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      一種制備致密硫化鎘薄膜的裝置的制造方法_2

      文檔序號:10125367閱讀:來源:國知局
      029]圖2為本實用新型制備致密硫化鎘薄膜的裝置結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0030]其中:1水箱,2水,3反應(yīng)容器,4襯底,5反應(yīng)溶液,6磁子,7超聲波振子,8超聲波振板,9磁力攪拌器,10超聲波發(fā)生器。
      【具體實施方式】
      [0031]下面將對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清除完整的描述,顯然,所描述的實施例僅是本實用新型的其中一個實施例,而不是全部的實施例?;诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。
      [0032]實施例1:參照圖1所示,一種制備致密硫化鎘薄膜的裝置,該裝置的長度為10-20cm,寬度為10-20cm,高度為30_50cm,其主要所用材料為鋁、不銹耐酸鋼。
      [0033]本實用新型制備致密硫化鎘薄膜的裝置包括自上而下依次設(shè)置的:
      [0034]水箱1,該水箱1至少可放入一個500mL燒杯,且水箱1內(nèi)部裝有水2和反應(yīng)容器3,反應(yīng)容器3內(nèi)裝有至少一塊水平或垂直放置于反應(yīng)容器3內(nèi)的襯底4、反應(yīng)溶液5和磁子6,同時在水箱1底部設(shè)置四個超聲波振子7,且該超聲波振子7置于干燥干凈環(huán)境中,同時超聲波振子7可拆卸,可更換不同頻率,也可更改超聲波振子7數(shù)量,超聲波振子7越多,對應(yīng)的功率越大,參照圖2所示,也可以采用在水箱1內(nèi)部設(shè)有超聲波振板8代替水箱1底部的超聲波振子7,該超聲波振板8可直接放于水箱1內(nèi),無需固定;
      [0035]磁力攪拌器9,設(shè)于水箱1底部,并控制反應(yīng)溶液5溫度和磁子6轉(zhuǎn)速,保證反應(yīng)溶液5混合均勻,反應(yīng)速率、溫度、成品達到預(yù)期標準;
      [0036]以及超聲波發(fā)生器10,位于磁力攪拌器9下方,用于清洗掉樣品表面大顆粒和團簇,使得制備樣品顆粒均勻且附著牢固,磁力攪拌器9和超聲波發(fā)生器10可分開工作,也可同時工作,滿足不同制備需求。
      [0037]本實用新型在反應(yīng)容器3上設(shè)有漏斗和pH溫度計,同時在漏斗上塞有棉花,減少反應(yīng)溶液揮發(fā),避免pH值的快速改變對成膜造成影響,且pH溫度計包含測試反應(yīng)溶液pH和溫度的雙重功能。
      [0038]—種制備致密硫化鎘薄膜的方法,包括以下步驟:
      [0039]步驟1):反應(yīng)溶液的配制:根據(jù)待鍍膜的襯底面積和膜所需厚度配制反應(yīng)溶液,將鎘鹽、氨水、去離子水按一定比例混合制成反應(yīng)溶液,例如加入硫源后總反應(yīng)溶液的體積為300-500mL,其中鎘濃度為1-lOOmM,硫濃度為lO-lOOmM,氨水的體積為30_100mL,同時鎘鹽選自氯化鎘、硝酸鎘、硫酸鎘、醋酸鎘中的一種或多種;硫源選自硫化鈉、硫酸鈉、硫脲中的一種或多種。
      [0040]步驟2):將至少一塊襯底水平或垂直放置于反應(yīng)容器中,水平放置的襯底可以直接平躺于反應(yīng)容器底部,垂直襯底需夾子夾住,懸吊在反應(yīng)溶液中;
      [0041]步驟3):向反應(yīng)容器內(nèi)注入含有鎘鹽、氨水和去離子水的反應(yīng)溶液后,將反應(yīng)容器密封,同時反應(yīng)容器內(nèi)放有磁子,反應(yīng)容器上設(shè)有一個漏斗和一個pH溫度計;
      [0042]步驟4):將密封好的反應(yīng)容器浸入水箱中,打開超聲波發(fā)生器使得附著在襯底上的大顆粒和油污脫落,同時打開磁力攪拌器,使反應(yīng)溶液至合適的反應(yīng)溫度,反應(yīng)容器內(nèi)磁子在合適的轉(zhuǎn)速下攪拌溶液,當(dāng)反應(yīng)溶液的溫度達到反應(yīng)溫度50-90°C時,加入同溫度的硫源(該硫源加入反應(yīng)溶液前,置于加熱臺上加熱至反應(yīng)溫度),獲得總反應(yīng)溶液,調(diào)整并記錄pH值和溫度,利用超聲波發(fā)生器產(chǎn)生的閉合氣泡的機械能和磁子在磁場驅(qū)動下轉(zhuǎn)動產(chǎn)生的機械能攪拌反應(yīng)溶液,使得反應(yīng)容器內(nèi)薄膜樣品平整均勻附著于襯底上,有效減少大顆粒和油污的附著,反應(yīng)時間為15-45mins,直至在襯底上生長致密均勻的硫化鎘薄膜;
      [0043]步驟5):硫化鎘薄膜制備好后用超聲波清洗,氮氣吹干后制得致密硫化鎘薄膜,其厚度為40-80nm,帶隙為2_3eV0
      [0044]上述實施例只為說明本實用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點,其目的在于讓熟悉此項技術(shù)的人士能夠了解本實用新型的內(nèi)容并據(jù)以實施,并不能以此限制本實用新型的保護范圍。凡根據(jù)本實用新型精神實質(zhì)所作的等效變化或修飾,都應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
      【主權(quán)項】
      1.一種制備致密硫化鎘薄膜的裝置,其特征在于,包括自上而下依次設(shè)置的: 水箱,所述水箱內(nèi)部裝有水和反應(yīng)容器,所述反應(yīng)容器內(nèi)裝有至少一塊襯底、反應(yīng)溶液和磁子,同時在所述水箱底部設(shè)置至少一個超聲波振子或在所述水箱內(nèi)部設(shè)有超聲波振板; 磁力攪拌器,設(shè)于所述水箱底部,并控制所述反應(yīng)溶液溫度和所述磁子轉(zhuǎn)速; 以及超聲波發(fā)生器,位于磁力攪拌器下方。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備致密硫化鎘薄膜的裝置,其特征在于,在所述反應(yīng)容器上設(shè)有漏斗和pH溫度計。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備致密硫化鎘薄膜的裝置,其特征在于,所述襯底水平或垂直放置于所述反應(yīng)容器內(nèi)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備致密硫化鎘薄膜的裝置,其特征在于,所述裝置的長度為 10-20cm,寬度為 10-20cm,高度為 30_50cm。
      【專利摘要】<b>本實用新型公開了一種制備致密硫化鎘薄膜的裝置,包括自上而下依次設(shè)置的</b><b>:</b><b>水箱,所述水箱內(nèi)部裝有水和反應(yīng)容器,所述反應(yīng)容器內(nèi)裝有至少一塊襯底、反應(yīng)溶液和磁子,同時在所述水箱底部設(shè)置至少一個超聲波振子或在所述水箱內(nèi)部設(shè)有超聲波振板;磁力攪拌器,設(shè)于所述水箱底部,并控制所述反應(yīng)溶液溫度和所述磁子轉(zhuǎn)速;以及超聲波發(fā)生器,位于磁力攪拌器下方。本實用新型的優(yōu)點在于,不僅操作簡單,成品質(zhì)量高,成本低,穩(wěn)定性高,而且既能夠?qū)崿F(xiàn)對化學(xué)水浴法中反應(yīng)溶液的均勻充分攪拌,又能夠減少大顆粒和團簇的附著,有助生長均勻致密的大尺寸硫化鎘薄膜。</b>
      【IPC分類】C23C18/00
      【公開號】CN205035462
      【申請?zhí)枴緾N201520721634
      【發(fā)明人】吳京錦, 劉晨光, 趙策洲, 湯楚帆, 柳鋆
      【申請人】西交利物浦大學(xué)
      【公開日】2016年2月17日
      【申請日】2015年9月17日
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