觀察窗及真空處理裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及工業(yè)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種觀察窗及真空處理裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]真空處理設(shè)備等工業(yè)設(shè)備上經(jīng)常設(shè)置有一些石英觀察窗，用來觀察設(shè)備內(nèi)部的工藝狀況，運行一段時間后，觀察窗內(nèi)表面會被工藝副產(chǎn)物附著而模糊，因此需要更換。
[0003]觀察窗的安裝過程一般包括如下步驟:石英板先放入其固定裝置中，再放入用于防輻射的金屬網(wǎng)，此時金屬網(wǎng)與固定裝置厚度差不多位于同一水平位置，直接將其扣在腔室壁上，再拿螺母將其固定在腔室壁上。固定過程中，如果僅一人操作，很容易因為固定裝置沒有扣好，導(dǎo)致其中的石英板掉出來摔碎。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]基于此，有必要針對觀察窗不容易安裝的問題，提供一種安裝簡單、方便的觀察窗及真空處理裝置。
[0005]一種觀察窗，用于安裝在主設(shè)備上，以觀察所述主設(shè)備的內(nèi)腔，包括固定框、透光板和推桿；
[0006]所述固定框用于固定在所述主設(shè)備上；所述固定框朝向所述主設(shè)備的一側(cè)開設(shè)有凹槽，所述凹槽的底部開設(shè)有通孔；
[0007]所述透光板設(shè)置在所述凹槽內(nèi)，且所述透光板的形狀與所述凹槽相適配；
[0008]所述推桿設(shè)置于所述通孔內(nèi)，所述推桿用于推動所述透光板。
[0009]在其中一個實施例中，還包括金屬網(wǎng)，所述金屬網(wǎng)位于所述凹槽內(nèi)，且所述金屬網(wǎng)的形狀與所述凹槽相適配；
[0010]所述金屬網(wǎng)與所述透光板層疊設(shè)置，所述凹槽的深度大于所述金屬網(wǎng)與所述透光板的厚度之和。
[0011]在其中一個實施例中，所述推桿的數(shù)量為多個，至少一個所述推桿的外部設(shè)置有外螺紋，與具有所述外螺紋的所述推桿對應(yīng)的通孔的內(nèi)壁上設(shè)置有與所述外螺紋相適配的內(nèi)螺紋。
[0012]在其中一個實施例中，所述推桿包括第一推桿、第二推桿和第三推桿，所述第一推桿、第二推桿和第三推桿順序排列，所述第二推桿為螺桿。
[0013]在其中一個實施例中，所述固定框還開設(shè)有窗口，所述窗口位于所述凹槽的底部。
[0014]在其中一個實施例中，所述凹槽的底部為透明的。
[0015]在其中一個實施例中，所述透光板為石英板。
[0016]在其中一個實施例中，還包括螺栓；
[0017]所述固定框還開設(shè)有固定孔，所述固定孔的數(shù)量至少為兩個，至少兩個所述固定孔分布于所述凹槽的周邊；
[0018]所述螺栓穿過所述固定孔，用于連接所述主設(shè)備。
[0019]一種真空處理裝置，包括主設(shè)備和所述觀察窗；
[0020]所述主設(shè)備形成有內(nèi)腔，及連通所述內(nèi)腔的開口 ；
[0021]所述觀察窗安裝在所述主設(shè)備上，所述透光板覆蓋所述開口處，以觀察所述主設(shè)備的內(nèi)腔。
[0022]在其中一個實施例中，所述主設(shè)備的外側(cè)開設(shè)有環(huán)繞所述開口的環(huán)形槽，所述環(huán)形槽的位置與所述透光板相對應(yīng)；
[0023]所述真空處理裝置還包括密封圈，所述密封圈設(shè)置在所述環(huán)形槽內(nèi)，將所述透光板與所述主設(shè)備之間的空隙密封。
[0024]上述觀察窗及真空處理裝置，在安裝過程中，先將透光板設(shè)置在所述凹槽內(nèi)，之后將固定框固定在主設(shè)備上，此時透光板無需與主設(shè)備固定，固定框與主設(shè)備固定后，再通過推桿將透光板推向主設(shè)備，使透光板與主設(shè)備固定，完成安裝。上述觀察窗及真空處理裝置，降低了操作難度，透光板不容易掉落摔碎，提高了安全性，且節(jié)約成本。安裝過程簡單、方便，提高了工作效率。
【附圖說明】
[0025]圖1為一實施例觀察窗的示意圖；
[0026]圖2為一實施例真空處理裝置的示意圖。
【具體實施方式】
[0027]為了便于理解本實用新型，下面將參照相關(guān)附圖對觀察窗及真空處理裝置進行更全面的描述。附圖中給出了觀察窗及真空處理裝置的首選實施例。但是，觀察窗及真空處理裝置可以以許多不同的形式來實現(xiàn)，并不限于本文所描述的實施例。相反地，提供這些實施例的目的是使對觀察窗及真空處理裝置的公開內(nèi)容更加透徹全面。
[0028]除非另有定義，本文所使用的所有的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語與屬于本實用新型的技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員通常理解的含義相同。本文中在觀察窗及真空處理裝置的說明書中所使用的術(shù)語只是為了描述具體的實施例的目的，不是旨在于限制本實用新型。
[0029]如圖1所示，一實施方式的觀察窗100包括固定框120、透光板140和推桿160，觀察窗100用于安裝在主設(shè)備上，以觀察主設(shè)備的內(nèi)腔。其中，固定框120用于固定在主設(shè)備上。固定框120朝向主設(shè)備的一側(cè)開設(shè)有凹槽122，凹槽122的底部開設(shè)有通孔。透光板140為透明或半透明板，透光板140設(shè)置在凹槽122內(nèi)，且透光板140的形狀與凹槽122相適配。推桿160設(shè)置于通孔內(nèi)，推桿160用于推動透光板140。
[0030]觀察窗100在安裝過程中，先將透光板140設(shè)置在凹槽122內(nèi)，之后將固定框120固定在主設(shè)備上，此時透光板140無需與主設(shè)備固定，固定框120與主設(shè)備固定后，再通過推桿160將透光板140推向主設(shè)備，使透光板140與主設(shè)備固定，完成安裝。相對于傳統(tǒng)技術(shù)方案，凹槽122可以更深，增加了透光板140在固定框120內(nèi)的自由活動范圍，透光板140就不容易掉出來。觀察窗100的設(shè)計，降低了操作難度，透光板140不容易掉落摔碎，提高了安全性，且節(jié)約成本。安裝過程簡單、方便，提高了工作效率。
[0031]在其中一個實施例中，觀察窗100還可以包括用于防輻射的金屬網(wǎng)180，金屬網(wǎng)180位于凹槽122內(nèi)，且金屬網(wǎng)180的形狀與凹槽122相適配。金屬網(wǎng)180與透光板140層疊設(shè)置，凹槽122的深度大于金屬網(wǎng)180與透光板140的厚度之和。金屬網(wǎng)180可以位于透光板140的任意一側(cè)，在金屬網(wǎng)180位于透光板140與凹槽122的底之間的實施例中，凹槽122的底與金屬之間還可以設(shè)置一透明層130，防止推桿160推動時損壞金屬網(wǎng)180。
[0032]在其中一個實施例中，固定框120還開設(shè)有固定孔，固定孔的數(shù)量至少為兩個，至少兩個固定孔分布于凹槽122的周邊。觀察窗100還可以包括螺栓150，螺栓150穿過固定孔，用于連接主設(shè)備。在其他實施例中，固定框120也可以通過