2的示意圖，如圖2所示，在上一實(shí)施例的基礎(chǔ)上，該過濾容器組件121包括:至少一個(gè)過濾容器1211，每個(gè)過濾容器1211中包含有過濾芯或過濾網(wǎng)；當(dāng)過濾容器1211為至少兩個(gè)時(shí)，至少兩個(gè)過濾容器1211由高至低依次擺放在不同高度，且高度較低的過濾容器的過濾精度高于高度較高的過濾容器的過濾精度，其中，過濾精度可以通過對過濾芯或者過濾網(wǎng)的網(wǎng)格大小來控制，相鄰過濾容器1211之間通過管道連接。當(dāng)過濾容器1211為至少兩個(gè)時(shí)，相鄰過濾容器1211之間的管道上設(shè)置有第一閥門1212。進(jìn)一步地，第一閥門1212上設(shè)置有第一計(jì)時(shí)器和第一控制器，該第一計(jì)時(shí)器和該第一控制器電連接，該第一控制器與第一閥門1212的受控端相連，該第一控制器用于根據(jù)第一計(jì)時(shí)器的計(jì)時(shí)時(shí)間控制所述第一閥門的開閉狀態(tài)。
[0024]該反應(yīng)容器組件122包括反應(yīng)容器1221和結(jié)晶容器1222;該反應(yīng)容器1221中盛放有反應(yīng)溶液，該反應(yīng)溶液用于與拋盤尾液中氧化物進(jìn)行反應(yīng)，氧化物為拋盤11在拋光過程中所分離出的金屬氧化物;該結(jié)晶容器1222用于對反應(yīng)溶液與氧化物反應(yīng)后生成的可溶雜質(zhì)進(jìn)行冷卻結(jié)晶，以生成可溶雜質(zhì)的結(jié)晶物與去除雜質(zhì)后的拋光尾液;該反應(yīng)容器1221和結(jié)晶容器1222由高至低依次擺放，反應(yīng)容器1221和結(jié)晶容器1222之間通過管道連接。進(jìn)一步地，反應(yīng)容器1221和結(jié)晶容器1222之間的管道上設(shè)置有第二閥門1223。該第二閥門1223上設(shè)置有第二計(jì)時(shí)器和第二控制器，第二計(jì)時(shí)器和第二控制器電連接，第二控制器與第二閥門1223的受控端相連，第二控制器用于根據(jù)第二計(jì)時(shí)器的計(jì)時(shí)時(shí)間控制第二閥門1223的開閉狀態(tài)。
[0025]更進(jìn)一步地，結(jié)晶容器1222與回收容器組件123之間也是通過管道連接，并且該管道上設(shè)置有第三閥門1224。該第三閥門1224上設(shè)置有第三計(jì)時(shí)器和第三控制器，第三計(jì)時(shí)器和第三控制器電連接，第三控制器與第三閥門1224的受控端相連，第三控制器用于根據(jù)第三計(jì)時(shí)器的計(jì)時(shí)時(shí)間控制第三閥門1224的開閉狀態(tài)。
[0026]具體地，當(dāng)拋盤為銅盤，拋光液為金剛石拋光液時(shí)，上述拋光機(jī)的工作過程如下:拋盤11上的拋光尾液經(jīng)由入液口流入與其連接的第一個(gè)過濾容器1211中，在第一個(gè)過濾容器1211中先利用過濾芯或者利用過濾網(wǎng)將拋光尾液中大固體雜質(zhì)過濾掉，過濾芯或者過濾網(wǎng)的網(wǎng)格直徑為15微米，可選地，再通入氧氣加熱，使拋光尾液中的銅元素與氧氣充分反應(yīng)生成氧化銅;第一控制器根據(jù)第一計(jì)時(shí)器設(shè)置第一閥門1212的計(jì)時(shí)時(shí)間為600秒，當(dāng)達(dá)到600秒時(shí)，打開第一閥門1212，再將過濾后的拋光尾液導(dǎo)入第二個(gè)過濾容器1211中，利用過濾芯或者利用過濾網(wǎng)將相對于大固體雜質(zhì)較小的固體雜質(zhì)過濾掉，通常第二個(gè)過濾容器1211中的過濾芯或者過濾網(wǎng)的網(wǎng)格直徑為8微米，實(shí)現(xiàn)將大于8微米的固體雜質(zhì)過濾掉；當(dāng)然，這里還可以增加更多的過濾容器1211，本實(shí)用新型實(shí)施例對過濾容器1211的個(gè)數(shù)不做限制了，第二個(gè)過濾容器1211和反應(yīng)容器1221之間通過管道連接，該管道上設(shè)置有閥門1225，閥門1225上設(shè)置有計(jì)時(shí)器和控制器，該控制器根據(jù)該計(jì)時(shí)器設(shè)置閥門1225的計(jì)時(shí)時(shí)間為60秒，當(dāng)達(dá)到60秒時(shí)，打開閥門1225，將經(jīng)過過濾容器組件121過濾后的拋光尾液導(dǎo)入反應(yīng)容器1221中，反應(yīng)容器1221中盛放有200ml反應(yīng)溶液稀硫酸，稀硫酸與氧化銅反應(yīng)生成硫酸銅，硫酸銅為天藍(lán)色晶體，即為上述的可溶雜質(zhì)，通常加入的經(jīng)過過濾后的拋光液要過量，保證硫酸根充分反應(yīng)，第二控制器根據(jù)第二計(jì)時(shí)器設(shè)置第二閥門為常閉，此時(shí)拋光尾液中剩下金剛石顆粒(碳元素)和硫酸銅晶體;拋光液中金剛石顆粒的直徑根據(jù)拋光液型號(hào)不同而定，如6微米標(biāo)準(zhǔn)的拋光液中金剛石顆粒直徑為I至7微米;10微米標(biāo)準(zhǔn)的拋光液中金剛石顆粒直接為I至11微米之間。本實(shí)施例以6微米標(biāo)準(zhǔn)的拋光液作為例子說明。若拋光液型號(hào)不一樣，上述過濾芯或者過濾網(wǎng)的網(wǎng)格直徑也隨之變化，然后將拋光尾液導(dǎo)入結(jié)晶容器1222中，進(jìn)行冷卻結(jié)晶，形成可溶雜質(zhì)的結(jié)晶物，即膽礬，膽礬顆粒較大，可直接過濾掉;第三控制器根據(jù)第三計(jì)時(shí)器設(shè)置第三閥門1224計(jì)時(shí)時(shí)間為120秒，當(dāng)冷卻結(jié)晶時(shí)間達(dá)到120秒后，將過濾后的拋光尾液導(dǎo)入回收容器組件123中，按比例兌入金剛石拋光液機(jī)油，當(dāng)進(jìn)行PH值測試后，混合后的溶液呈中性，則可以將該溶液重新作為拋光液使用。通常每10ml溶液加入I OOml金剛石拋光液機(jī)油，則混合后的溶液呈中性。
[0027]本公開實(shí)施例提供的拋光機(jī)可以達(dá)到節(jié)省拋光液，進(jìn)而降低芯片的成本的效果。
[0028]最后應(yīng)說明的是:以上各實(shí)施例僅用以說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對其限制;盡管參照前述各實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對其中部分或者全部技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型各實(shí)施例技術(shù)方案的范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種拋光機(jī)，其特征在于，所述拋光機(jī)包括:拋盤和拋光液循環(huán)系統(tǒng)； 所述拋光液循環(huán)系統(tǒng)包括:依次順序連接的過濾容器組件、反應(yīng)容器組件和回收容器組件;所述過濾容器組件具有位于所述拋盤下方的入液口，以使所述拋盤上的拋光尾液經(jīng)由所述入液口流入所述過濾容器組件中，所述過濾容器組件的出液口與所述反應(yīng)容器組件的入液口相連接，所述反應(yīng)容器組件的出液口與所述回收容器組件的入液口相連接； 所述過濾容器組件用于過濾所述拋光尾液中的固體雜質(zhì)； 所述反應(yīng)容器組件用于去除所述拋光尾液中的可溶雜質(zhì)； 所述回收容器組件用于使去除雜質(zhì)后的拋光尾液與拋光液機(jī)油混合，并重新生成拋光液。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光機(jī)，其特征在于，所述過濾容器組件包括:至少一個(gè)過濾容器，每個(gè)所述過濾容器中包含有過濾芯或過濾網(wǎng)； 當(dāng)所述過濾容器為至少兩個(gè)時(shí)，至少兩個(gè)所述過濾容器由高至低依次擺放在不同高度，且高度較低的過濾容器的過濾精度高于高度較高的過濾容器的過濾精度，相鄰過濾容器之間通過管道連接。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的拋光機(jī)，其特征在于，所述過濾容器為至少兩個(gè)時(shí)，相鄰過濾容器之間的管道上設(shè)置有第一閥門。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的拋光機(jī)，其特征在于，所述第一閥門上設(shè)置有第一計(jì)時(shí)器和第一控制器，所述第一計(jì)時(shí)器和所述第一控制器電連接，所述第一控制器與所述第一閥門的受控端相連，所述第一控制器用于根據(jù)所述第一計(jì)時(shí)器的計(jì)時(shí)時(shí)間控制所述第一閥門的開閉狀態(tài)。5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的拋光機(jī)，其特征在于，所述反應(yīng)容器組件包括反應(yīng)容器和結(jié)晶容器； 所述反應(yīng)容器中盛放有反應(yīng)溶液，所述反應(yīng)溶液用于與所述拋盤尾液中氧化物進(jìn)行反應(yīng)，所述氧化物為所述拋盤在拋光過程中所分離出的金屬氧化物;所述結(jié)晶容器用于對所述反應(yīng)溶液與所述氧化物反應(yīng)后生成的所述可溶雜質(zhì)進(jìn)行冷卻結(jié)晶，以生成所述可溶雜質(zhì)的結(jié)晶物與所述去除雜質(zhì)后的拋光尾液;所述反應(yīng)容器和所述結(jié)晶容器由高至低依次擺放，所述反應(yīng)容器和所述結(jié)晶容器之間通過管道連接。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的拋光機(jī)，其特征在于，所述反應(yīng)容器和所述結(jié)晶容器之間的管道上設(shè)置有第二閥門。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的拋光機(jī)，其特征在于，所述第二閥門上設(shè)置有第二計(jì)時(shí)器和第二控制器，所述第二計(jì)時(shí)器和所述第二控制器電連接，所述第二控制器與所述第二閥門的受控端相連，所述第二控制器用于根據(jù)所述第二計(jì)時(shí)器的計(jì)時(shí)時(shí)間控制所述第二閥門的開閉狀態(tài)。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種拋光機(jī)，包括：拋盤和拋光液循環(huán)系統(tǒng)；該拋光液循環(huán)系統(tǒng)包括：依次順序連接的過濾容器組件、反應(yīng)容器組件和回收容器組件；過濾容器組件具有位于拋盤下方的入液口，以使拋盤上的拋光尾液經(jīng)由入液口流入過濾容器組件中，過濾容器組件的出液口與反應(yīng)容器組件的入液口相連接，反應(yīng)容器組件的出液口與回收容器組件的入液口相連接；過濾容器組件用于過濾拋光尾液中的固體雜質(zhì)；反應(yīng)容器組件用于去除拋光尾液中的可溶雜質(zhì)；回收容器組件用于使去除雜質(zhì)后的拋光尾液與拋光液機(jī)油混合，并重新生成拋光液。從而可以節(jié)省拋光液，進(jìn)而降低芯片的成本。
【IPC分類】B24B29/00, B24B57/02
【公開號(hào)】CN205363609
【申請?zhí)枴緾N201620128085
【發(fā)明人】段中紅, 曹喜平, 韓曉翠, 康建, 梁旭東
【申請人】圓融光電科技股份有限公司
【公開日】2016年7月6日
【申請日】2016年2月18日