在母材的表面通過掩模形成凸起的方法及裝置的制造方法【
技術(shù)領(lǐng)域：
】[0001]本發(fā)明涉及一種通過掩模（masking)形成凸起的方法及裝置，更為詳細(xì)地涉及一種方法及裝置，其用于對(duì)母材的表面進(jìn)行特殊處理，從而提高根據(jù)母材的AR特性調(diào)節(jié)的反射防止功能，并改善超疏水功能?！?br>背景技術(shù)：
】[0002]通過在包括手機(jī)、平板電腦（tabletPC)等使用觸摸功能的顯示器（display)在內(nèi)如TV和電腦顯示器等一樣的平板（flatpanel)顯示器的覆蓋窗（coverwindow)、太陽能電池的覆蓋窗、建筑物的外部玻璃、眼鏡、汽車用玻璃等減少光的反射，從而可提高設(shè)備的效率并提高能見度。[0003]通常，透過光的界面的兩個(gè)媒質(zhì)之間的折射率差較大時(shí)，產(chǎn)生根據(jù)被稱為菲涅耳(Fresnel)反射法則的兩個(gè)媒介之間的折射率和入射角及反射角決定反射率的反射現(xiàn)象。[0004]顯示器設(shè)備在野外等當(dāng)外部光強(qiáng)度較大時(shí)，即使是較小的反射率，也會(huì)因?yàn)閮H次于從內(nèi)部放出的光的強(qiáng)度而降低夜晚的能見度。[0005]此外，類似于太陽能電池的覆蓋玻璃，越是提高太陽光的透過，越是增加發(fā)電量，因此應(yīng)減少反射。另外，在建筑物外部玻璃或汽車玻璃上等，因?yàn)榉瓷涠鴮?dǎo)致的晃眼直接關(guān)系到安全問題，從而有必要達(dá)成一定水準(zhǔn)以下的反射防止。[0006]由此，以抑制玻璃表面上的反射為目的，相對(duì)于作為入射光波長的λ，具有大約λ/4的厚度同時(shí)，將具有空氣和玻璃的折射率之間值的物質(zhì)涂覆在玻璃表面，則可減少反射。但是，所述方法相對(duì)于作為特定的波長的λ，可抑制反射，因此如果要對(duì)可視光全區(qū)域進(jìn)行反射防止，則需要用對(duì)各種波長涂覆的多層薄膜進(jìn)行涂覆。[0007]此外，由多層薄膜形成的涂覆層與作為基板的玻璃的粘著力有限，因此會(huì)產(chǎn)生剝離，并且如果產(chǎn)生所述剝離，則表面的薄膜層由于不均勻而出現(xiàn)雜亂的顏色。[0008]由于所述原因，通過多層薄膜涂覆的反射防止技術(shù)具有如下缺點(diǎn)，難以適用于觸摸面板等經(jīng)常形成接觸的表面。[0009]作為反射防止技術(shù)的另一方法，有最近迅速受到關(guān)注并進(jìn)行研究的利用蛾眼效果的方法，如果將小于可見光線波長帶的直徑的納米凸起形成于玻璃表面，則可見光線透過所述表面時(shí)，無法識(shí)別納米凸起的存在，但是識(shí)別到根據(jù)凸起形狀玻璃表面的折射率逐漸變化，從而反射率降低。[0010]通過用于將所述蛾眼效果實(shí)現(xiàn)于基板的方法，可以實(shí)現(xiàn)各種工藝，并且各個(gè)不同的工藝具有優(yōu)缺點(diǎn)。例如納米壓?。╪anoimprinting)技術(shù)在模具（mold)的表面形成納米結(jié)構(gòu)物，從而利用液態(tài)聚合物（PoIymer)可形成納米結(jié)構(gòu)物，但是難以進(jìn)行大面積和高速生產(chǎn)。[0011]此外，在類似于光刻（Photo-lithography)的半導(dǎo)體工藝中，為了進(jìn)行納米圖案化，而必須使用EUV，是費(fèi)用非常高的工藝。由此，通過在透明的基板表面形成納米掩模并利用所述掩模在基板形成納米結(jié)構(gòu)物，從而形成反射防止的技術(shù)中需要開發(fā)可進(jìn)行大面積和連續(xù)工藝的技術(shù)。[0012]由此，在基板本身形成納米結(jié)構(gòu)物時(shí)，具有如下優(yōu)點(diǎn)，無論何種情況都不會(huì)發(fā)生納米結(jié)構(gòu)物剝離的問題，并且即使由于外部沖擊而發(fā)生損傷也不會(huì)被人的肉眼所識(shí)別。[0013]另外，根據(jù)入射光的波長范圍，以及根據(jù)納米結(jié)構(gòu)物的大小與形狀，反射率不同，因此為了對(duì)此進(jìn)行調(diào)節(jié)，而需要如下技術(shù)：可以將納米掩模在大面積的基板上形成，并可以以各種尺寸和分布進(jìn)行調(diào)節(jié)?！?br/>發(fā)明內(nèi)容】[0014]本發(fā)明用于解決所述問題，目的在于制造在整個(gè)UV-IR波長范圍（180nm~1400nm)內(nèi)AR特性得到提高的母材。[0015]此外，本發(fā)明的目的在于，提供用于改善AR特性的各種裝置及工法。[0016]用于解決所述課題的本發(fā)明的通過掩模形成凸起的方法，其包括：掩模形成步驟，在母材上形成掩模層；蝕刻步驟，對(duì)母材上未形成掩模的區(qū)域進(jìn)行蝕刻；以及掩模去除步驟，去除所述掩模層，并且所述掩模形成步驟包括至少形成一個(gè)以上的小型掩模的步驟，以及至少形成一個(gè)以上的大型掩模的步驟。[0017]作為掩模形成步驟的一個(gè)例子，將熔點(diǎn)不同的金屬在相同的溫度下進(jìn)行供給，從而可以形成小型掩模或大型掩模，并且作為另一個(gè)例子，將相同的金屬用相互不同的處理時(shí)間期間或在相互不同的溫度下進(jìn)行供給，從而也可以形成小型掩?；虼笮脱谀！４送?，就所述掩模形成步驟而言，將熔點(diǎn)不同的金屬用相互不同的處理時(shí)間期間或在相互不同的溫度下進(jìn)行供給，從而可形成小型掩?；虼笮脱谀?。[0018]就所述具體的方式而言，在相同的艙室內(nèi)將熔點(diǎn)不同的金屬用物理氣相沉積方法(PhysicalVaporDeposition，PVD)，由此在母材上形成小型掩?；虼笮脱谀?，或者用相互不同的處理時(shí)間期間進(jìn)行操作或施加相互不同的溫度的多個(gè)艙室中，將相同金屬通過物理氣相沉積方法在母材上形成為小型掩?；蛘叽笮脱谀?，或者，用相互不同的處理時(shí)間期間進(jìn)行操作或施加相互不同額溫度的多個(gè)艙室中，將熔點(diǎn)不同的金屬通過物理氣相沉積方法可以在母材上可形成為小型掩?；虼笮脱谀！0019]在不同的實(shí)施例中，在相同的艙室內(nèi)調(diào)節(jié)母材的溫度，并將前驅(qū)體（precursor)通過化學(xué)氣相沉積方法（ChemicalVaporDeposition，CVD)進(jìn)行沉積，從而形成小型掩?；虼笮脱谀?，并且在多個(gè)艙室內(nèi)使得前驅(qū)體的種類不同，并且通過化學(xué)氣相沉積方法進(jìn)行沉積，從而也可以形成小型掩?；虼笮脱谀！0020]另外，用于達(dá)成本發(fā)明的目的的通過掩模的凸起形成裝置包括：艙室；母材安裝部，其形成于所述艙室內(nèi)，并且將母材安裝于所述母材安裝部；金屬供給部，其形成于所述艙室內(nèi)，用于通過派射方式向安裝于所述母材安裝部的母材上供給金屬；以及溫度調(diào)節(jié)部，其用于調(diào)節(jié)所述艙室內(nèi)溫度。[0021]此時(shí)，母材安裝部包括母材加熱器（heater)，所述母材加熱器用于將所安裝的母材加熱至已設(shè)定的溫度，并且在所述母材加熱器中可設(shè)置有多個(gè)熱電偶。另外，所述溫度調(diào)節(jié)部可包括測(cè)定艙室內(nèi)的溫度的傳感器，以及通過電力調(diào)整對(duì)艙室內(nèi)的溫度進(jìn)行調(diào)節(jié)的艙室加熱器。[0022]本發(fā)明的凸起形成裝置還可包括用于移動(dòng)母材的內(nèi)聯(lián)（in-line)部，隨著內(nèi)聯(lián)部的驅(qū)動(dòng)，所述金屬供給部將熔點(diǎn)不同的金屬向母材進(jìn)行供給，并且所述溫度調(diào)節(jié)部將艙室內(nèi)的溫度維持為一定，從而可形成掩模。[0023]在另一個(gè)實(shí)施例中，艙室由相互區(qū)分的多個(gè)艙室組成，并且還包括內(nèi)聯(lián)部，所述內(nèi)聯(lián)部用于在所述多個(gè)艙室之間移動(dòng)母材，并且所述金屬供給部將相同的金屬向母材進(jìn)行供給，并且各個(gè)艙室用相互不同的處理時(shí)間期間進(jìn)行操作或通過所述溫度調(diào)節(jié)部分別調(diào)節(jié)為不同的溫度，從而可形成掩模。[0024]根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例的凸起形成裝置包括：艙室；母材安裝部，其形成于所述艙室內(nèi)，并且將母材安裝于所述母材安裝部；氣體供給部，其通過化學(xué)氣相沉積方式(ChemicalVaporDeposition，CVD)向安裝于所述母材安裝部的母材上沉積掩模；以及溫度調(diào)節(jié)部，其用于調(diào)節(jié)所述母材的溫度，并且此時(shí)，所述溫度調(diào)節(jié)部可包括傳感器及艙室加熱器，所述傳感器對(duì)艙室內(nèi)的溫度進(jìn)行測(cè)定，所述艙室加熱器通過電力調(diào)整對(duì)母材的溫度進(jìn)行調(diào)節(jié)。另外，氣體供給部將特定的前驅(qū)體（precursor)向母材供給，并且所述溫度調(diào)節(jié)部對(duì)母材的溫度進(jìn)行分階段地變更。[0025]在另一個(gè)實(shí)施例中，艙室由相互區(qū)分的多個(gè)艙室組成，并且還包括內(nèi)聯(lián)（in-line)部，所述內(nèi)聯(lián)部用于在多個(gè)艙室之間當(dāng)前第1頁1 2 3 4