布?xì)夤艿闹谱鞣椒?br>【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及鍍膜裝置技術(shù)領(lǐng)域，特別地，涉及一種布?xì)夤堋?br>【背景技術(shù)】
[0002]磁控濺射鍍膜技術(shù)由于具有濺射速率高、沉積速率高、沉積溫度低、薄膜質(zhì)量好等特點(diǎn)，所以得到廣泛的應(yīng)用。濺射過(guò)程中，制程氣體的均勻性對(duì)膜層的均勻性至關(guān)重要，因此制程氣體的布?xì)猸h(huán)境和布?xì)夥绞匠蔀樵O(shè)計(jì)重要考慮的問(wèn)題。通常情況下，制程氣體是通過(guò)減壓閥及空氣濾芯過(guò)濾后進(jìn)入真空室內(nèi)的布?xì)夤埽細(xì)夤芡ǔ２捎瞄_(kāi)孔或開(kāi)口的形式使得氣體向外發(fā)散。
[0003]目前，現(xiàn)有的布?xì)夤芤话阌梢桓鶊A柱形或方柱形的內(nèi)部掏空的金屬管構(gòu)造而成，布?xì)夤艿囊欢俗鳛闅怏w入口通氣，其另一端密閉，氣體由氣體入口進(jìn)入后從布?xì)夤苓吘壦闹艿拈_(kāi)孔或開(kāi)口處噴出；或者布?xì)夤苡山饘俸附臃绞交虬纪共劭ń拥姆绞阶龀蒚形管，T形管的一端進(jìn)氣，對(duì)應(yīng)的另外一端均勻出氣。
[0004]當(dāng)布?xì)夤苡蓛?nèi)部掏空的金屬管構(gòu)造而成時(shí)，當(dāng)其在磁控濺射環(huán)境下長(zhǎng)時(shí)間使用后，布?xì)夤鼙韺訒?huì)粘附一層很厚的膜層且膜層容易脫落，從而對(duì)腔體造成一定的污染，影響腔體的潔凈度，也使得濺射得到的膜層針孔漏光多，致密性差，因此，需定期拆卸布?xì)夤苓M(jìn)行噴砂處理，即在高壓狀態(tài)下用白剛玉砂等砂子對(duì)布?xì)夤艿谋砻孢M(jìn)行噴射，以去除其表面的膜層，同時(shí)使得布?xì)夤鼙砻娲植?，增加濺射到布?xì)夤鼙砻婺拥恼掣搅Γ捎诓細(xì)夤転橐惑w結(jié)構(gòu)，噴砂處理時(shí)由噴氣口進(jìn)入內(nèi)部的砂子無(wú)法全部清理干凈，從而無(wú)法保證布?xì)夤軆?nèi)部的潔凈度；另外，常規(guī)濺射時(shí)，靶材濺射區(qū)域反濺的灰塵較多，噴氣口周圍部分會(huì)被濺射物熏至灰褐色甚至延伸至布?xì)夤軆?nèi)部，長(zhǎng)時(shí)間積累會(huì)對(duì)布?xì)夤軆?nèi)壁造成污染，由于布?xì)夤転橐惑w結(jié)構(gòu)，從而無(wú)法對(duì)布?xì)夤艿膬?nèi)壁進(jìn)行衛(wèi)生處理；當(dāng)布?xì)夤転門(mén)形管時(shí)，由于整個(gè)布?xì)夤芴幵跒R射環(huán)境中，反濺物會(huì)通過(guò)焊接處的孔或縫隙熏到內(nèi)部，金屬焊接處由于沒(méi)有打磨處理極易藏污納垢，造成污染，且凸凹槽卡牢處長(zhǎng)時(shí)間使用后，由于受損或機(jī)械力作用變形，使得布?xì)夤艹霈F(xiàn)漏氣情況。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型提供了一種布?xì)夤?，以解決現(xiàn)有的布?xì)夤艽嬖诘臒o(wú)法進(jìn)行噴砂等維護(hù)處理，無(wú)法對(duì)布?xì)夤軆?nèi)進(jìn)行衛(wèi)生處理，金屬焊接處容易藏污納垢，布?xì)夤苋菀茁獾募夹g(shù)問(wèn)題。
[0006]本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下:
[0007]—種布?xì)夤?，包括呈柱體狀的管體，管體的外周壁上具有第一平面，第一平面沿管體的長(zhǎng)度方向延伸，第一平面上加工有用于輸送氣體的第一凹槽，第一凹槽沿管體的長(zhǎng)度方向延伸，管體的一端加工有與第一凹槽連通的進(jìn)氣通道，管體的外周壁上加工有多個(gè)與第一凹槽連通的出氣孔；第一平面上可拆卸地連接有用于封堵第一凹槽的蓋板。
[0008]進(jìn)一步地，蓋板通過(guò)多個(gè)連接件與管體可拆卸連接；連接件為沉頭螺釘，沉頭螺釘穿過(guò)管體后嵌入蓋板內(nèi)以將管體和蓋板相連。
[0009]進(jìn)一步地，多個(gè)出氣孔沿管體的長(zhǎng)度方向間隔布置，且每個(gè)出氣孔均與第一凹槽槽底的寬度方向的中心連通。
[0010]進(jìn)一步地，第一平面和蓋板之間設(shè)有用于防止第一凹槽內(nèi)的氣體由兩者接觸處的縫隙向外泄露的密封件。
[0011]進(jìn)一步地，第一平面上加工有用于安裝密封件的第二凹槽，第二凹槽呈環(huán)狀且圍設(shè)于第一凹槽外；密封件為環(huán)形密封圈，密封件卡設(shè)于第二凹槽內(nèi)。
[0012]進(jìn)一步地，第二凹槽的截面呈“U”型，密封件的截面呈與第二凹槽的截面相適應(yīng)的形狀。
[0013]進(jìn)一步地，蓋板上與第一平面貼合的面上設(shè)有嵌入第一凹槽內(nèi)的凸條，凸條沿蓋板的長(zhǎng)度方向延伸且與第一凹槽相適應(yīng)。
[0014]進(jìn)一步地，管體為方形管，第一平面與管體的一個(gè)側(cè)面重合，蓋板為與管體相配合的方型板，方型板的與管體相連的上表面上加工有凸條。
[0015]本實(shí)用新型具有以下有益效果:
[0016]由于蓋板與管體的第一平面可拆卸連接，故本實(shí)用新型的布?xì)夤芸刹鹦?，從而可以定期?duì)布?xì)夤苓M(jìn)行噴砂處理和內(nèi)壁的衛(wèi)生處理，定期檢查布?xì)夤軆?nèi)部的衛(wèi)生情況，保證布?xì)夤軆?nèi)部的潔凈度；
[0017]蓋板與管體可拆卸連接，不存在焊接等情況，因此布?xì)夤軣o(wú)藏污納垢的可能；
[0018]由于管體的外周壁上加工有多個(gè)與第一凹槽連通的出氣孔，故而可以根據(jù)產(chǎn)品的均勻性情況堵塞部分出氣孔，方便的優(yōu)化布?xì)饩鶆蛐浴?br>[0019]除了上面所描述的目的、特征和優(yōu)點(diǎn)之外，本實(shí)用新型還有其它的目的、特征和優(yōu)點(diǎn)。下面將參照?qǐng)D，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。
【附圖說(shuō)明】
[0020]構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分的附圖用來(lái)提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0021]圖1是本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的布?xì)夤艿慕Y(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖2是圖1中的A-A向剖視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖3是圖1中的管體的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖4是圖3中的B-B向剖視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖5是圖1中的蓋板的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026]圖例說(shuō)明
[0027]1、管體;101、第一平面;102、第一凹槽;103、進(jìn)氣通道;104、出氣孔;105、第二凹槽；2、蓋板；201、凸條；3、密封件；4、連接件。
【具體實(shí)施方式】
[0028]以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，但是本實(shí)用新型可以由權(quán)利要求限定和覆蓋的多種不同方式實(shí)施。
[0029]如圖1、圖2和圖4所示，本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例提供了一種布?xì)夤?，包括呈柱體狀的管體1，管體I的外周壁上具有第一平面101，第一平面101沿管體I的長(zhǎng)度方向延伸，第一平面101上加工有用于輸送氣體的第一凹槽102，第一凹槽102沿管體I的長(zhǎng)度方向延伸，管體I的一端加工有與第一凹槽102連通的進(jìn)氣通道103，管體I的外周壁上加工有多個(gè)與第一凹槽102連通的出氣孔104 ;第一平面101上可拆卸地連接有用于封堵第一凹槽102的蓋板2。采用本實(shí)用新型的布?xì)夤馨l(fā)散制程氣體時(shí)，通過(guò)減壓閥和空氣濾芯過(guò)濾后的氣體首先由管體I上的進(jìn)氣通道103進(jìn)入第一凹槽102內(nèi)，然后再由出氣孔104向外發(fā)散。由于蓋板2與管體I的第一平面101可拆卸連接，故本實(shí)用新型的布?xì)夤芸刹鹦?，從而可以定期?duì)布?xì)夤苓M(jìn)行噴砂處理和內(nèi)壁的衛(wèi)生處理，定期檢查布?xì)?