生產氮化硼制品的氣相沉積爐的集成旋轉模塊的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種氣相沉積爐，具體涉及一種生產氮化硼制品的氣相沉積爐的集成旋轉模塊。
【背景技術】
[0002]生產氮化硼制品的工藝中需要使用到氣相沉積爐，常規(guī)的氣相沉積爐一般采用旋轉的結構使模具在爐體內部進行公轉，在加熱的條件下進行氣相沉積，而由于只能夠進行公轉，使得模具和產品的受熱不夠均勻，在氣相沉積過程中容易產生殘次品，造成氮化硼制品的質量不穩(wěn)定。所以，需要設計出一種能夠將模具進行高效公轉和自轉的集成旋轉模塊，確保氮化硼制品的產品質量和穩(wěn)定性，提高氣相沉積爐的生產效率。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型需要解決的技術問題就在于克服現(xiàn)有技術的缺陷，提供一種生產氮化硼制品的氣相沉積爐的集成旋轉模塊，它能夠實現(xiàn)模具的自轉和公轉同時旋轉，能夠使氮化硼制品的氣相沉積作業(yè)更加高效和均勻，提高生產效率，確保產品質量；并且旋轉的能耗低、結構簡單，工作成本和后期維護成本低，工作穩(wěn)定高效。
[0004]為解決上述問題，本實用新型采用如下技術方案:
[0005]生產氮化硼制品的氣相沉積爐的集成旋轉模塊，包括沉積爐的圓柱體形爐體，爐體的頂壁為吊盤，吊盤上設有排氣口，爐體的底板上設有進氣口，還包括頂壁下方的階梯型上行外齒套，頂壁中央設有豎向的旋轉軸，旋轉軸下部圓周外側套接于階梯型上行外齒套的豎向中軸線上，旋轉軸下端的圓周外側通過鎖緊螺母與階梯型上行外齒套的下端固定連接；旋轉軸的轉動帶動階梯型上行外齒套與旋轉軸一起轉動；
[0006]旋轉軸圓周外側的階梯型上行外齒套上設有若干個豎向呈環(huán)形并列設置的一級旋轉桿，一級旋轉桿外側的階梯型上行外齒套上設有若干個豎向呈環(huán)形并列設置的二級旋轉桿，二級旋轉桿外側的階梯型上行外齒套上設有若干個豎向呈環(huán)形并列設置的三級旋轉桿；所有一級旋轉桿排列呈現(xiàn)的環(huán)形、所有二級旋轉桿排列呈現(xiàn)的環(huán)形、所有三級旋轉桿排列呈現(xiàn)的環(huán)形的軸線與旋轉軸的軸線重合；
[0007]所述一級旋轉桿、二級旋轉桿、三級旋轉桿的上部均通過軸承與階梯型上行外齒套轉動連接；旋轉軸通過驅動機構驅動階梯型上行外齒套和所有的一級旋轉桿、二級旋轉桿、三級旋轉桿轉動；一級旋轉桿、二級旋轉桿、三級旋轉桿能過通過軸承與階梯型上行外齒套發(fā)生相對轉動，實現(xiàn)旋轉桿的自轉；
[0008]一級旋轉桿、二級旋轉桿、三級旋轉桿上端的高度從上至下依次為一級旋轉桿、二級旋轉桿、三級旋轉桿；
[0009]每個一級旋轉桿、二級旋轉桿、三級旋轉桿的上端分別設有一級齒輪、二級齒輪和三級齒輪；
[0010]吊盤的下側面設置有外套件，外套件設置于階梯型上行外齒套的圓周外側；外套件下部的內側設有圓環(huán)形的三階內齒套，外套件中部的內側面設有圓環(huán)形的二階內齒套，外套件上部的內側面設有圓環(huán)形的一階內齒套，所述三階內齒套、二階內齒套和一階內齒套分別與三級齒輪、二級齒輪和一級齒輪的遠旋轉軸的側面嚙合。這樣，當轉軸驅動階梯型上行外齒套轉動時，所有的旋轉桿隨著轉動體進行公轉，同時，三階內齒套、二階內齒套和一階內齒套分別驅動三級齒輪、二級齒輪和一級齒輪轉動，使所有的一級旋轉桿、二級旋轉桿、三級旋轉桿進行自轉；這樣，在所有的旋轉桿發(fā)生自轉和公轉時，帶動旋轉桿上的模具和待加工產品進行公轉和自轉，提高氣相沉積爐的沉積效果和產品質量。
[0011]優(yōu)選的，一級旋轉桿、二級旋轉桿、三級旋轉桿的中部和下部設有用于懸掛模具的掛架。
[0012]優(yōu)選的，旋轉軸的上端通過傳動皮帶與步進電機的輸出軸配合。
[0013]進一步的，步進電機通過減速機驅動旋轉軸轉動。步進電機驅動旋轉軸和階梯型上行外齒套發(fā)生公轉。
[0014]優(yōu)選的，外套件與吊盤的下側面固定連接。
[0015]優(yōu)選的，階梯型上行外齒套上均布設置有6個一級旋轉桿、12個二級旋轉桿和16個三級旋轉桿。
[0016]優(yōu)選的，一級旋轉桿、二級旋轉桿和三級旋轉桿的直徑均為10cm。
[0017]優(yōu)選的，旋轉軸的直徑為20cm左右或更大，視吊件重量而定。
[0018]優(yōu)選的，所有一級旋轉桿的軸線排列呈現(xiàn)的環(huán)形的直徑為70cm ;所有二級旋轉桿的軸線排列呈現(xiàn)的環(huán)形的直徑為130cm ;所有三級旋轉桿的軸線排列呈現(xiàn)的環(huán)形的直徑為190cm ;爐體的直徑為240cm。
[0019]優(yōu)選的，爐體的內壁上設有加熱模塊。加熱模塊為電加熱模塊，為氣相沉積爐提供高溫環(huán)境。
[0020]本實用新型的優(yōu)點和有益效果為:
[0021]本實用新型生產氮化硼制品的氣相沉積爐的集成旋轉模塊，能夠實現(xiàn)模具的自轉和公轉同時旋轉，能夠使氮化硼制品的氣相沉積作業(yè)更加高效和均勻，提高生產效率，確保產品質量；
[0022]本實用新型生產氮化硼制品的氣相沉積爐的集成旋轉模塊，旋轉的能耗低、結構簡單，工作成本和后期維護成本低，工作穩(wěn)定高效；
[0023]本實用新型生產氮化硼制品的氣相沉積爐的集成旋轉模塊，采用內齒套驅動齒輪和旋轉桿轉動，實現(xiàn)旋轉桿的自轉，整套結構只需要旋轉軸的驅動，使得驅動機構簡單高效，節(jié)約能耗，降低設備復雜程度，便于沉積爐的高效運行和后期維護。
【附圖說明】
[0024]圖1為本實用新型生產氮化硼制品的氣相沉積爐的集成旋轉模塊的結構示意圖。
[0025]圖2為本實用新型階梯型上行外齒套的結構示意圖。
[0026]圖3為圖1中AA線剖視圖。
[0027]圖4為圖1中B部分局部放大圖。
[0028]圖中:1、三階內齒套；2、排氣口 ；3、三級旋轉桿；4、三級齒輪；5、二階內齒套；6、吊盤；7、二級旋轉桿；8、二級齒輪；9、一階內齒套；10、一級旋轉桿；11、一級齒輪；12、旋轉軸；13、外套件；14、鎖緊螺母；15、進氣口 ；16、加熱模塊；17、爐體；18、階梯型上行外齒套。
【具體實施方式】
[0029]實施例1
[0030]如圖1至圖4所示，本實用新型為生產氮化硼制品的氣相沉積爐的集成旋轉模塊，包括沉積爐的圓柱體形爐體17，爐體17的頂壁為吊盤6，吊盤6上設有排氣口 2，爐體17的底板上設有進氣口 15，還包括頂壁下方的階梯型上行外齒套18，頂壁中央設有豎向的旋轉軸12，旋轉軸12下部圓周外側套接于階梯型上行外齒套18的豎向中軸線上，旋轉軸12下端的圓周外側通過鎖緊螺母14與階梯型上行外齒套18的下端固定連接；旋轉軸12的轉動帶動階梯型上行外齒套18與旋轉軸12 —起轉動；
[0031]旋轉軸12圓周外側的階梯型上行外齒套18上設有6個豎向呈環(huán)形并列設置的一級旋轉桿10，一級旋轉桿10外側的階梯型上行外齒套18上設有12個豎向呈環(huán)形并列設置的二級旋轉桿7，二級旋轉桿7外側的階梯型上行外齒套18上設有16個豎向呈環(huán)形并列設置的三級旋轉桿3 ;所有一級旋轉桿10排列呈現(xiàn)的環(huán)形、所有二級旋轉桿7排列呈現(xiàn)的環(huán)形、所有三級旋轉桿3排