一種硅片噴砂裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種硅片噴砂裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]硅片在生產(chǎn)過(guò)程中，將硅錠切割成硅片后部分硅片可能需要進(jìn)行噴砂處理，以利于硅片的后續(xù)處理。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中沒(méi)有專門針對(duì)硅片進(jìn)行噴砂處理的裝置，由于硅片生產(chǎn)過(guò)程中可能并不需要對(duì)所有硅片進(jìn)行噴砂，因此，現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)硅片進(jìn)行噴砂時(shí)均在生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)直接進(jìn)行，硅片噴砂處理過(guò)程中砂料回收率低，并且，由于噴砂時(shí)沒(méi)有防護(hù)措施，硅片的噴砂過(guò)程對(duì)環(huán)境影響大。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型提供的一種硅片噴砂裝置，旨在克服現(xiàn)有技術(shù)中硅片噴砂處理過(guò)程中砂料回收率低、噴砂過(guò)程對(duì)環(huán)境污染嚴(yán)重的不足。
[0005]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:一種硅片噴砂裝置，包括箱體，所述箱體內(nèi)設(shè)有將箱體分為上腔和下腔的隔板，所述隔板上開(kāi)設(shè)有排砂口，所述箱體上開(kāi)設(shè)有取放窗口，所述箱體上還開(kāi)設(shè)有觀察窗口，所述取放窗口和觀察窗口均與上腔相通，所述箱體上還固定有封閉觀察窗口的亞克力板，所述箱體上設(shè)有封閉取放窗口的密封板，所述箱體上焊接有兩根對(duì)密封板進(jìn)行定位的立柱，所述立柱分別位于取放窗口的兩側(cè)，所述立柱上開(kāi)設(shè)有供密封板上、下滑動(dòng)的滑槽，所述取放窗口的下端固定有對(duì)密封板進(jìn)行限位的限位臺(tái)，所述限位臺(tái)上開(kāi)設(shè)有容納密封板的容納槽，所述上腔的頂壁上還固定有照明燈，所箱體上還固定有控制照明燈的照明開(kāi)關(guān)，該硅片噴砂裝置還包括噴槍，所述噴槍位于上腔內(nèi)，所述下腔內(nèi)固定有噴砂器，所述排砂口與噴砂器之間通過(guò)排砂管連接，所述噴砂器通過(guò)噴砂管與噴槍連接，所述隔板上開(kāi)設(shè)有穿設(shè)噴砂管的通孔，所述噴砂器包括控制開(kāi)關(guān)，所述控制開(kāi)關(guān)位于上腔內(nèi)，所述控制開(kāi)關(guān)固定在隔板上，所述箱體上還開(kāi)設(shè)有兩個(gè)便于操作人員手持產(chǎn)品的手持窗口，所述手持窗口上固定有封閉手持窗口的手套，所述手套位于上腔內(nèi)。
[0006]上述構(gòu)成中，箱體內(nèi)設(shè)有將箱體分為上腔和下腔的隔板，在隔板上開(kāi)設(shè)有排砂口，位于箱體的下腔內(nèi)設(shè)有噴砂器，位于箱體的上腔內(nèi)設(shè)有噴槍，噴砂器與噴槍通過(guò)噴砂管連接，打開(kāi)噴砂器后噴砂器向噴槍供給砂料，將硅片置于上腔內(nèi)，利用噴槍對(duì)硅片進(jìn)行噴砂處理，未保留在硅片上的砂料則會(huì)由排砂口回收到噴砂器內(nèi)循環(huán)使用，砂料回收率高；
[0007]另外，箱體上設(shè)有取放窗口，取放窗口被密封板封閉，箱體上焊接有對(duì)密封板進(jìn)行定位的立柱，密封板滑動(dòng)連接在立柱上，密封板可以良好的封閉取放窗口，避免噴砂過(guò)程中砂料泄漏污染環(huán)境。
[0008]—種可選的方案，所述箱體上在位于取放窗口的兩側(cè)分別設(shè)有密封條，所述密封條的軸線與立柱的軸線平行，所述密封板上開(kāi)設(shè)有與密封條配合的密封槽。箱體上設(shè)置密封條、密封板上開(kāi)設(shè)密封槽，密封條與密封槽配合、密封板與滑槽配合形成迷宮式密封效果，優(yōu)化了密封板的密封性能。
[0009]—種可選的方案，所述隔板上在排砂口處設(shè)有伸入下腔的凸環(huán)，所述排砂管固定在凸環(huán)上。排砂管可以套接在凸環(huán)上以后再進(jìn)行固定，避免砂料由排砂口處泄漏，提高了砂料的回收利用率。
[0010]一種可選的方案，所述密封板上固定有便于操作人員打開(kāi)密封板的把手，所述把手通過(guò)粘接方式固定在密封板上。把手使得密封板操作方便，操作人員打開(kāi)密封板進(jìn)行取、放產(chǎn)品時(shí)操作更加方便。
[0011]—種可選的方案，所述箱體上還開(kāi)設(shè)有檢修噴砂器的檢修口，所述箱體上固定有封閉檢修口的門體，所述門體轉(zhuǎn)動(dòng)連接在箱體上。箱體上開(kāi)設(shè)檢修口，便于噴砂器的檢修；在檢修口上設(shè)置門體，可以避免無(wú)關(guān)人員操作噴砂器，噴砂器工作穩(wěn)定；另外，通過(guò)設(shè)置門體也可以避免噴砂器意外泄漏砂料時(shí)造成環(huán)境污染。
[0012]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的一種硅片噴砂裝置，具有如下優(yōu)點(diǎn):在箱體內(nèi)設(shè)置隔板，隔板將箱體分為上腔和下腔，噴槍、控制開(kāi)關(guān)、照明燈均位于上腔內(nèi)，下腔內(nèi)固定有噴砂器，隔板上開(kāi)設(shè)有排砂口，在下腔內(nèi)設(shè)置有噴砂器，排砂口通過(guò)排砂管與噴砂器連接，噴砂器通過(guò)噴砂管與噴槍連接，噴砂器對(duì)砂料進(jìn)行處理后經(jīng)噴砂管送至噴槍，操作人員通過(guò)取放窗口將產(chǎn)品置于上腔內(nèi)，然后利用噴槍對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行噴砂處理，噴砂過(guò)程中密封板將取放窗口密封，操作人員通過(guò)手持窗口將手伸入手套內(nèi)對(duì)位于上腔內(nèi)的產(chǎn)品進(jìn)行相關(guān)操作，由于控制開(kāi)關(guān)位于上腔內(nèi)，因此，只有在上述操作完成后操作人員才可以通過(guò)控制開(kāi)關(guān)打開(kāi)噴砂器，此時(shí)，取放窗口已經(jīng)被密封板封閉，大大減小了噴砂過(guò)程中砂料對(duì)環(huán)境的污染，另外，排砂口通過(guò)排砂管與噴砂器相接，砂料直接進(jìn)入噴砂器回收利用，大大提高了砂料的回收利用率。
【附圖說(shuō)明】
[0013]附圖1是本實(shí)用新型一種硅片噴砂裝置的主視圖；
[0014]附圖2是附圖1中A-A處剖視圖；
[0015]附圖3是附圖2中B-B處剖視圖；
[0016]附圖4是附圖3中C處的放大圖。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型的一種硅片噴砂裝置作進(jìn)一步說(shuō)明。如圖1、圖2、圖3、圖4所示，一種硅片噴砂裝置，包括箱體1，該箱體1包括架體和焊接在架體上的鋼板，所述箱體1內(nèi)設(shè)有將箱體1分為上腔3和下腔4的隔板2，所述隔板2通過(guò)焊接或可拆連接的方式固定在箱體1的側(cè)壁上，所述隔板2上開(kāi)設(shè)有排砂口 5 ;排砂口 5用于回收噴砂過(guò)程中未保留在廣品上的砂料；
[0018]參見(jiàn)圖1、圖2，所述箱體1上開(kāi)設(shè)有取放窗口 6，操作人員利用取放窗口 6將產(chǎn)品放入上腔3內(nèi)，或者將噴砂處理后的產(chǎn)品由上腔3內(nèi)取出，由于噴砂過(guò)程中上腔3應(yīng)保持密封狀態(tài)，因此產(chǎn)品僅能從取放窗口 6進(jìn)行取放，所述箱體1上還開(kāi)設(shè)有觀察窗口 7，所述取放窗口 6和觀察窗口 7均與上腔3相通，觀察窗口 7用于使操作人員觀察噴砂過(guò)程，所述箱體1上還固定有封閉觀察窗口 7的亞克力板8，當(dāng)然亞克力板8也可以由其它透明的板材代替；
[0019]所述箱體1上設(shè)有封閉取放窗口 6的密封板9，該密封板9也可以采用透明板材制造，參見(jiàn)圖2、圖3、圖4，所述箱體1上焊接有兩根對(duì)密封板9進(jìn)行定位的立柱10，所述立柱10分別位于取放窗口 6的兩側(cè)，即兩根立柱10分別位于取放窗口 6相對(duì)的兩側(cè)，所述立柱10上開(kāi)設(shè)有供密封板9上、下滑動(dòng)的滑槽11，所述滑槽11與密封板9配合以使密封板9可以上、下滑動(dòng)，所述取放窗口 6的下端固定有對(duì)密封板9進(jìn)行限位的限位臺(tái)12，所述限位臺(tái)12上開(kāi)設(shè)有容納密封板9的容納槽，限位臺(tái)12用于對(duì)密封板9進(jìn)行限位，避免密封板9在重力作用下脫離滑槽11，當(dāng)然，該限位臺(tái)12也可以為隔板2代替，也就是說(shuō)，由隔板2限制密封板9的最低位置；
[0020]取放窗口 6由于需要與外界相通，為了保證噴砂