金屬有機(jī)化合物源的供應(yīng)系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，尤其涉及一種金屬有機(jī)化合物源的供應(yīng)系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]氣相沉積法作為半導(dǎo)體制造領(lǐng)，生長化合物的主要方法，其包括物理氣相沉積(Physical Vapor Deposit1n,簡稱 PVD)法和化學(xué)氣相沉積(Chemical VaporDeposit1n，簡稱 CVD)法。
[0003]CVD法中的金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積(Metal Organic Chemical VaporD印osit1n，簡稱MOCVD)法，可以是通過MOCVD設(shè)備根據(jù)M0源生長。通常單個(gè)M0CVD設(shè)備可與一個(gè)M0源單瓶連接，接收該一個(gè)M0源單瓶傳輸?shù)腗0源，繼而根據(jù)接收到的M0源進(jìn)行生長。多個(gè)M0CVD設(shè)備中的每個(gè)M0CVD設(shè)備連接的M0源單瓶需要單獨(dú)進(jìn)行更換。生成規(guī)模的增長，M0源的消耗增大，使得多個(gè)M0CVD設(shè)備進(jìn)行M0源單瓶的更換效率較低。
[0004]然而，M0源單瓶的更換效率較低，使得化合物的生長效率較低。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型提供一種金屬有機(jī)化合物源的供應(yīng)系統(tǒng)，以提高化合物的生長效率。
[0006]本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種金屬有機(jī)化合物源的供應(yīng)系統(tǒng)，包括:金屬有機(jī)化合物M0源容器，和多個(gè)金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積M0CVD ;
[0007]所述M0源容器，與所述多個(gè)M0CVD設(shè)備中的每個(gè)M0CVD設(shè)備，通過傳輸管道連接。
[0008]本實(shí)用新型實(shí)施例提供的金屬有機(jī)化合物源的供應(yīng)系統(tǒng)中，所述每個(gè)M0CVD設(shè)備與所述M0源容器間的所述傳輸管道上還包括:截止閥。
[0009]本實(shí)用新型實(shí)施例提供的金屬有機(jī)化合物源的供應(yīng)系統(tǒng)中，所述多個(gè)M0CVD設(shè)備中各M0CVD設(shè)備與所述M0源容器通過所述傳輸管道并聯(lián)。
[0010]本實(shí)用新型實(shí)施例提供的金屬有機(jī)化合物源的供應(yīng)系統(tǒng)中，所述傳輸管道還包括:保溫裝置。
[0011]本實(shí)用新型實(shí)施例提供的金屬有機(jī)化合物源的供應(yīng)系統(tǒng)中，所述保溫裝置為纏繞在所述傳輸管道外壁的保溫帶。
[0012]本實(shí)用新型實(shí)施例提供的金屬有機(jī)化合物源的供應(yīng)系統(tǒng)中，所述M0源容器位于溫度為預(yù)設(shè)溫度的恒溫槽中。
[0013]本實(shí)用新型實(shí)施例提供的金屬有機(jī)化合物源的供應(yīng)系統(tǒng)中，所述M0源容器的M0源可以包括以下任一:
[0014]三甲基鎵TMGa、三甲基銦TMIn、三甲基鋁TMA1、三乙基鎵TEGa、二茂鎂Cp2Mg。
[0015]本實(shí)用新型實(shí)施例提供的金屬有機(jī)化合物源的供應(yīng)系統(tǒng)，可包括M0源容器，和多個(gè)M0CVD設(shè)備，該M0源容器，與該多個(gè)M0CVD設(shè)備中的每個(gè)M0CVD設(shè)備，通過傳輸管道連接，因此，M0源容器可通過傳輸管道向該多個(gè)M0CVD設(shè)備傳輸各自所需的M0源，無需針對每個(gè)M0CVD設(shè)備進(jìn)行M0源容器的單獨(dú)更換，提高M(jìn)0源容器的更換效率，從而提高化合物的生長效率。
【附圖說明】
[0016]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種金屬有機(jī)化合物源的供應(yīng)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的另一種金屬有機(jī)化合物源的供應(yīng)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的又一種金屬有機(jī)化合物源的供應(yīng)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的再一種金屬有機(jī)化合物源的供應(yīng)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的再一種金屬有機(jī)化合物源的供應(yīng)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖6為實(shí)用新型實(shí)施例提供的又一種金屬有機(jī)化合物源的供應(yīng)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]附圖標(biāo)記說明:
[0023]101、601:M0 源容器；
[0024]102、602:M0CVD 設(shè)備；
[0025]103:傳輸管道；
[0026]201、606:截止閥；
[0027]401、607:保溫裝置；
[0028]501、605:恒溫槽；
[0029]603:載氣管道；
[0030]604:M0 源管道。
【具體實(shí)施方式】
[0031]本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種金屬有機(jī)化合物源的供應(yīng)系統(tǒng)。圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種金屬有機(jī)化合物源的供應(yīng)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，金屬有機(jī)化合物源的供應(yīng)系統(tǒng)可包括:M0源容器101，和多個(gè)M0CVD設(shè)備102。
[0032]M0源容器101中所盛裝的M0源可以為該多個(gè)M0CVD設(shè)備102所需的M0源。該多個(gè)M0CVD設(shè)備102所需的M0源可以為一種類型的M0源，那么M0源容器101中所盛裝的M0源則可以為該一種類型的M0源。M0源容器101可以為最大容量的該一種類型的M0源的容器，也就是說，該M0源容器101所盛裝的M0源可以為預(yù)設(shè)范圍內(nèi)的最大容量的M0源。舉例來說，M0源容器101可以為全廠內(nèi)的該一種類型的M0源的最大容器，也就是說，M0源容器101所盛裝的M0源可包括全廠內(nèi)的最大容量的M0源。
[0033]M0源容器101，與該多個(gè)M0CVD設(shè)備102中的每個(gè)M0CVD設(shè)備，通過傳輸管道103連接。
[0034]傳輸管道103為M0源的傳輸管道。M0源容器101可通過傳輸管道103將該M0源容器101中的M0源傳輸至該多個(gè)M0CVD設(shè)備102中的各M0CVD設(shè)備中，使得該多個(gè)M0CVD設(shè)備102中各MOCVD設(shè)備分別根據(jù)接收到的M0源采用M0CVD法進(jìn)行生長。
[0035]本實(shí)用新型實(shí)施例提供的金屬有機(jī)化合物源的供應(yīng)系統(tǒng)，可包括M0源容器，和多個(gè)M0CVD設(shè)備，該M0源容器，與該多個(gè)M0CVD設(shè)備中的每個(gè)M0CVD設(shè)備，通過傳輸管道連接，因此，M0源容器可通過傳輸管道向該多個(gè)M0CVD設(shè)備傳輸各自所需的M0源，無需針對每個(gè)M0CVD設(shè)備進(jìn)行M0源容器的單獨(dú)更換，提高M(jìn)0源容器的更換效率，從而提高化合物的生長效率。
[0036]該M0源容器可以為預(yù)設(shè)范圍內(nèi)的最大容量的M0源的容器，可降低M0源容器的更換頻率，保證生產(chǎn)的化合物的穩(wěn)定性。
[0037]可選的，本實(shí)用新型實(shí)施例還提供另一種金屬有機(jī)化合物源的供應(yīng)系統(tǒng)。圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的另一種金屬有機(jī)化合物源的供應(yīng)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，可選的，如上所示的金屬有機(jī)化合物源的供應(yīng)系統(tǒng)中，該多個(gè)M0CVD設(shè)備102中每個(gè)M0CVD設(shè)備與M0源容器101間的傳輸管道103上還包括:截止閥201。
[0038]該多個(gè)M0CVD設(shè)備102中每個(gè)M0CVD設(shè)備與M0源容器101間的傳輸管道103上包括截止閥201，因此可通過對截止閥201進(jìn)行的開關(guān)進(jìn)行控制，從而對M0源容器101傳輸至該多個(gè)M0CVD設(shè)備102中每個(gè)M0CVD設(shè)備的M0源的量進(jìn)行控制，從而對每個(gè)M0CVD設(shè)備生產(chǎn)的化合物進(jìn)行控制，保證化合物的性能。
[0039]可選的，本實(shí)用新型實(shí)施例還提供又一種金屬有機(jī)化合物源的供應(yīng)系統(tǒng)。圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的又一種金屬有機(jī)化合物源的供應(yīng)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖3所示，如上所示的金屬有機(jī)化合物源的供應(yīng)系統(tǒng)的基礎(chǔ)上，若金屬有機(jī)化合物源的供應(yīng)系統(tǒng)中，該多個(gè)M0CVD設(shè)備102中各M0