的軸向平行的方向設(shè)置且支撐于壓塊93與支撐板8之間。具體的，伸縮部件包括2個彈簧伸縮桿96，彈簧伸縮桿96圍繞推力螺桿91對稱設(shè)置，每一彈簧伸縮桿96，將壓塊93與支撐板8連成一體。當(dāng)推力螺桿91旋轉(zhuǎn)著遠(yuǎn)離銅背板1時，在彈簧伸縮桿96的作用下，壓塊93隨著推力螺桿91 一并撤離銅背板1。容易理解的是，彈簧伸縮桿96的數(shù)量不僅可以為2，也可以取其它數(shù)值，只要彈簧伸縮桿96圍繞推力螺桿91的軸向均勻分布即可。此外，這里也可以采用其它具有伸縮功能的部件代替彈簧伸縮桿96，例如彈簧。在本實施例的板材安裝治具中，彈簧伸縮桿始終處于壓縮狀態(tài)。
[0042]為了防止壓塊93壓壞銅背板1的表面，在壓塊93遠(yuǎn)離支撐板8的一側(cè)設(shè)置有隔墊物97。隔墊物97貼附于壓塊93上、并由質(zhì)軟的材料形成，當(dāng)壓塊93壓向銅背板1的表面時，由壓塊93上的隔墊物97首先與銅背板1的表面接觸，防止壓塊93直接與銅背板1接觸。
[0043]為了使矯正單元對銅背板1進(jìn)行面矯正的效果更佳，優(yōu)選將多個矯正單元圍繞框架5的安裝中心點對稱設(shè)置。當(dāng)然也可以只設(shè)置一個上述矯正單元，此時將矯正單元優(yōu)選設(shè)置于框架5的安裝中心點可以獲得最佳的技術(shù)效果。
[0044]為了使板材安裝治具裝載銅背板1之后便于轉(zhuǎn)移，在框架5上設(shè)置有吊環(huán)6，可以通過繩索穿過吊環(huán)6，以便于起吊、轉(zhuǎn)移板材安裝治具。
[0045]為了使板材安裝治具裝載銅背板1之后便于安裝在磁控濺射鍍膜設(shè)備上，在框架5的下部設(shè)置有扶手7。
[0046]容易理解的是，本實施例的板材安裝治具除了運用于上述銅背板之外，還可以運用于其它需要面矯正的板材，例如鐵板、塑料板。
[0047]本實施例的板材安裝治具能夠固定、轉(zhuǎn)移板材以使板材便于安裝；還因為其具有矯正單元能夠?qū)Π惭b在磁控濺射鍍膜設(shè)備上的銅背板進(jìn)行面矯正，從而使所有安裝螺釘均能夠與銅背板連接，使銅背板安裝固定更牢固，更重要的是，能夠避免存在未連接固定的安裝螺釘碰撞磁鐵而造成磁鐵損壞；并且，矯正單元所包括的推力螺桿與支撐板采用螺紋連接，極大的降低了面矯正所需要的壓力。
[0048]實施例2:
[0049]本實施例提供一種板材安裝治具，其具有與實施例1的板材安裝治具類似的結(jié)構(gòu)，其與實施例1的區(qū)別在于矯正模塊所包括的壓桿為推力桿。
[0050]該板材安裝治具的具體結(jié)構(gòu)如圖6所示，支撐板8上具有壁面光滑的通孔，壓桿為推力桿92，推力桿92為側(cè)面光滑的圓柱形狀，推力桿92通過通孔穿過支撐板8且垂直支撐板8所在的平面。
[0051]在推力桿92相對于壓塊93的另一端固定有承壓手柄95，對承壓手柄95施加壓力可以控制推力桿92推動壓塊93壓平銅背板1的表面；撤去壓力之后，壓塊93在伸縮部件的作用下脫離銅背板1的表面，完成對銅背板1進(jìn)行面矯正的工序。本實施例提供的板材安裝治具的其它結(jié)構(gòu)與實施例1的板材安裝治具相同，這里不再贅述。
[0052]該板材安裝治具尤其適用于磁控濺射鍍膜設(shè)備中對靶材的安裝和矯正，在對磁控濺射鍍膜設(shè)備的靶材的安裝和矯正過程中，銅背板1和靶材可通過焊接形成為一體，并通過螺釘?shù)炔考~背板1與框架5固定在一起。
[0053]當(dāng)然，本實施例的板材安裝治具除了運用于上述銅背板之外，還可以運用于其它需要面矯正的板材，例如鐵板、塑料板。
[0054]本實施例的板材安裝治具能夠固定、轉(zhuǎn)移板材以使板材便于安裝；還因為其具有矯正單元能夠?qū)Π惭b在磁控濺射鍍膜設(shè)備上的銅背板進(jìn)行面矯正，從而使所有安裝螺釘均能夠與銅背板連接，使銅背板安裝固定更牢固；更重要的是，能夠避免存在未連接固定的安裝螺釘碰撞磁鐵而造成磁鐵損壞。
[0055]可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本實用新型的原理而采用的示例性實施方式，然而本實用新型并不局限于此。對于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本實用新型的精神和實質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本實用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項】
1.一種板材安裝治具，包括框架，所述框架用于對板材進(jìn)行吊裝固定，其特征在于，還包括至少一個矯正單元，所述矯正單元包括支撐板以及與所述支撐板垂直設(shè)置的矯正模塊，所述支撐板設(shè)置于所述框架內(nèi)部，所述矯正模塊能相對所述支撐板所在的平面垂直移動，以對所述板材進(jìn)行面矯正。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的板材安裝治具，其特征在于，所述矯正模塊包括壓桿和壓塊，所述壓桿穿過所述支撐板、且能相對所述支撐板所在的平面垂直往復(fù)移動，所述壓塊設(shè)置于所述壓桿一端。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的板材安裝治具，其特征在于，所述矯正模塊還包括伸縮部件，所述伸縮部件沿與所述壓桿的軸向平行的方向設(shè)置且支撐于所述壓塊與所述支撐板之間。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的板材安裝治具，其特征在于，所述伸縮部件包括彈簧或彈簧伸縮桿，所述彈簧或彈簧伸縮桿圍繞所述壓桿的軸向均勻分布。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的板材安裝治具，其特征在于，所述支撐板上開設(shè)有螺紋通孔，所述壓桿為推力螺桿，所述推力螺桿通過所述螺紋通孔穿過所述支撐板且垂直所述支撐板所在的平面。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的板材安裝治具，其特征在于，所述矯正模塊還包括旋轉(zhuǎn)手柄，所述旋轉(zhuǎn)手柄固定于所述推力螺桿相對于所述壓塊的另一端。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的板材安裝治具，其特征在于，所述矯正單元設(shè)置于所述框架的安裝中心點，或者多個所述矯正單元以安裝中心點對稱設(shè)置。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的板材安裝治具，其特征在于，多個所述矯正單元中的所述支撐板一體形成。9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的板材安裝治具，其特征在于，所述壓塊在遠(yuǎn)離所述支撐板的一側(cè)設(shè)置有隔墊物，所述隔墊物貼附于所述壓塊上。10.根據(jù)權(quán)利要求1-9任一所述的板材安裝治具，其特征在于，在所述框架上設(shè)置有吊環(huán)。11.根據(jù)權(quán)利要求1-9任一所述的板材安裝治具，其特征在于，所述框架的周邊設(shè)置有螺釘或勾爪，用于固定待安裝的所述板材。
【專利摘要】本實用新型提供一種板材安裝治具，屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。本實用新型的板材安裝治具包括框架，所述框架用于對板材進(jìn)行吊裝固定，還包括至少一個矯正單元，所述矯正單元包括支撐板以及與所述支撐板垂直設(shè)置的矯正模塊，所述支撐板設(shè)置于所述框架內(nèi)部，所述矯正模塊能相對所述支撐板所在的平面垂直往復(fù)移動，以對所述板材進(jìn)行面矯正。本實用新型的板材安裝治具能夠?qū)Π惭b在磁控濺射鍍膜設(shè)備上的銅背板進(jìn)行面矯正，從而使所有安裝螺釘均能夠與銅背板連接，避免存在未連接固定的安裝螺釘碰撞磁鐵，造成磁鐵損壞。
【IPC分類】C23C14/35
【公開號】CN205062169
【申請?zhí)枴緾N201520882117
【發(fā)明人】王效坤, 樸祥秀, 張勛澤, 丁冬, 沙磊, 王化露, 王召波, 張文俊, 聞慶亮, 呂雷雷, 張卓然
【申請人】合肥京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司
【公開日】2016年3月2日
【申請日】2015年11月3日