工件的切斷方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種工件的切斷方法，該工件的切斷方法使用線鋸。
【背景技術(shù)】
[0002] 近年來，期望半導(dǎo)體晶圓的大型化，隨著此大型化而使用專門用于切斷工件的線 鋸。
[0003] 線鋸是使鋼線（高張力鋼線）高速行進，在此一邊澆上漿液，一邊壓抵工件（例如， 以硅晶棒來舉例)而切斷，以同時切出多片晶圓的裝置(參照專利文獻1)。
[0004] 此處，在圖6中表示現(xiàn)有的通常的線鋸的一例的概要。
[0005] 如圖6所示，線鋸101，主要由下述構(gòu)件等所構(gòu)成:鋼線102,其用于切斷工件;線材 導(dǎo)件103,其卷繞有鋼線102;張力賦予機構(gòu)104,其用于賦予鋼線102張力；工件進給裝置 105，其送出要被切斷的工件;噴嘴106，其在切斷時用于供給漿液，該漿液是在冷卻劑中分 散混合有SiC微粉等磨粒而成的。
[0006] 鋼線102從一側(cè)的線滾動條（y彳亇1；一少求匕'^)107送出，經(jīng)由移車臺（卜歹，一 甘）1〇8,再經(jīng)過由磁粉離合器(定轉(zhuǎn)矩馬達109)或上下跳動滾筒(靜重）（未圖示）等所構(gòu)成 的張力賦予機構(gòu)104,進入線材導(dǎo)件103。鋼線102卷繞于此線材導(dǎo)件103約300~400次之后， 經(jīng)過另一側(cè)的張力賦予機構(gòu)104'而卷繞在線滾動條107'上。
[0007] 此外，線材導(dǎo)件103是在鋼鐵制圓筒的周邊壓入聚胺酯樹脂，并在其表面以一定的 間距切出溝槽而成的滾筒，卷繞的鋼線102可通過驅(qū)動用馬達110而以預(yù)定的周期在往復(fù)方 向上驅(qū)動。
[0008] 而且，在線材導(dǎo)件103與卷繞的鋼線102的附近，設(shè)有噴嘴106,在切斷時，可從該噴 嘴106供給漿液至線材導(dǎo)件103、鋼線102上。而且，在切斷后作為廢漿液而排出。
[0009] 使用這種線鋸101，使用張力賦予機構(gòu)104來將適當(dāng)?shù)匿摼€張力施加至鋼線102上， 并通過驅(qū)動用馬達110來使鋼線102在往復(fù)方向上行進，且一邊供給漿液一邊將工件切片， 由此得到所期望的切片晶圓。
[0010]此外，針對上述線鋸所使用的鋼線102,將用于切斷一個工件而供給的份量的鋼線 102的長度，稱為新線供給量。
[0011]鋼線102卷繞在線滾動條107上的長度是數(shù)百km的份量，利用卷繞在該線滾動條 107上的鋼線102來切斷多個工件。
[0012]在晶圓的制造成本中包含了鋼線的成本，當(dāng)要降低此費用時，有下述方法:利用減 少每一個工件所需要的新線供給量，來增加每一個線滾動條能夠切斷的工件個數(shù)。
[0013]例如，在卷繞有510km的線滾動條中，將每一個工件的切斷所使用的新線供給量設(shè) 為170km，就能夠進行3個工件的切斷。將每一個工件的切斷的新線供給量設(shè)為一半的85km， 由此同樣的鋼線的長度，即一個線滾動條能夠切斷的工件個數(shù)就能夠增加成6個。
[0014]這樣，減少每一個工件的切斷所使用的新線供給量，由此減少每一個工件的切斷 所使用的鋼線的量，所以能夠增加以一個線滾動條能夠切斷的工件個數(shù)，而能夠降低鋼線 的成本。
[0015] 現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0016] 專利文獻
[0017] 專利文獻1:日本專利公開平成10-86140號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0018] (一)要解決的技術(shù)問題
[0019] 但是，上述方法會有下述的問題點：相較于減少新線供給量之前，切斷工件時的鋼 線本身磨損的量，會對應(yīng)于所減少的新線供給量而變大，從而鋼線的直徑會變細。若鋼線的 直徑變細，則會使切斷后的晶圓質(zhì)量變差。
[0020] 將晶圓的翹曲，舉例作為評價晶圓質(zhì)量的代表。理想是切斷后的晶圓是平坦且翹 曲小。但是，若鋼線的直徑變細，則附著在鋼在線的漿液的保有量變少，使得切斷效率降低， 因此造成切斷后的晶圓的翹曲變大。
[0021] 此外，鋼線的直徑變細會使鋼線的抗斷強度降低，所以在工件的切斷中容易造成 鋼線的斷裂。
[0022] 若在工件的切斷中發(fā)生鋼線的斷裂，則切斷就會中斷，而需要許多功夫和時間來 進行恢復(fù)作業(yè)，從而使晶圓的生產(chǎn)效率顯著地降低。進一步，在造成鋼線斷裂時，切斷后的 晶圓質(zhì)量會大幅變差。因此，在工件的切斷中的鋼線斷裂，理想是盡量不要發(fā)生。
[0023]如上所述，作為減少每一個工件的切斷所使用的新線供給量的方法的替換方法， 有再次使用已使用過的鋼線的方法。將已使用在第一次工件的切斷中的已使用過的鋼線， 以相同條件再次使用，由此能夠增加以一個線滾動條能夠切斷的工件個數(shù)。
[0024]但是，若利用該方法而再次使用鋼線時，因為所述理由，已使用過的鋼線，在鋼線 的切斷時容易造成鋼線的斷裂。此外，會造成切斷后的晶圓的翹曲變大。
[0025]本發(fā)明是鑒于所述問題而完成的，其目的在于提供一種工件的切斷方法，其將已 使用在前次的工件的切斷中的使用過的鋼線，在與前次的切斷工件時的條件不同的條件下 再次切斷工件，而能夠一邊增加利用同一條鋼線可以切斷的工件的個數(shù)，一邊減少鋼線發(fā) 生斷裂的情況，并抑制晶圓翹曲的加重。
[0026](二)技術(shù)方案
[0027] 為了達成上述目的，根據(jù)本發(fā)明，提供一種工件的切斷方法，其利用螺旋狀地卷繞 在多個線材導(dǎo)件之間且沿軸方向行進的鋼線來形成鋼線列，并將工件壓抵至所述鋼線列來 實行所述工件的切斷，其中，將使用于前次的工件的切斷后的鋼線再次使用來切斷下一次 的工件，而且，該工件的切斷方法，相對于在所述前次的工件的切斷中的鋼線張力，將切斷 所述下一次的工件時的鋼線張力設(shè)為87~95%的范圍的值;并且，相對于所述切斷前次的 工件時的新線供給量，將所述切斷下一次的工件時的新線供給量設(shè)為125%以上的范圍的 值，而再次使用所述鋼線來切斷所述下一次的工件。
[0028] 即使是再次使用已使用于在工件的切斷后的鋼線時，利用一邊相對于前次使用時 的鋼線張力和新線供給量，將鋼線張力和新線供給量控制為上述的范圍的值，一邊實施下 一次的工件的切斷，由此能夠使鋼線的斷裂不容易發(fā)生，且抑制晶圓翹曲的加重，以使晶圓 質(zhì)量保持在與前次的切斷時同等的程度。
[0029] 此時，優(yōu)選是在所述切斷下一次的工件時，相對于所述前次的工件的切斷中的工 件的進給速度，將工件的進給速度設(shè)為83~91 %的范圍的值。
[0030] 若這樣做，即使在將使用過的鋼線再次使用來實行工件的切斷時，也能夠更切實 地抑制切斷后的晶圓翹曲的加重。
[0031] (三)有益效果
[0032] 如果是本發(fā)明的工件的切斷方法，將使用過的鋼線再次使用，由此能夠大幅地增 加以同一條鋼線可以切斷的工件的個數(shù)，從而能夠大幅削減鋼線的成本。進一步，在再次使 用鋼線時，以本發(fā)明的方式將鋼線張力和新線供給量控制在適當(dāng)?shù)姆秶衼韺嵭星袛?，?能夠抑制鋼線的斷裂的發(fā)生率和切斷后的晶圓的質(zhì)量的變差，從而能夠得到一種與前次的 切斷同等品質(zhì)的晶圓。
【附圖說明】
[0033] 圖1是表示本發(fā)明的工件的切斷方法的一例的流程圖。
[0034] 圖2是表示在本發(fā)明的工件的切斷方法中所使用的線鋸的一例的概略圖。
[0035]圖3是表示在本發(fā)明的工件的切斷方法中所使用的線鋸中的工件進給裝置的一例 的概略圖。
[0036]圖4是表示在再次使用鋼線時的晶圓的翹曲與鋼線張力的關(guān)系的圖。
[0037]圖5是表示在再次使用鋼線時的鋼線抗斷強度與新線供給量的關(guān)系的圖。
[0038] 圖6是表示通常的線鋸的一例的概略圖。
【具體實施方式】
[0039] 下面，針對本發(fā)明的實施方式進行說明，但是本發(fā)明并不被限定于此。
[0040] 如上述說明，在將已使用在一次工件的切斷中的鋼線再次使用時，因為鋼線的直 徑變細，所以會有鋼線斷裂、晶圓質(zhì)量變差的問題。
[0041] 因此，本發(fā)明人為了解決這種問題而進行深入的研究。其結(jié)果是，想到下述技術(shù)而 完成本發(fā)明。即，在將已使用在一次工件的切斷中的鋼線再次使用時，相對于在前次的工件 的切斷時的鋼線張力和新線供給量，若分別將鋼線張力和新線供給量設(shè)為87~95%的范圍 的值和125%以上的范圍的值來進行工件的切斷，就能夠抑制鋼線的斷裂和晶圓質(zhì)量的變 差。
[0042]下面，參照圖1~3來說明本發(fā)明的工件的切斷方法，在下述中，當(dāng)將已使用在第一 次工件的切斷中的鋼線再次使用而實施第二次的工件的切斷時，針對適用本發(fā)明的工件的 切斷方法的情況來進行說明。
[0043] 首先，一邊參照圖2,一邊針對在本發(fā)明的工件的切斷方法中所使用的線鋸1進行 說明。
[0044] 如圖2所示，線鋸1主要由下述構(gòu)件等所構(gòu)成:鋼線2,其用于切斷工件W;線材導(dǎo)件 3;鋼線張力賦予機構(gòu)4、4 '，其用于賦予鋼線2張力；工件進給裝置5，其一邊保持工件W-邊 相對地將工件壓下;噴嘴6，其在切斷時用于將加工液供給至鋼線2。
[0045] 鋼線2從一側(cè)的線滾動條7送出，經(jīng)由移車臺13,再經(jīng)過由磁粉離合器(定轉(zhuǎn)矩馬達 14)或上下跳動滾筒(靜重）（未圖示)等所構(gòu)成的鋼線張力賦予機構(gòu)4,進入線材導(dǎo)件3。鋼線 2卷繞于多個線材導(dǎo)件3上約300~400次以形成鋼線列16。鋼線2經(jīng)過另一側(cè)的鋼線張