[0027]可以理解，彈簧懸掛式牽引固定吸嘴，吸嘴吸取物品或放下物品是一個動態(tài)平衡的過程，一旦吸嘴吸附了硅片導致整體(吸嘴加硅片)重力增加，則吸嘴受到彈性連接件的拉力(豎直方向上的分力)也隨之增加，使得吸嘴和硅片立即恢復到到平衡狀態(tài)，在吸嘴放下硅片時也是同樣的原理，實現(xiàn)了吸嘴吸附硅片時在豎直方向上能夠軟著陸的效果。
[0028]在吸嘴2上連接有真空吸管4，該真空吸管4可拆卸地固定在吸嘴2上，當然，在其他實施例中真空吸管也可以與吸嘴采用一體成型結構。為了便于將真空吸管限制在基板平面內，以防止管線凌亂，妨礙設備運轉，容置區(qū)11向基板尾部延伸有用于容置真空吸管的容置槽12。真空吸管4置于容置槽12內，可以在容置槽12的中部位置設置凸起，使容置槽在該位置的槽寬變窄，容置槽12在凸起位置處的槽寬與真空吸管4的外徑匹配，使真空吸管嵌入在該容置槽的凸起之間，防止真空吸管4脫離容置槽12。
[0029]基板I的尾部是用于將基板固定在吸盤組基座上的固定部，該固定部上設有固定孔5?；迮c吸盤組基座之間的固定方式采用現(xiàn)有固定方式即可，如通過螺栓或通過插銷固定，此處不--贅述。
[0030]如圖1所示，本實施例中基板上容置區(qū)11和吸嘴2的數(shù)量分別為3，且三個容置區(qū)呈三角分布，能夠保證在較少吸嘴的情況下實現(xiàn)更佳的吸附效果，而且每個吸嘴2依然通過4根彈簧連接對應的容置區(qū)內壁，即以吸嘴2為中心的矩形的四個頂點位置(本實施中的附圖所示的彈簧狀態(tài)尚未連接在吸嘴2上)。吸嘴與彈簧間的連接方式，以及彈簧與容置區(qū)內壁的連接方式均是本領域技術人員根據(jù)現(xiàn)有技術可以實現(xiàn)的，此處不再贅述，在本實施例中吸嘴2的圓周方向均布設有用于彈簧掛接的連接孔22，而在容置區(qū)11內壁上設有凸起，該凸起上設有通孔111用于彈簧3另一端的掛接，本實施例采用此種彈簧連接方式，便于彈簧拆裝。
[0031]容置區(qū)11的內壁向其對應的吸嘴2方向延伸有隔筋13，隔筋13與容置區(qū)11內壁之間或隔筋與隔筋之間形成用于容置彈簧3的彈簧軌道112。本實施例中彈簧的數(shù)量為4，吸嘴2左右兩側各只有兩根彈簧3，因此在容置區(qū)11左右的內壁上各延伸出一個隔離筋13，便能夠分別于容置區(qū)11的左右側內壁形成四個彈簧軌道112，使得彈簧3能夠在彈簧軌道112內伸縮而不偏離該彈簧軌道，讓吸嘴更加平穩(wěn)的吸取硅片。當然可以理解，在彈簧數(shù)量較多的情況下，例如吸嘴左右側各有3根彈簧時，則隔離區(qū)在左右側分別需要延伸出2個隔離筋，其中一個彈簧軌道必然是由兩個隔離筋形成的。
[0032]實施例2:
[0033]由于在上述實施例1中，吸嘴是位于基板平面的容置區(qū)內，所以該吸盤的厚度會大幅度減小，從而為本實施例中實現(xiàn)密集型吸盤組結構提供條件。
[0034]如圖3所示，本實施例中，吸盤組結構包括一個基座9，基座9上層疊地設置有如上述實施例1中所述的彈性懸掛式吸盤10。
[0035]根據(jù)設備承重能力，本實施例中選擇20片吸盤的層疊，每兩片吸盤之間的距離可設計為8mm到15mm，具體在本實施例中相鄰兩片吸盤之間的距離為12mm，可保證對空間的合理利用；本圖實施例中的吸盤組結構可同時吸取20片薄片式物料，大幅的提升了工作效率，有利于集中取放物料。
[0036]以上對本實用新型實施例所提供的彈性懸掛式吸盤及吸盤組結構進行了詳細介紹，本文中應用了具體個例對本實用新型的原理及實施方式進行了闡述，以上實施例的說明只是用于幫助理解本實用新型的核心思想；同時，對于本領域的一般技術人員，依據(jù)本實用新型的思想，在【具體實施方式】及應用范圍上均會有改變之處，綜上所述，本說明書內容不應理解為對本實用新型的限制。
【主權項】
1.彈性懸掛式吸盤，其特征在于，包括:基板、吸嘴及至少兩根彈性連接件，吸嘴的開口方向與基板平面保持垂直，基板上開設有用于容置吸嘴和彈性連接件的容置區(qū)，每個彈性連接件的一端連接吸嘴，彈性連接件另一端連接容置區(qū)的內壁，吸嘴在基板平面上受到各彈性連接件的圓周向外的力保持平衡。
2.如權利要求1所述的彈性懸掛式吸盤，其特征在于，還包括連接于吸嘴上的真空吸管。
3.如權利要求2所述的彈性懸掛式吸盤，其特征在于，容置區(qū)向基板尾部延伸有用于容置真空吸管的容置槽。
4.如權利要求1所述的彈性懸掛式吸盤，其特征在于，所述彈性連接件為彈簧。
5.如權利要求4所述的彈性懸掛式吸盤，其特征在于，吸嘴兩側分別對稱設有兩根彈黃。
6.如權利要求1所述的彈性懸掛式吸盤，其特征在于，基板上容置區(qū)和吸嘴的數(shù)量分別為3，且容置區(qū)呈三角分布，每個吸嘴通過至少兩個彈性連接件連接對應的容置區(qū)內壁。
7.吸盤組結構，其特征在于，包括一個基座，基座上層疊地設置有如上述權利要求1至6中任意一項所述的彈性懸掛式吸盤。
【專利摘要】本實用新型公開了彈性懸掛式吸盤及吸盤組結構，該彈性懸掛式吸盤包括：基板、吸嘴及至少兩根彈性連接件，吸嘴開口方向與基板平面保持垂直，基板上開設有用于容置吸嘴和彈性連接件的容置區(qū)，每個彈性連接件的一端連接吸嘴，彈性連接件另一端連接容置區(qū)的內壁，吸嘴在基板平面上受到各彈性連接件的圓周向外的力保持平衡。彈性懸掛式吸盤的吸嘴采用彈性連接件拉緊懸掛固定在基板上，因此吸嘴在吸取物料時在豎直方向上或垂直基板的方向上都具有彈性裕度，實現(xiàn)了物料吸放的軟著陸。吸盤組結構采用上述的彈性懸掛式吸盤層疊固定方式，各吸盤間距可進一步縮減，適合薄片物料的疊加吸取，使整個吸盤組結構的空間占用減小，實現(xiàn)集中吸取物料。
【IPC分類】C23C16-458
【公開號】CN204529978
【申請?zhí)枴緾N201520109367
【發(fā)明人】朱光, 孟東方
【申請人】深圳光遠智能裝備股份有限公司
【公開日】2015年8月5日
【申請日】2015年2月13日