設置一圓形載臺5，此圓形載臺5可沿軸心旋轉。先在載臺5上設置一加熱環(huán)3。再把蒸鍍材料I通過噴嘴2噴灑在加熱環(huán)3內，呈現(xiàn)一個圓形圈。然后把輻射產生器4設置于加熱環(huán)3的對應位置，此時的輻射產生器4可以為激光輻射源。最后在整個圓形載臺5上覆蓋一保護體6，以防止蒸發(fā)腔體內氣流擾動產生揚塵。
[0052]運作時，載臺5旋轉，輻射產生器4產生激光輻射，其采用高密度輻射能對加熱環(huán)3進行照射，此加熱環(huán)3可以在瞬上升到材料升華溫度。需要蒸鍍時，便通過此方式使得蒸鍍材料I升華，并通過控制輻射產生器4的功率以及作用時間來控制蒸鍍材料I的蒸鍍的效率，不蒸鍍時候，降低輻射產生器4功率，使材料維持在250°C左右，以降低材料蒸發(fā)速率。
[0053]實施例二:在實施例一的基礎上，于一加熱環(huán)3內再加設一加熱環(huán)3，以致形成兩個具有蒸鍍材料I的圓形圈，以此在同一載臺5上增加蒸鍍材料I的蒸發(fā)量。其中，蒸鍍材料I可是兩種不同材質的材料，并且既可以在載臺5上設置一個輻射產生器4，也可以在內外兩個加熱環(huán)3上都設置一輻射產生器4。
[0054]在運作時，假設
[0055]輻射產生器4已經設置于載臺5上，則只需在工作位置上直接運行即可。當為一個輻射產生器4時，可利用蒸鍍材料I的噴灑間隙，有先后地對內外加熱環(huán)3進行照射，制程上可以有所緩沖；當分別設置兩個輻射產生器4同時工作時，不同材質的蒸鍍材料I其蒸發(fā)效率就能很好體現(xiàn)出來，并且其照射加熱蒸發(fā)的效率也會更高。
[0056]實施例三:如圖5所示，設置一矩形載臺5，此長形載臺5可左右移動。載臺5上并不加設加熱環(huán)3，而是直接在載臺5面上噴灑所需蒸鍍的蒸鍍材料1，并設置有間隔的一排噴嘴工具2，具體為，位于左側端的第一噴嘴工具和位于矩形載臺右側端的第二噴嘴工具。噴嘴2沿直線噴灑出一條蒸鍍材料I。噴灑完成后，覆蓋上保護層6，可以在保護層6中部位置設置一開口 7，并沿著此開口 7設置一個輻射產生器4，輻射產生器4通過此開口 7對蒸鍍材料I進行加熱蒸鍍；亦或者，在噴灑完成前，假設輻射產生器4已經設置于載臺5上，這時，覆蓋上保護層6后，需對應輻射產生器4的工作位置開設出一開口 7，這樣，輻射產生器4便可通過此開口 7對鍍材料I進行加熱蒸鍍。
[0057]運作時，當矩形載臺5從左往右移動時候，左側端的第一噴嘴工具將蒸鍍材料I噴散在載臺5上，形成一條線。在右移過程中，輻射產生器4在中部開口 7位置對右移過來的蒸鍍材料I進行蒸發(fā)；蒸發(fā)完畢后，載臺5結束右移，右側端的第二噴嘴工具準備噴灑材料；當載臺5從右向左移動時候，右側端的第二噴嘴工具噴出蒸鍍材料1，并在右移過程中，輻射產生器4在中部開口 7位置對左移過來的蒸發(fā)蒸鍍材料1，載臺5左移的過程中，左側端的第一噴嘴工具停止噴灑蒸鍍材料I。
[0058]若需要再高效率蒸發(fā)蒸鍍材料I時，可以在保護層6上開設多個開口 7，且左右排開，并分別在各個開口 7處設置一輻射產生器4。這樣，第一和第二噴嘴在載臺5左右移動時，都能持續(xù)噴灑蒸鍍材料1，并能通過輻射產生器4高效蒸發(fā)。
[0059]實施例四:在實施例三的基礎上，于矩形載臺5上的左右兩側，設置多個縱向排布的第一噴嘴工具以及第二噴嘴工具，形成兩列平行有間隔的噴嘴工具，以構成多行平行的蒸鍍材料I。并在每行的蒸鍍材料I上分別設置一輻射產生器4，以形成一列縱向排布的輻射產生器4，從而對蒸鍍材料I進行蒸鍍。也可以依照實施例二的實施方式，設置不同材質的蒸鍍材料1，亦或者在每一行的蒸鍍材料I上設置多個輻射產生器4，以此，總體提升加熱蒸發(fā)效能。其中具體的運作過程由于與實施例二以及實施例三所述的過程相類似，因此，不在此多加贅述。
[0060]以上結合附圖實施例對本發(fā)明進行了詳細說明，本領域中普通技術人員可根據(jù)上述說明對本發(fā)明做出種種變化例。因而，實施例中的某些細節(jié)不應構成對本發(fā)明的限定，本發(fā)明將以所附權利要求書界定的范圍作為保護范圍。
【主權項】
1.一種輻射源蒸發(fā)系統(tǒng)，其特征在于，包括: 用于承載蒸鍍材料的載臺； 用于產生輻射源以照射于所述載臺上的蒸鍍材料使得所述蒸鍍材料受熱蒸發(fā)的輻射產生器。2.根據(jù)權利要求1所述的輻射源蒸發(fā)系統(tǒng)，其特征在于:還包括設置于所述載臺上方的噴嘴工具，用于將所述蒸鍍材料噴灑于所述載臺上。3.根據(jù)權利要求2所述的輻射源蒸發(fā)系統(tǒng)，其特征在于: 所述載臺為旋轉作動的圓形載臺； 利用所述噴嘴工具在所述圓形載臺上噴灑的蒸鍍材料呈環(huán)狀。4.根據(jù)權利要求3所述的輻射源蒸發(fā)系統(tǒng)，其特征在于: 所述圓形載臺上設置有用于容置所述蒸鍍材料并與所述輻射發(fā)生器對應以供接收所述輻射源的加熱環(huán)； 所述輻射源通過所述加熱環(huán)對所述蒸鍍材料加熱蒸發(fā)。5.根據(jù)權利要求2所述的輻射源蒸發(fā)系統(tǒng)，其特征在于: 所述載臺為左右作動的矩形載臺； 所述噴嘴工具包括設于所述矩形載臺左側端的第一噴嘴工具和位于所述矩形載臺右側端的第二噴嘴工具；利用所述第一噴嘴工具在所述矩形載臺上噴灑的第一蒸鍍材料和利用所述第二噴嘴工具在所述矩形載臺上噴灑的第二蒸鍍材料呈條狀； 所述輻射產生器配置于所述矩形載臺的中間位置處，產生的所述輻射源用于在所述矩形載臺左右作動時對移動至所述輻射源之下的所述第一蒸鍍材料和所述第二蒸鍍材料加熱蒸發(fā)。6.根據(jù)權利要求1或2所述的輻射源蒸發(fā)系統(tǒng)，其特征在于: 還包括用于覆蓋所述蒸鍍材料的保護體； 所述保護體開設有供所述輻射源通過的開口。7.根據(jù)權利要求1所述的輻射源蒸發(fā)系統(tǒng)，其特征在于: 所述輻射源包括激光輻射。8.—種基于如權利要求1至7中任一項所述的輻射源蒸發(fā)系統(tǒng)的蒸鍍控制方法，其特征在于包括以下步驟: 1)設置載臺，并在所述載臺上噴灑蒸鍍材料； 2)通過加設的輻射產生器對蒸鍍材料進行加熱蒸發(fā)； 3)控制輻射產生器的輸出功率，以控制所述蒸鍍材料的蒸鍍速率。9.根據(jù)權利要求8所述的蒸鍍控制方法，其特征在于: 步驟I)之后步驟2)之前還包括在所述蒸鍍材料上覆蓋保護體的步驟。
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種輻射源蒸發(fā)系統(tǒng)及蒸鍍控制方法。蒸發(fā)系統(tǒng)包括：用于承載蒸鍍材料的載臺以及用于產生輻射源以照射于載臺上的蒸鍍材料使得蒸鍍材料受熱蒸發(fā)的輻射產生器，蒸鍍材料通過一噴嘴工具噴灑于載臺上，蒸鍍材料通過一保護體覆蓋；蒸鍍控制方法包括步驟：1)設置載臺，并噴灑材料；2)在載臺上加設輻射源；3)通過輻射源對材料進行蒸鍍；4)控制輻射源的輸出功率，以控制蒸鍍速率。本發(fā)明以輻射的方式徹底代替?zhèn)鹘y(tǒng)的熱傳導方式，并解決傳統(tǒng)熱傳導方式所存在的問題。本發(fā)明的優(yōu)點：改進傳統(tǒng)蒸鍍方式，更好有效控制蒸發(fā)效率。
【IPC分類】C23C14/28
【公開號】CN105586570
【申請?zhí)枴緾N201410654319
【發(fā)明人】趙小虎, 謝博鈞, 粟寶衛(wèi), 翟宏峰
【申請人】上海和輝光電有限公司
【公開日】2016年5月18日
【申請日】2014年11月17日