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      氧化鋁基板的制作方法

      文檔序號(hào):11110227閱讀:來源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      1.一種氧化鋁基板,其特征在于:

      在所述氧化鋁基板表面上形成有AlN層,并且在所述AlN層的內(nèi)部或者所述AlN層與所述氧化鋁基板的界面上形成有稀土含有層以及/或者稀土含有區(qū)域。

      2.如權(quán)利要求1所述的氧化鋁基板,其特征在于:

      稀土元素的含量以Al元素比計(jì)為1~10000ppm。

      3.如權(quán)利要求1或者2所述的氧化鋁基板,其特征在于:

      AlN層的厚度為0.02μm~100μm。

      4.如權(quán)利要求1~3中任意一項(xiàng)所述的氧化鋁基板,其特征在于:

      氧化鋁基板為藍(lán)寶石。

      5.如權(quán)利要求4所述的氧化鋁基板,其特征在于:

      AlN層主要是單晶。

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