1.一種光纖預(yù)制棒的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:
(1)往石英基管內(nèi)通入SiCl4和O2,加熱反應(yīng),并沉積得到SiO2外包層;
(2)外包層沉積好后,通入SiCl4、BBr3和O2,加熱進(jìn)行反應(yīng),在外包層上沉積SiO2/B2O3應(yīng)力區(qū)層;
(3)通入刻蝕氣體,以石英基管圓心為對(duì)稱點(diǎn),刻蝕除去應(yīng)力區(qū)層對(duì)稱兩邊的部分應(yīng)力區(qū),使得剩余部分的應(yīng)力區(qū)層的對(duì)稱兩邊互不連接,并替換刻蝕除去的應(yīng)力區(qū),沉積與外包層組分相同的填充層;
(4)再次通入刻蝕氣體,刻蝕除去沉積在應(yīng)力區(qū)層上的填充層;
(5)刻蝕完成后,通入SiCl4、SF6和O2,加熱反應(yīng),沉積得到內(nèi)包層;
(6)內(nèi)包層沉積完成后,通入SiCl4、GeCl4和O2,加熱進(jìn)行反應(yīng),沉積得到棒芯層;
(7)沉積完成后,加熱石英基管對(duì)各層進(jìn)行燒結(jié),即收縮得到光纖預(yù)制棒。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光纖預(yù)制棒的制備方法,其特征在于,步驟(1)中所述的SiCl4和O2的通入量的摩爾比為(1~1.2):1,反應(yīng)溫度為1850℃,沉積得到的外包層的厚度為0.8~2mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光纖預(yù)制棒的制備方法,其特征在于,步驟(2)中所述的SiCl4、BBr3和O2的通入量的摩爾比為(82~85):(30~36):150,其反應(yīng)溫度為1650~1850℃,沉積得到的應(yīng)力區(qū)層的厚度為4~6mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光纖預(yù)制棒的制備方法,其特征在于,步驟(3)和步驟(4)中所述的刻蝕氣體為SF6,刻蝕溫度為1450~1850℃;
步驟(3)中刻蝕除去的應(yīng)力區(qū)占整個(gè)應(yīng)力區(qū)層的體積百分比為30~40%。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光纖預(yù)制棒的制備方法,其特征在于,步驟(5)中所述的SiCl4、SF6和O2的通入量的摩爾比為(30~40):1:(80~100),其加熱反應(yīng)溫度為1850~2050℃,沉積得到的內(nèi)包層的厚度為2.1mm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光纖預(yù)制棒的制備方法,其特征在于,步驟(6)中所述的SiCl4、GeCl4和O2的通入量的摩爾比為(2~3):1:(10~20),其加熱反應(yīng)溫度為1850~2050℃,沉積得到的棒芯層的厚度為0.8~1.2mm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光纖預(yù)制棒的制備方法,其特征在于,步驟(7)中所述的燒結(jié)溫度為2250~2450℃。
8.一種如權(quán)利要求1~7任一所述的制備方法制備得到的光纖預(yù)制棒,其特征在于,該光纖預(yù)制棒的棒芯為正圓形,棒芯與其余各沉積層之間的同心度差小于0.3mm。
9.一種如權(quán)利要求8所述的光纖預(yù)制棒的用于拉制圓保偏光纖或?qū)拵Ч饫w波片。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光纖預(yù)制棒的應(yīng)用,其特征在于,拉制得到圓保偏光纖的纖芯模場(chǎng)的圓度大于90%。