一種破損時可自動報警的固定環(huán)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及晶圓表面平坦化的CMP工藝技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種破損時可自動報警的固定環(huán)。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導體制造技術(shù)的發(fā)展，集成電路的關(guān)鍵尺寸越來越小的同時，晶圓的尺寸越來越大，單片晶圓的價值也越來越高，因此，在晶圓的加工的化學機械平坦化過程中，固定環(huán)厚度對研磨速率及穩(wěn)定性有很大影響。其中，固定環(huán)是晶圓制作中常用的設(shè)備部件，其主要作用為:固定晶圓，防止晶圓的研磨過程中出現(xiàn)滑片；使得晶圓邊緣的壓力可調(diào)，對晶圓邊緣的研磨量可調(diào)；固定環(huán)的溝槽可引導研磨液的流進流出，使研磨液更均勻的接觸晶圓。
[0003]而在晶圓的加工過程中一旦發(fā)生破片，對工廠帶來的經(jīng)濟損失也越來越大。而引發(fā)晶圓在加工過程中發(fā)生破片有諸多因素，拋光頭上的固定環(huán)在拋光過程中發(fā)生破裂而引起晶圓的破片是其中的因素之一，如果不能及時發(fā)現(xiàn)并停止拋光機的運行，不僅會引起晶圓破片，甚至可能導致拋光頭及拋光墊等其他部件的嚴重損壞，導致更高的經(jīng)濟損失。
[0004]因此，通訊工業(yè)晶圓生產(chǎn)中需求一種發(fā)生破裂時可自動報警并觸發(fā)拋光頭和拋光盤自動停止轉(zhuǎn)動的固定環(huán)，以降低因固定環(huán)的破裂帶來的潛在風險和經(jīng)濟損失。
[0005]鑒于上述缺陷，本發(fā)明創(chuàng)作者經(jīng)過長時間的研究和實踐終于獲得了本創(chuàng)作。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題，現(xiàn)提供一種旨在能夠在發(fā)生破裂時可自動報警并觸發(fā)拋光頭和拋光盤自動停止轉(zhuǎn)動的固定環(huán)，用以克服上述技術(shù)缺陷。
[0007]具體技術(shù)方案如下:
[0008]—種破損時可自動報警的固定環(huán)，包括整體呈薄片型圓環(huán)狀且下表面開設(shè)有多個溝槽的固定環(huán)本體，
[0009]所述固定環(huán)本體內(nèi)嵌入安裝有一環(huán)形細導線，所述環(huán)形細導線的兩端連接有一電阻監(jiān)測裝置，所述電阻監(jiān)測裝置實時檢測所述環(huán)形細導線的電阻信息，且所述電阻檢測裝置與外部拋光機的電腦控制端相電連，所述電阻檢測裝置檢測到的所述電阻信息實時傳輸至所述電腦控制端內(nèi)；或者，
[0010]所述固定環(huán)本體內(nèi)部鑲嵌安裝有多道環(huán)形導線，每一個所述環(huán)形導線的兩端均接入有固定點電壓，且每一個所述環(huán)形導線還分別連接有一電流信號監(jiān)測裝置，所述電流信號監(jiān)測裝置實時檢測環(huán)形導線的電流信息，并與所述外部拋光機的所述電腦控制端相電連，所述電流信號監(jiān)測裝置檢測到的所述電流信息實時傳輸至所述電腦控制端內(nèi)。
[0011]每一個所述環(huán)形導線所在的平面平行于所述固定環(huán)本體上表面所在的平面。
[0012]所述電阻監(jiān)測裝置還連接有一報警裝置，且所述固定環(huán)本體發(fā)生破損時，所述電阻監(jiān)測裝置同時將發(fā)生變化的所述電阻信息傳輸至所述報警裝置中，所述報警裝置發(fā)出報警信息。
[0013]所述環(huán)形細導線環(huán)形分布于圓環(huán)狀的所述固定環(huán)本體內(nèi)，且所述環(huán)形細導線所在的平面與所述固定環(huán)本體上表面所在的平面相平行。
[0014]所述固定環(huán)本體內(nèi)具有四條所述環(huán)形導線，且所述環(huán)形導線自下而上進行編號為1號、2號、3號、4號，所述電流信號出現(xiàn)異常的對應(yīng)的所述環(huán)形導線編號越大，所述固定環(huán)本體的損壞程度越高。
[0015]較佳的，四條所述環(huán)形導線等間距設(shè)置。
[0016]較佳的，所述電流信號監(jiān)測裝置還連接有一報警器，且所述固定環(huán)本體發(fā)生破損時，所述電流信號監(jiān)測裝置同時將變化的所述電流信息傳輸至所述報警器中，所述報警器發(fā)出報警信息。
[0017]較佳的，所述電流信號監(jiān)測裝置連接入所述環(huán)形導線的兩端內(nèi)。
[0018]較佳的，所述報警裝置為一聲音警報器。
[0019]較佳的，所述報警器為一聲音警報器。
[0020]上述技術(shù)方案的有益效果在于:
[0021](1)本發(fā)明通過向固定環(huán)本體內(nèi)嵌入安裝環(huán)形細導線或多條環(huán)形導線的方式，可實現(xiàn)當固定環(huán)本體發(fā)生破損時可自動報警并觸發(fā)拋光頭和拋光盤自動停止轉(zhuǎn)動可有效的降低因固定環(huán)的破裂帶來的潛在風險和經(jīng)濟損失；
[0022](2)多條環(huán)形導線的設(shè)置，使得還可以自動識別出固定環(huán)的破損程度，方便工程師更快速的對故障等級定位。
【附圖說明】
[0023]圖la為現(xiàn)有技術(shù)下固定環(huán)的立體示意圖；
[0024]圖lb為現(xiàn)有技術(shù)下固定環(huán)的側(cè)面示意圖；
[0025]圖2a為本發(fā)明破損時可自動報警的固定環(huán)實施例一固定環(huán)本體的側(cè)面視圖；
[0026]圖2b為本發(fā)明破損時可自動報警的固定環(huán)實施例一的結(jié)構(gòu)連接示意圖；
[0027]圖3a為本發(fā)明破損時可自動報警的固定環(huán)實施例二固定環(huán)本體的側(cè)面視圖；
[0028]圖3b為本發(fā)明破損時可自動報警的固定環(huán)實施例二的結(jié)構(gòu)連接示意圖。
【具體實施方式】
[0029]以下，將會參照附圖描述本發(fā)明的實施方式。在實施方式中，相同構(gòu)造的部分使用相同的附圖標記并且省略描述。
[0030]參閱圖la和圖lb可知，現(xiàn)有技術(shù)下的固定環(huán)整體呈薄片型圓環(huán)狀，且下表面開設(shè)有多個溝槽2，用以一方面固定晶圓，另一方面溝槽2可引導研磨液的流進流出，使得研磨液更均勻的接觸晶圓。
[0031]實施例一:
[0032]參閱圖2a，為本發(fā)明破損時可自動報警的固定環(huán)實施例一固定環(huán)本體的側(cè)面視圖；結(jié)合圖2b，為本發(fā)明破損時可自動報警的固定環(huán)實施例一的結(jié)構(gòu)連接示意圖。
[0033]如圖中所示，本實施例與現(xiàn)有技術(shù)下的固定環(huán)相比，包括與現(xiàn)有技術(shù)相同結(jié)構(gòu)功能的固定環(huán)本體1，即固定環(huán)本體1整體呈薄片型圓環(huán)狀，且下表面開設(shè)有多個溝槽2 ;同時，所述固定環(huán)本體1內(nèi)嵌入安裝有環(huán)形細導線3，環(huán)形細導線3的兩端連接有一電阻監(jiān)測裝置4，電阻監(jiān)測裝置4實時檢測環(huán)形細導線3的電阻信息，且電阻檢測裝置與外部拋光機10的電腦控制端9相電連，其檢測到的環(huán)形細導線3的電阻信息實時傳輸至電腦控制端9內(nèi)。
[0034]從而在固定環(huán)本體發(fā)生破損狀況時，因環(huán)形細導線3的電阻發(fā)生變化，電阻監(jiān)測裝置4檢測到電阻發(fā)生變化的信息并傳輸至電腦控制端9內(nèi)，電腦控制端9控制調(diào)整拋光機10的運行狀態(tài)至停止狀態(tài)，同時電腦控制端9向工程師在電腦上或是網(wǎng)絡(luò)相連的監(jiān)控設(shè)備中發(fā)出報警信息。
[0035]在一種優(yōu)選的實施方式中，電阻監(jiān)測裝置4還連接有一報警裝置7，當固定環(huán)本體1發(fā)生破損狀況時，電阻監(jiān)測裝置4同時將變化的所述電阻信息(即所述固定環(huán)本體1的破損信息)傳輸至報警裝置7中，報警裝置7發(fā)出報警信息，通知工作人員固定環(huán)破狀況，從而實現(xiàn)當固定環(huán)破裂時可自動報警并觸發(fā)拋光頭和拋光盤自動停止轉(zhuǎn)動。
[0036]且值得指出的是，在本實施例中，所述報警裝置7為一聲音警報器，當觸發(fā)時發(fā)出聲音警報。但所述報警信息也可以是閃光燈方式實現(xiàn)，且不局限于此。
[0037]進一步的優(yōu)選實施方式中，環(huán)形細導線3環(huán)形分布于圓環(huán)狀的固定環(huán)本體1內(nèi)，且環(huán)形細導線3所在的平面與固定環(huán)本體上表面所在的平面相平行。
[0038]在上述技術(shù)方案中，通過在固定環(huán)本體1中嵌入安裝環(huán)