CN105290969
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510313499
【發(fā)明人】三原拓也
【申請(qǐng)人】株式會(huì)社迪思科
【公開(kāi)日】2016年2月3日
【申請(qǐng)日】2015年6月9日