掩模板的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及掩模板制作技術領域，特別是涉及一種掩模板。
【背景技術】
[0002]OLED生產過程中最重要的一環(huán)節(jié)就是將有機層按照驅動矩陣的要求涂敷到基層上，形成關鍵的發(fā)光顯示單元。而高精度的涂敷技術是制約OLED產品化的關鍵因素。
[0003]目前在OLED生產中，主要采用的蒸鍍工藝，是至關重要的，即將有機材料通過真空蒸鍍高精度涂覆到基板上，形成發(fā)光顯示單元，這一過程必須要使用高精度金屬掩膜板。
[0004]蒸鍍工藝中用到的金屬掩膜板有開放式掩模板(Open Mask)和精細金屬掩模板(Fine Metal Mask)。傳統(tǒng)工藝在制作掩模板時，主要包括:
[0005]首先，如圖1所示，經過光刻刻蝕工藝制作出圖案金屬膜I。
[0006]然后，如圖2所示，用高精度的張網機設備將圖案金屬膜I張到精確位置時再焊接到金屬框架2上。
[0007]但是，傳統(tǒng)工藝在制作掩模板時，很容易產生張力F不均的情況，或著焊接產生的熱應力等問題，這都會造成圖案金屬膜位置精度不高，影響制得的掩模板的圖形精度。另夕卜，對于大尺寸掩模板，由于圖案金屬膜的質量較大，從而會在其自身重力作用下產生凹陷下垂，導致圖形扭曲，這對精度要求較高的蒸鍍過程而言，是極為不利的。鑒于此，業(yè)內亟需一種能夠解決此問題的技術方案。
【實用新型內容】
[0008]本實用新型的目的在于，提供一種掩模板，提高掩模板的精度。
[0009]為解決上述技術問題，本實用新型提供一種掩模板，包括:
[0010]框架，所述框架鏤空以形成有支撐條；以及
[0011]圖案金屬膜，所述圖案金屬膜具有開口，所述圖案金屬膜附在所述框架上，所述支撐條與所述開口相對應且暴露出所述開口。
[0012]可選的，對于所述的掩模板，所述支撐條包括第一支撐條和第二支撐條，所述第一支撐條位于圖案金屬膜中央區(qū)域下方，所述第二支撐條圍繞所述圖案金屬膜邊緣一周。
[0013]可選的，對于所述的掩模板，所述第二支撐條圍繞呈矩形。
[0014]可選的，對于所述的掩模板，所述第一支撐條包括橫向第一支撐條和縱向第一支撐條，所述橫向第一支撐條和縱向第一支撐條交叉相連接。
[0015]可選的，對于所述的掩模板，所述橫向第一支撐條的兩端連接至呈矩形的第二支撐條的一組對邊，所述縱向第一支撐條的兩端連接至呈矩形的第二支撐條的另一組對邊，所述橫向第一支撐條、縱向第一支撐條及第二支撐條連接呈矩形形狀。
[0016]可選的，對于所述的掩模板，所述第一支撐條和第二支撐條朝向圖案金屬膜的一面共平面。
[0017]可選的，對于所述的掩模板，所述第一支撐條的厚度小于第二支撐條的厚度。
[0018]可選的，對于所述的掩模板，所述第一支撐條的厚度為5-80_，所述第二支撐條的厚度為10-100mm。
[0019]可選的，對于所述的掩模板，所述圖案金屬膜的厚度為20-200 μ m。
[0020]本實用新型提供的掩模板，所述框架鏤空以形成有支撐條，所述圖案金屬膜附在所述框架上，相比現(xiàn)有技術，本實用新型具有以下一個或多個優(yōu)點:
[0021](I)避免了焊接工藝對掩模板造成的形變；
[0022](2)通過支撐條的存在，預防了由于重力作用所致的掩模板變形；
[0023](3)無需高精度張網設備，因此降低了制作成本和難度；
[0024](4)可靈活變更設計，不需要額外的光刻掩模板，因此也降低了成本。
【附圖說明】
[0025]圖1-圖2為現(xiàn)有技術中的掩模板制造過程中的結構示意圖；
[0026]圖3為本實用新型實施例中的掩模板的結構示意圖
[0027]圖4-圖9為本實用新型實施例中的掩模板在制造過程中的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0028]下面將結合示意圖對本實用新型的掩模板進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優(yōu)選實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本實用新型，而仍然實現(xiàn)本實用新型的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對于本領域技術人員的廣泛知道，而并不作為對本實用新型的限制。
[0029]為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公知的功能和結構，因為它們會使本實用新型由于不必要的細節(jié)而混亂。應當認為在任何實際實施例的開發(fā)中，必須做出大量實施細節(jié)以實現(xiàn)開發(fā)者的特定目標，例如按照有關系統(tǒng)或有關商業(yè)的限制，由一個實施例改變?yōu)榱硪粋€實施例。另外，應當認為這種開發(fā)工作可能是復雜和耗費時間的，但是對于本領域技術人員來說僅僅是常規(guī)工作。
[0030]本實用新型的中心思想是:提供一種掩模板，包括:框架，所述框架鏤空以形成有支撐條；然后將圖案金屬膜附在所述框架上。由此，本實用新型一方面避免了焊接工藝對掩模板造成的形變；另一方面由于支撐條的存在，預防了由于重力作用所致的掩模板變形。從而有效提尚了掩t旲板的精度。
[0031]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實用新型。根據(jù)下面說明和權利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。
[0032]下面對本實用新型做詳細介紹。請參考圖3，本實用新型的掩模板包括:
[0033]框架11，所述框架11鏤空以形成有支撐條；以及
[0034]圖案金屬膜13，圖案金屬膜13具有開口 131，圖案金屬膜13附在所述框架11上，所述支撐條與開口 131相對應且暴露出開口 131。
[0035]具體的，所述支撐條包括第一支撐條(112、113)和第二支撐條111，所述第一支撐條(112、113)位于圖案金屬膜13中央區(qū)域下方，第二支撐條111圍繞所述圖案金屬膜13邊緣一周，較佳的，第二支撐條111圍繞呈矩形。
[0036]進一步的，第一支撐條包括橫向第一支撐條112和縱向第一支撐條113，橫向第一支撐條112和縱向第一支撐條113交叉相連接。
[0037]橫向第一支撐條112的兩