自動(dòng)送料機(jī)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實(shí)用新型涉及物理氣相沉積(Physical Vapor Deposit1n，PVD)設(shè)備的送料機(jī)構(gòu)，尤其是一種在真空系統(tǒng)下使用的蒸鍍(Evaporat i on )機(jī)的自動(dòng)送料機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]常見的蒸鍍及蒸鍍?cè)O(shè)備，其原理是將金屬和酸化物等蒸發(fā)，使其在素材的表面附著形成一層薄膜。蒸鍍較常使用的蒸鍍?cè)闯练e材料可為金屬、元素半導(dǎo)體的蒸鍍材料、合金的蒸鍍材料或化合物的蒸鍍材料等等，而這些材料大都可以制成顆粒狀。中國(guó)臺(tái)灣專利第M268354號(hào)公開了一種“蒸鍍?cè)O(shè)備”，如該專利第四圖、第六圖及第七圖所示，其中儲(chǔ)料容器、檢知感應(yīng)器、集料筒、引料軌道、第二動(dòng)力源搭配從而具有自動(dòng)化送料的功能。但在該技術(shù)方案中，無(wú)論是儲(chǔ)料容器對(duì)集料筒的送料、檢知感應(yīng)器自動(dòng)回報(bào)集料筒內(nèi)蒸渡源存量情形，再利用第二動(dòng)力源搭配引料軌道的送料，在整體蒸鍍?cè)此土系倪^程中，無(wú)法產(chǎn)生一貫性的送料效果，且送料的方式過于復(fù)雜而不夠迅速，無(wú)法即時(shí)于任何時(shí)間控制送料的流量，在送料的過程中將延誤工藝時(shí)間，可能導(dǎo)致后續(xù)蒸鍍的時(shí)間效率降低。因此，如何針對(duì)上述蒸鍍?cè)此土线^程的繁瑣及其結(jié)構(gòu)加以改進(jìn)，是本申請(qǐng)所要解決的技術(shù)問題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]考慮到現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本實(shí)用新型的目的在于提供一種在整體蒸鍍?cè)吹脑纤土线^程中，可產(chǎn)生送料均勻的送料效果，且送料的方式變得簡(jiǎn)化而迅速，可即時(shí)在任何時(shí)間控制送料的流量的自動(dòng)送料機(jī)構(gòu)。
[0004]為了達(dá)成以上目的，本實(shí)用新型提供一種自動(dòng)送料機(jī)構(gòu)，其包括:一伸縮機(jī)構(gòu)，該伸縮機(jī)構(gòu)設(shè)有一柱體和一筒體，該筒體一端設(shè)有一第一開口，該筒體另一端設(shè)有一第二開口，該筒體外圍上設(shè)有至少一個(gè)第一導(dǎo)溝;一儲(chǔ)料容器，該儲(chǔ)料容器下方延伸設(shè)有一導(dǎo)料通道，該導(dǎo)料通道結(jié)合于該第一開口的該筒體內(nèi)；一固定座，該固定座上具有一孔洞;一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)具有一推桿，該推桿一端活動(dòng)穿設(shè)于該孔洞并結(jié)合于該柱體的一端面，該柱體活動(dòng)結(jié)合于該第二開口的該筒體內(nèi)，該柱體的另一端面活動(dòng)結(jié)合于該導(dǎo)料通道的下方出口周緣；以及一導(dǎo)料槽，該導(dǎo)料槽延伸成型設(shè)于該筒體的外圍并包圍該第一導(dǎo)溝，該導(dǎo)料槽與該筒體間設(shè)有一容置空間，該容置空間內(nèi)設(shè)有一傾斜面，該傾斜面環(huán)繞成型于該筒體外圍表面并延伸至該導(dǎo)料槽內(nèi)的周緣表面上，該導(dǎo)料槽外圍上設(shè)有一第二導(dǎo)溝，該傾斜面一端與該第二導(dǎo)溝相鄰切齊設(shè)置，該容置空間與該第二導(dǎo)溝相連通。
[0005]其中該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為電動(dòng)推桿或壓缸裝置，且該柱體的另一端面上中心延伸設(shè)有一導(dǎo)料錐。
[0006]在另一實(shí)施例中，本實(shí)用新型提供一種自動(dòng)送料機(jī)構(gòu)，其包括:一伸縮機(jī)構(gòu)，該伸縮機(jī)構(gòu)設(shè)有一柱體和一筒體，該筒體一端設(shè)有一第一開口，該筒體另一端設(shè)有一第二開口，該筒體外圍上設(shè)有至少一個(gè)第一導(dǎo)溝;一儲(chǔ)料容器，該儲(chǔ)料容器下方延伸設(shè)有一導(dǎo)料通道，該導(dǎo)料通道結(jié)合于該第一開口的該筒體內(nèi)；一固定座，該固定座上具有一孔洞，該固定座一側(cè)面上垂直延伸設(shè)有至少一固定桿，該固定桿結(jié)合一隔離座體，該隔離座體上具有一第三開口，該隔離座體一側(cè)面延伸設(shè)有一結(jié)合部;一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)具有一推桿，該推桿一端活動(dòng)穿設(shè)于該孔洞并結(jié)合于該柱體的一端面，該柱體活動(dòng)穿設(shè)于該第三開口并活動(dòng)結(jié)合于該第二開口的該筒體內(nèi)，該柱體的另一端面活動(dòng)結(jié)合于該導(dǎo)料通道的下方出口周緣；一絕漏機(jī)構(gòu)，該絕漏機(jī)構(gòu)結(jié)合于該第三開口上并活動(dòng)穿套于該柱體上；以及一導(dǎo)料槽，該導(dǎo)料槽延伸成型設(shè)于該筒體的外圍并包圍該第一導(dǎo)溝，該導(dǎo)料槽與該筒體間設(shè)有一容置空間，該容置空間內(nèi)設(shè)有一傾斜面，該傾斜面環(huán)繞成型于該筒體外圍表面并延伸至該導(dǎo)料槽內(nèi)的周緣表面上，該導(dǎo)料槽外圍上設(shè)有一第二導(dǎo)溝，該傾斜面一端與該第二導(dǎo)溝相鄰切齊設(shè)置，該容置空間與該第二導(dǎo)溝相連通。
[0007]其中該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為電動(dòng)推桿或壓缸裝置，且該柱體的另一端面上中心延伸設(shè)有一導(dǎo)料錐。
[0008]借由本實(shí)用新型采用自動(dòng)化且簡(jiǎn)便的送料方式，在送料的過程中不會(huì)延誤工藝的時(shí)間，具有即時(shí)性，能使得后續(xù)蒸鍍的時(shí)間效率提升，因此蒸鍍?cè)吹脑弦宰詣?dòng)化送料且利用簡(jiǎn)便的方式，以有效改善其蒸鍍的時(shí)程管控及提升蒸鍍工藝的品質(zhì)，達(dá)成其技術(shù)效果。
【附圖說明】
[0009]圖1是本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的真空設(shè)備或系統(tǒng)下使用的自動(dòng)送料機(jī)構(gòu)剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]圖2是本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的真空系統(tǒng)環(huán)境下使用及裝設(shè)有絕漏機(jī)構(gòu)的自動(dòng)送料機(jī)構(gòu)剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖3是本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的真空系統(tǒng)環(huán)境下裝設(shè)于真空蒸鍍機(jī)使用的自動(dòng)送料機(jī)構(gòu)的送料動(dòng)作前示意圖。
[0012]圖3A是本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的導(dǎo)料槽送料動(dòng)作前的立體透視示意圖。
[0013]圖4是本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的真空系統(tǒng)環(huán)境下裝設(shè)于真空蒸鍍機(jī)使用的自動(dòng)送料機(jī)構(gòu)的送料動(dòng)作后示意圖。
[0014]圖4A是本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的導(dǎo)料槽送料動(dòng)作后的立體透視示意圖。
[0015]圖5是本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的未設(shè)置絕漏機(jī)構(gòu)情況下將自動(dòng)送料機(jī)構(gòu)安裝于真空設(shè)備或系統(tǒng)中的送料動(dòng)作后示意圖。
[0016]〔本實(shí)用新型〕
[0017]I 伸縮機(jī)構(gòu)11 柱體
[0018]111端面112端面
[0019]113導(dǎo)料錐12 筒體
[0020]121 第一開口122 第二開口[0021 ] 123第一導(dǎo)溝 2 儲(chǔ)料容器
[0022]21 導(dǎo)料通道211出口
[0023]3 固定座31 孔洞
[0024]32 側(cè)面33 固定桿
[0025]34 隔離座體341側(cè)面
[0026]35 第三開口4 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)
[0027]40A氣壓源41推桿
[0028]5導(dǎo)料槽51容置空間
[0029]52傾斜面53第二導(dǎo)溝
[0030]6結(jié)合部7絕漏機(jī)構(gòu)[0031 ]100真空設(shè)備或系統(tǒng)200晶片座
[0032]300晶片半成品400坩禍
[0033]500原料500A蒸鍍?cè)?br>[0034]600導(dǎo)料機(jī)構(gòu)700電源加熱裝置。
【具體實(shí)施方式】
[0035]為能更清楚了解本實(shí)用新型的內(nèi)容，以下例舉較佳實(shí)施例并給合附圖加以說明。
[0036]請(qǐng)參閱圖1所示，本實(shí)用新型提供一種自動(dòng)送料機(jī)構(gòu)，其包括:一伸縮機(jī)構(gòu)1、一儲(chǔ)料容器2、一固定座3、一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)4以及一導(dǎo)料槽5。
[0037]該伸縮機(jī)構(gòu)I設(shè)有一柱體11和一筒體12，在本實(shí)施例中，該柱體11和該筒體12的形狀相互對(duì)應(yīng)且并無(wú)限制，該筒體12—端設(shè)有一第一開口 121，該筒體12另一端設(shè)有一第二開口 122，該筒體12外圍上設(shè)有兩個(gè)第一導(dǎo)溝123為平行對(duì)稱設(shè)置，該第一導(dǎo)溝123也可設(shè)置成四個(gè)，借以提升導(dǎo)流量;該儲(chǔ)料容器2下方延伸設(shè)有一導(dǎo)料通道21，該導(dǎo)料通道21結(jié)合于該第一開口 121的該筒體12內(nèi)，該導(dǎo)料通道21與該筒體12相連通;該固定座3上具有一孔洞31;該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)4具有一推桿41，該推桿41 一端活動(dòng)穿設(shè)于該孔洞31并結(jié)合于該柱體11的一端面111，該柱體11活動(dòng)結(jié)合于該第二開口 122的該筒體12內(nèi)，該柱體11的另一端面112活動(dòng)結(jié)合于該導(dǎo)料通道21的下方出口 211周緣，該柱體11的另一端面112上中心延伸設(shè)有一導(dǎo)料錐113，該導(dǎo)料錐113可容置于該導(dǎo)料通道21內(nèi)。在本實(shí)施例中，該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)4可為電動(dòng)推桿或壓缸裝置，其中電動(dòng)推桿又可稱為電動(dòng)線性制動(dòng)器，且壓缸裝置可為氣壓缸、油壓缸或水壓缸，選用氣壓缸或電動(dòng)推桿最好，但不以此為限，其電動(dòng)推桿的功能如同氣壓缸而能伸縮，因此借由該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)4的該推桿41制動(dòng)該柱體11，該柱體11可于該兩個(gè)第一導(dǎo)溝123的位置及下半部的該筒體12內(nèi)吻合的自由上下伸縮;該導(dǎo)料槽5延伸成型設(shè)于該筒體12的外圍并包圍該兩第一導(dǎo)溝123，在本實(shí)施例中，該導(dǎo)料槽5的高度不得低于該兩第一導(dǎo)溝123的高度，該導(dǎo)料槽5與該筒體12間設(shè)有一容置空間51，該容置空間51內(nèi)設(shè)有一傾斜面52，該傾斜面52環(huán)繞成型于該筒體12外圍表面并延伸至該導(dǎo)料槽5內(nèi)的周緣表面上，該導(dǎo)料槽5外圍上設(shè)有一第二導(dǎo)溝53，該傾斜面52—端與該第二導(dǎo)溝53相鄰切齊設(shè)置，該容置空間51與該第二導(dǎo)溝53相連通。因此，該儲(chǔ)料容器2、該導(dǎo)料通道21、該兩個(gè)第一導(dǎo)溝123、該容置空間51及該第二導(dǎo)溝53也相連通。本實(shí)施例優(yōu)選在真空設(shè)備或系統(tǒng)環(huán)境場(chǎng)合下使用，例如一般實(shí)驗(yàn)與產(chǎn)線的送料，本實(shí)施例的自動(dòng)送料機(jī)構(gòu)與后續(xù)說明的具有絕漏結(jié)構(gòu)的真空系統(tǒng)環(huán)境下使用的自動(dòng)送料機(jī)構(gòu)的動(dòng)作原理相同但結(jié)構(gòu)及實(shí)施領(lǐng)域稍有不同，將在后面段落詳細(xì)說明。
[0038]在另一實(shí)施例中，本實(shí)用新型的自動(dòng)送料機(jī)構(gòu)如具有絕漏的功能并在真空系統(tǒng)環(huán)境下實(shí)施，稍作一些結(jié)構(gòu)上的變化，故請(qǐng)參閱圖2所示，其中該固定座3上除了具有該孔洞31，且該固定座3的一側(cè)面32上垂直延伸設(shè)有兩固定桿33，該固定桿33也可設(shè)為三支，該兩固定桿33結(jié)合一隔離座體34，該隔離座體34上具有一第三開口 35，該隔離座體34—側(cè)面341延伸設(shè)有一結(jié)合部6。
[0039]該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)4同樣具有該推桿41，該推桿41一端活動(dòng)穿設(shè)于該孔洞31并結(jié)合于該柱體11的該端面111，