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      脆性基板的分?jǐn)喾椒ㄅc流程

      文檔序號:12070186閱讀:來源:國知局
      技術(shù)總結(jié)
      通過使刀尖(51)在脆性基板(4)的表面(SF1)上滑動而產(chǎn)生塑性變形,借此形成具有溝槽形狀的溝槽線(TL)。在溝槽線(TL)的正下方,脆性基板(4)連續(xù)相連。接著在表面(SF1)上設(shè)置構(gòu)件(11)。構(gòu)件(11)具有隔著溝槽線(TL)互相分離的部分。接著,通過使脆性基板(4)的裂縫沿著溝槽線(TL)在厚度方向(DT)上伸展,而形成裂縫線(CL)。利用裂縫線(CL),在溝槽線(TL)的正下方,將脆性基板(4)的在與溝槽線(TL)交叉的方向上的連續(xù)相連斷開。沿著裂縫線(CL)分?jǐn)啻嘈曰?4)。

      技術(shù)研發(fā)人員:曾山浩
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:三星鉆石工業(yè)股份有限公司
      文檔號碼:201580028975
      技術(shù)研發(fā)日:2015.04.22
      技術(shù)公布日:2017.05.24

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