本發(fā)明涉及新型磺酰亞胺鹽化合物和包含其的感光性樹脂組合物。
背景技術(shù)：
：感光性樹脂為各種精密電子·信息產(chǎn)業(yè)制品的生產(chǎn)中實(shí)用化的代表性的功能性高分子材料，目前，用于尖端技術(shù)產(chǎn)業(yè)、特別是半導(dǎo)體和顯示器的生產(chǎn)。一般來說，感光性樹脂是指，通過光照射在短時(shí)間內(nèi)引起分子結(jié)構(gòu)的化學(xué)變化，產(chǎn)生對(duì)特定溶劑的溶解度、著色、固化等物性的變化的高分子化合物。使用感光性樹脂時(shí)，能夠進(jìn)行微細(xì)精密加工，與熱反應(yīng)工序相比，可以大幅降低能源和原料，以小的設(shè)置空間也可以迅速且準(zhǔn)確地進(jìn)行作業(yè)。因此，感光性樹脂在尖端印刷領(lǐng)域、半導(dǎo)體制造、顯示器生產(chǎn)、光固化表面涂布材料等各種精密電子·信息產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域中被各種各樣地有效運(yùn)用。其中，顯示器領(lǐng)域中，感光性樹脂組合物是為了形成光致抗蝕膜、絕緣膜、保護(hù)膜、濾色器、黑色矩陣、柱狀間隔物等各種光固化圖案而使用的。具體而言，通過光刻工序?qū)⒏泄庑詷渲M合物選擇性地曝光和顯影，形成目標(biāo)光固化圖案，但在該過程中，為了提高工序上的收率、提高應(yīng)用對(duì)象的物性，要求高靈敏度的感光性樹脂組合物。韓國公開專利第2008-0046560號(hào)記載了另行包含密合增強(qiáng)劑的感光性樹脂組合物，但無法解決高靈敏度的問題。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1：韓國公開專利第2008-0046560號(hào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：發(fā)明要解決的問題本發(fā)明的目的在于，提供：用于感光性樹脂組合物時(shí)能夠提高光靈敏度且提高固化率的磺酰亞胺鹽化合物、和包含其的光產(chǎn)酸劑。用于解決問題的方案1.一種下述化學(xué)式1所示的磺酰亞胺鹽化合物。[化學(xué)式1](式中，Y+為下述化學(xué)式2或3所示的化合物，[化學(xué)式2][化學(xué)式3]R1、R2、R3、R4和R5分別獨(dú)立地為氫原子、鹵原子、氰基、硝基、碳數(shù)1～12的直鏈或支鏈的烷基、碳數(shù)3～12的環(huán)烷基、碳數(shù)1～6的烷氧基或烷基羰基、或碳數(shù)6～14的芳基，或者R4和R5能夠彼此連接形成碳數(shù)4～6的環(huán)，前述芳基任選以與所鍵合的苯環(huán)共享1個(gè)鍵的方式進(jìn)行取代，R1、R2、R3、R4和R5能夠分別獨(dú)立地在一個(gè)環(huán)上至少取代1次，取代1次以上的情況下，任選為彼此不同的取代基。)2.根據(jù)前述項(xiàng)目1所述的磺酰亞胺鹽化合物，其中，前述化學(xué)式2的化合物選自由下述化學(xué)式4～11所示的化合物組成的組。[化學(xué)式4][化學(xué)式5][化學(xué)式6][化學(xué)式7][化學(xué)式8][化學(xué)式9][化學(xué)式10][化學(xué)式11]3.根據(jù)前述項(xiàng)目1所述的磺酰亞胺鹽化合物，其中，前述化學(xué)式3的化合物選自由下述化學(xué)式12～30所示的化合物組成的組。[化學(xué)式12][化學(xué)式13][化學(xué)式14][化學(xué)式15][化學(xué)式16][化學(xué)式17][化學(xué)式18][化學(xué)式19][化學(xué)式20][化學(xué)式21][化學(xué)式22][化學(xué)式23][化學(xué)式24][化學(xué)式25][化學(xué)式26][化學(xué)式27][化學(xué)式28][化學(xué)式29][化學(xué)式30]4.一種前述項(xiàng)目1的化學(xué)式1所示的磺酰亞胺鹽化合物的制造方法，使下述化學(xué)式31所示的化合物與下述化學(xué)式32或化學(xué)式33所示的化合物反應(yīng)而制造。[化學(xué)式31][化學(xué)式32][化學(xué)式33](式中，Z為一價(jià)陽離子，W為鹵原子，R1、R2、R3、R4和R5分別獨(dú)立地為氫原子、鹵原子、氰基、硝基、碳數(shù)1～12的直鏈或支鏈的烷基、碳數(shù)3～12的環(huán)烷基、碳數(shù)1～6的烷氧基或烷基羰基、或碳數(shù)6～14的芳基，或者R4和R5能夠彼此連接形成碳數(shù)4～6的環(huán)，前述芳基任選以與所鍵合的苯環(huán)共享1個(gè)鍵的方式進(jìn)行取代，R1、R2、R3、R4和R5能夠分別獨(dú)立地在一個(gè)環(huán)上至少取代1次，取代1次以上的情況下，任選為彼此不同的取代基。)5.一種光產(chǎn)酸劑，其包含前述項(xiàng)目1～3中任一項(xiàng)所述的磺酰亞胺鹽化合物。6.一種感光性樹脂組合物，其包含前述項(xiàng)目5所述的光產(chǎn)酸劑和光聚合性化合物。7.根據(jù)前述項(xiàng)目6所述的感光性樹脂組合物，其中，相對(duì)于光聚合性化合物100重量份包含0.1～10重量份的前述磺酰亞胺鹽化合物。8.一種光固化圖案，其是由前述項(xiàng)目6所述的感光性樹脂組合物制造的。9.根據(jù)前述項(xiàng)目8所述的光固化圖案，其選自由粘接劑層、陣列平坦化膜圖案、保護(hù)膜圖案、絕緣膜圖案、光致抗蝕劑圖案、濾色器圖案、黑色矩陣圖案、柱狀間隔物圖案和黑色柱狀間隔物組成的組。10.一種圖像顯示裝置，其包含前述項(xiàng)目9所述的光固化圖案。發(fā)明的效果本發(fā)明的磺酰亞胺鹽化合物能夠賦予感光性樹脂組合物優(yōu)異的光靈敏度，大幅提高固化率。具體實(shí)施方式本發(fā)明涉及磺酰亞胺鹽化合物，通過包含新型磺酰亞胺鹽化合物，將其用于感光性樹脂組合物時(shí)，顯示出優(yōu)異的光靈敏度，能夠大幅提高固化率。以下，詳細(xì)說明本發(fā)明。＜磺酰亞胺鹽化合物＞本發(fā)明的磺酰亞胺鹽化合物如下述化學(xué)式1所示。[化學(xué)式1]式中，Y+為下述化學(xué)式2或3所示的化合物，[化學(xué)式2][化學(xué)式3]R1、R2、R3、R4和R5分別獨(dú)立地為氫原子、鹵原子、氰基、硝基、碳數(shù)1～12的直鏈或支鏈的烷基、碳數(shù)3～12的環(huán)烷基、碳數(shù)1～6的烷氧基或烷基羰基、或碳數(shù)6～14的芳基，或者R4和R5能夠彼此連接形成碳數(shù)4～6的環(huán)，前述芳基任選以與所鍵合的苯環(huán)共享1個(gè)鍵的方式進(jìn)行取代，R1、R2、R3、R4和R5能夠分別獨(dú)立地在一個(gè)環(huán)上至少取代1次，取代1次以上的情況下，任選為彼此不同的取代基。本發(fā)明的化學(xué)式1所示的磺酰亞胺鹽化合物可以作為光產(chǎn)酸劑使用，將其用于感光性樹脂組合物時(shí)，顯示出優(yōu)異的光靈敏度，能夠大幅提高固化率。更具體而言，前述磺酰亞胺鹽化合物的陰離子性化合物包含吸電子取代基，使氮原子增加陽離子性質(zhì)，由此可以使化合物的陰離子性部分穩(wěn)定化、且相對(duì)地增加陽離子性部分的活動(dòng)度。判斷活動(dòng)度增加了的陽離子性部分在曝光階段對(duì)感光性樹脂組合物賦予優(yōu)異的光靈敏度，使固化率大幅提高。前述化學(xué)式1所示的磺酰亞胺鹽化合物中，作為前述化學(xué)式2的化合物的具體例，可以舉出下述化學(xué)式4～11所示的化合物。[化學(xué)式4][化學(xué)式5][化學(xué)式6][化學(xué)式7][化學(xué)式8][化學(xué)式9][化學(xué)式10][化學(xué)式11]前述化學(xué)式1所示的磺酰亞胺鹽化合物中，作為前述化學(xué)式3的化合物的具體例，可以舉出下述化學(xué)式12～30所示的化合物。[化學(xué)式12][化學(xué)式13][化學(xué)式14][化學(xué)式15][化學(xué)式16][化學(xué)式17][化學(xué)式18][化學(xué)式19][化學(xué)式20][化學(xué)式21][化學(xué)式22][化學(xué)式23][化學(xué)式24][化學(xué)式25][化學(xué)式26][化學(xué)式27][化學(xué)式28][化學(xué)式29][化學(xué)式30]＜磺酰亞胺鹽化合物的制造方法＞本發(fā)明的化學(xué)式1所示的磺酰亞胺鹽化合物通過下述化學(xué)式31所示的化合物與下述化學(xué)式32或33所示的化合物的反應(yīng)而制造。[化學(xué)式31][化學(xué)式32][化學(xué)式33]式中，Z為一價(jià)陽離子，例如可以舉出：鈉離子、鉀離子等，W為鹵原子。除此之外的取代基與前述同樣。首先，可以進(jìn)行如下步驟：將化學(xué)式30的化合物和化學(xué)式31或化學(xué)式32的化合物分別溶解于溶劑，然后在常溫下攪拌30分鐘～4小時(shí)使其反應(yīng)。作為反應(yīng)中使用的溶劑，只要能夠溶解反應(yīng)物就沒有特別限定，優(yōu)選可以為蒸餾水。前述反應(yīng)步驟中，也可以根據(jù)需要添加催化劑。之后，可以進(jìn)行如下步驟：在前述混合溶液中加入溶劑并混合，然后萃取產(chǎn)物。前述步驟可以通過如下步驟進(jìn)行：將產(chǎn)物溶解于有機(jī)溶劑，充分混合使得能夠與未反應(yīng)物分離，然后僅萃取有機(jī)層。作為前述步驟中使用的溶劑，只要能夠使產(chǎn)物溶解并萃取就沒有特別限定，優(yōu)選可以為甲苯。最后，可以進(jìn)行如下步驟：將經(jīng)過萃取的有機(jī)層進(jìn)行減壓蒸餾，通過該步驟，將有機(jī)溶劑和反應(yīng)殘留物去除，可以得到最終產(chǎn)物。＜光產(chǎn)酸劑＞另外，本發(fā)明提供一種光產(chǎn)酸劑，其包含前述磺酰亞胺鹽化合物。如前述那樣，本發(fā)明的前述磺酰亞胺鹽化合物可以對(duì)感光性樹脂組合物賦予優(yōu)異的光靈敏度，大幅提高固化率，因此，可以作為光產(chǎn)酸劑有用地使用。＜感光性樹脂組合物＞另外，本發(fā)明提供一種感光性樹脂組合物，其包含本發(fā)明的光產(chǎn)酸劑和光聚合性化合物。本發(fā)明的光產(chǎn)酸劑如前述那樣可以使感光性樹脂組合物高靈敏度化，大幅提高固化率。前述光產(chǎn)酸劑的含量沒有特別限定，例如相對(duì)于光聚合性化合物100重量份可以包含0.1～10重量份，優(yōu)選可以為0.5～5重量份。為前述范圍內(nèi)時(shí)，進(jìn)行高靈敏度化，曝光時(shí)間縮短，生產(chǎn)率提高，而且所形成的圖案的強(qiáng)度和表面的平滑性變良好。包含10重量份以上的光產(chǎn)酸劑時(shí)，圖案的固化率變得更優(yōu)異，但是有吸收一部分可見光線，固化后的圖案的顏色多少會(huì)發(fā)生變化的情況。本發(fā)明的光聚合性化合物只要通過本發(fā)明的光產(chǎn)酸劑固化就沒有特別限定，例如可以為環(huán)氧系化合物、氧雜環(huán)丁烷系化合物、乙烯基醚系化合物，優(yōu)選可以為環(huán)氧系化合物。作為環(huán)氧系化合物的具體例，可以舉出：單官能環(huán)氧化合物、二官能環(huán)氧化合物、三官能環(huán)氧化合物、四官能環(huán)氧化合物等，優(yōu)選可以選自前述單官能環(huán)氧化合物和二官能環(huán)氧化合物。它們可以單獨(dú)使用或混合2種以上使用。具體而言，作為單官能環(huán)氧化合物，可以舉出：縮水甘油苯基醚、1,2-環(huán)氧乙基苯等，作為二官能環(huán)氧化合物，可以舉出：3,4-環(huán)氧環(huán)己基甲基-3’,4’-環(huán)氧環(huán)己烷羧酸酯、2-(3,4-環(huán)氧環(huán)己基-5,5-螺-3,4-環(huán)氧)環(huán)己烷-間二氧雜環(huán)己烷、雙(3,4-環(huán)氧環(huán)己基甲基)己二酸酯、雙(3,4-環(huán)氧-6-甲基環(huán)己基甲基)己二酸酯、3,4-環(huán)氧-6-甲基環(huán)己基-3’,4’-環(huán)氧-6’-甲基環(huán)己烷羧酸酯、ε-己內(nèi)酯改性3,4-環(huán)氧環(huán)己基甲基-3’,4’-環(huán)氧環(huán)己烷羧酸酯、三甲基己內(nèi)酯改性4-環(huán)氧環(huán)己基甲基-3’,4’-環(huán)氧環(huán)己烷羧酸酯、β-甲基-δ-戊內(nèi)酯改性4-環(huán)氧環(huán)己基甲基-3’,4’-環(huán)氧環(huán)己烷羧酸酯、亞甲基雙(3,4-環(huán)氧環(huán)己烷)、乙二醇的(3,4-環(huán)氧環(huán)己基甲基)醚、亞乙基雙(3,4-環(huán)氧環(huán)己烷羧酸酯)、環(huán)氧環(huán)六氫鄰苯二甲酸二辛酯、環(huán)氧環(huán)六氫鄰苯二甲酸二-2-乙基己酯等。它們可以單獨(dú)使用或混合2種以上使用。作為氧雜環(huán)丁烷系化合物的具體例，可以舉出：3-(甲基丙烯酰氧基甲基)氧雜環(huán)丁烷、3-(甲基丙烯酰氧基甲基)-3-乙基氧雜環(huán)丁烷、3-(甲基丙烯酰氧基甲基)-2-三氟甲基氧雜環(huán)丁烷、3-(甲基丙烯酰氧基甲基)-2-苯基氧雜環(huán)丁烷、2-(甲基丙烯酰氧基甲基)氧雜環(huán)丁烷、2-(甲基丙烯酰氧基甲基)-4-三氟甲基氧雜環(huán)丁烷等。它們可以單獨(dú)使用或混合2種以上使用。作為能夠合成乙烯基醚系樹脂的單體的具體例，可以舉出：苯乙烯、乙烯基甲苯、甲基苯乙烯、對(duì)氯苯乙烯、鄰甲氧基苯乙烯、間甲氧基苯乙烯、對(duì)甲氧基苯乙烯、鄰乙烯基芐基甲基醚、間乙烯基芐基甲基醚、對(duì)乙烯基芐基甲基醚、鄰乙烯基芐基縮水甘油醚、間乙烯基芐基縮水甘油醚、對(duì)乙烯基芐基縮水甘油醚等。它們可以單獨(dú)使用或混合2種以上使用。本發(fā)明的感光性樹脂組合物可以根據(jù)需要還包含：著色劑、硅烷偶聯(lián)劑、密合促進(jìn)劑、抗氧化劑、紫外線吸收劑、防聚集劑等添加劑。另外，本發(fā)明的感光性樹脂組合物根據(jù)需要還包含堿溶性樹脂等，從而也可以作為能夠進(jìn)行固化后的顯影的組合物使用。作為前述堿溶性樹脂，可以沒有特別限制地使用該領(lǐng)域中使用的堿溶性樹脂。上述情況下，還可以包含該領(lǐng)域中使用的合適的溶劑。＜光固化圖案＞本發(fā)明的目的在于，提供：由前述感光性樹脂組合物制造的光固化圖案、和包含該光固化圖案的圖像顯示裝置。由前述感光性樹脂組合物制造的光固化圖案與基材的密合力非常優(yōu)異。由此，可以作為圖像顯示裝置中各種圖案、例如粘接劑層、陣列平坦化膜、保護(hù)膜、絕緣膜圖案等使用，可以作為光致抗蝕膜、濾色器、黑色矩陣、柱狀間隔物圖案、黑色柱狀間隔物圖案等使用，但不限定于這些。作為具備這樣的光固化圖案的圖像顯示裝置，可以舉出：液晶顯示裝置、OLED、撓性顯示器等，但不限定于這些，可以舉出能夠應(yīng)用的該領(lǐng)域中已知的全部圖像顯示裝置。光固化圖案可以如下制造：將前述本發(fā)明的感光性樹脂組合物涂布于基材上，(根據(jù)需要經(jīng)過顯影工序后)形成光固化圖案。首先，將感光性樹脂組合物涂布于基板，然后進(jìn)行加熱干燥，從而將溶劑等揮發(fā)成分去除而得到平滑的涂膜。作為涂布方法，例如可以舉出：旋涂、流延涂布法、輥涂布法、狹縫和旋轉(zhuǎn)涂布法或狹縫涂布法等。涂布后，進(jìn)行加熱干燥(預(yù)焙)或減壓干燥后進(jìn)行加熱，使溶劑等揮發(fā)成分揮發(fā)。此處，加熱溫度通常為70～200℃，優(yōu)選為80～130℃。加熱干燥后的涂膜的厚度通常為1～8μm左右。對(duì)如此得到的涂膜隔著用于形成目標(biāo)圖案的掩模照射紫外線。此時(shí)，為了對(duì)曝光部整體均勻地照射平行光線，而且為了進(jìn)行掩模與基板的準(zhǔn)確對(duì)位，期望使用掩模對(duì)準(zhǔn)器、步進(jìn)曝光裝置等裝置。若照射紫外線，則照射了紫外線的部位進(jìn)行固化。作為前述紫外線，可以使用g射線(波長：436nm)、h射線、i射線(波長：365nm)等。紫外線的照射量可以根據(jù)需要而適當(dāng)選擇，本發(fā)明中，對(duì)其不限定。根據(jù)需要使結(jié)束了固化的涂膜與顯影液接觸，使非曝光部溶解并進(jìn)行顯影時(shí)，可以形成目標(biāo)圖案形狀。作為前述顯影方法，可以使用液添加法、浸漬法、噴涂法等均可。另外，顯影時(shí)可以將基板以任意的角度傾斜。前述顯影液通常為含有堿性化合物和表面活性劑的水溶液。前述堿性化合物可以為無機(jī)和有機(jī)的堿性化合物均可。作為無機(jī)堿性化合物的具體例，可以舉出：氫氧化鈉、氫氧化鉀、磷酸氫二鈉、磷酸二氫鈉、磷酸氫二銨、磷酸二氫銨、磷酸二氫鉀、硅酸鈉、硅酸鉀、碳酸鈉、碳酸鉀、碳酸氫鈉、碳酸氫鉀、硼酸鈉、硼酸鉀、氨等。而且，作為有機(jī)堿性化合物的具體例，可以舉出：四甲基氫氧化銨、2-羥基乙基三甲基氫氧化銨、單甲基胺、二甲基胺、三甲基胺、單乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、單異丙基胺、二異丙基胺、乙醇胺等。這些無機(jī)和有機(jī)的堿性化合物可以分別單獨(dú)使用或組合2種以上使用。堿顯影液中的堿性化合物的濃度優(yōu)選為0.01～10重量％，更優(yōu)選為0.03～5重量％。前述堿顯影液中的表面活性劑可以使用選自由非離子系表面活性劑、陰離子系表面活性劑或陽離子系表面活性劑組成的組中的至少一種。作為前述非離子系表面活性劑的具體例，可以舉出：聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯芳基醚、聚氧乙烯烷基芳基醚、其他聚氧乙烯衍生物、氧化乙烯/氧化丙烯嵌段共聚物、脫水山梨醇脂肪酸酯、聚氧乙烯脫水山梨醇脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇脂肪酸酯、甘油脂肪酸酯、聚氧乙烯脂肪酸酯、聚氧乙烯烷基胺等。作為前述陰離子系表面活性劑的具體例，可以舉出：月桂醇硫酸酯鈉、油醇硫酸酯鈉等高級(jí)醇硫酸酯鹽類、月桂基硫酸鈉、月桂基硫酸銨等烷基硫酸鹽類、十二烷基苯磺酸鈉、十二烷基萘磺酸鈉等烷基芳基磺酸鹽類等。作為前述陽離子系表面活性劑的具體例，可以舉出：硬脂胺鹽酸鹽、月桂基三甲基氯化銨等胺鹽或季銨鹽等。這些表面活性劑可以分別單獨(dú)使用或組合2種以上使用。前述顯影液中的表面活性劑的濃度通常為0.01～10重量％，優(yōu)選為0.05～8重量％，更優(yōu)選為0.1～5重量％。顯影后進(jìn)行水洗，也可以根據(jù)需要，以150～230℃進(jìn)行10～60分鐘的后烘焙。以下，為了有助于本發(fā)明的理解而示出優(yōu)選的實(shí)施例，但這些實(shí)施例只不過示例本發(fā)明，不對(duì)所附的權(quán)利要求進(jìn)行限制，本領(lǐng)域技術(shù)人員顯而易見的是，在本發(fā)明的范圍和技術(shù)思想的范圍內(nèi)，可以對(duì)實(shí)施例進(jìn)行各種各樣的變更，且可以修改，這樣的變更和修改當(dāng)然也屬于所附的權(quán)利要求。合成例1：光產(chǎn)酸劑的合成1-1：光產(chǎn)酸劑a-1的合成[反應(yīng)式1]將三苯基溴化锍(株式會(huì)社TCI制造，34.3g、0.1mol)溶于蒸餾水200mL，加入在蒸餾水100g中溶解有氟磺酰亞胺鉀鹽(三菱化學(xué)株式會(huì)社制造，32.9g、0.15mol)的溶液，在常溫下攪拌2小時(shí)。之后，使用甲苯(200mL)進(jìn)行萃取，然后將甲苯層進(jìn)行減壓蒸餾去除溶劑，得到a-1(44.0g)。將其通過元素分析器(ThermoElectronScientificInstrument公司制造，F(xiàn)lashEA1112)進(jìn)行分析，確認(rèn)為a-1。元素分析數(shù)據(jù)：C，48.71；H，3.43；N，3.12；O，14.49；S，21.671-2：光產(chǎn)酸劑a-2的合成[反應(yīng)式2]將二苯基氯化碘(株式會(huì)社TCI制造，31.6g、0.1mol)溶于蒸餾水200mL，加入在蒸餾水100g中溶解有氟磺酰亞胺鉀鹽(三菱化學(xué)株式會(huì)社制造，32.9g、0.15mol)的溶液，在常溫下攪拌2小時(shí)。之后，使用甲苯(200mL)進(jìn)行萃取，然后將甲苯層進(jìn)行減壓蒸餾去除溶劑，得到a-2(45.9g)。將其通過元素分析器(ThermoElectronScientificInstrument公司制造，F(xiàn)lashEA1112)進(jìn)行分析，確認(rèn)為a-2。元素分析數(shù)據(jù)：C，31.22；H，2.18；N，3.06；O，13.99；S，13.92實(shí)施例和比較例以下述表1的成分和含量制備光固化性組合物。[表1]實(shí)驗(yàn)例(1)固化率(反應(yīng)率)的評(píng)價(jià)試驗(yàn)使用線棒，將前述實(shí)施例和比較例中得到的感光性樹脂組合物以10μm的厚度涂布于玻璃上，使用高壓汞燈，使其暴露于100mJ/cm2的光，在80℃下進(jìn)行10分鐘加熱。之后，取下固化膜的一部分，將其溶于CDCl3溶劑，通過NMR分析，對(duì)殘留環(huán)氧基的含量進(jìn)行分析，計(jì)算反應(yīng)率而示于表2。反應(yīng)率＝(曝光前的環(huán)氧含量-曝光后的環(huán)氧含量)/曝光前的環(huán)氧含量×100對(duì)于前述曝光前后的環(huán)氧含量，相對(duì)于分子中的苯基的NMR積分，由光譜上的環(huán)氧的積分進(jìn)行計(jì)算并確認(rèn)。(2)固化后的色調(diào)的評(píng)價(jià)用肉眼觀察實(shí)驗(yàn)例(1)中制造的圖案的色調(diào)，基于下述基準(zhǔn)進(jìn)行評(píng)價(jià)?！颍和耆_認(rèn)不到色調(diào)的變化?！穑荷{(diào)的變化在非常少的部位微弱地可見?！鳎荷{(diào)的變化在一部分的范圍內(nèi)微弱地可見?！粒荷{(diào)的變化在全部范圍內(nèi)確實(shí)地可見。[表2]區(qū)分固化率的評(píng)價(jià)固化后的色調(diào)的評(píng)價(jià)實(shí)施例191◎?qū)嵤├?93◎?qū)嵤├?92◎?qū)嵤├?96○實(shí)施例599△比較例178◎比較例281◎比較例379◎?qū)嵤├?～3的組合物的固化率非常優(yōu)異，未確認(rèn)到圖案的色調(diào)變化。實(shí)施例4和5的組合物通過稍過量地包含光產(chǎn)酸劑從而微弱地確認(rèn)到色調(diào)的變化，但依然顯示出優(yōu)異的結(jié)果，表現(xiàn)出更優(yōu)異的固化率。與此相對(duì)，比較例1～3的組合物的固化率非常差。當(dāng)前第1頁1 2 3