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      分離鹵代硅烷的方法與流程

      文檔序號(hào):11631664閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      技術(shù)總結(jié)
      公開了分離鹵代硅烷的方法,其涉及使用具有將塔分成用于產(chǎn)生三個(gè)產(chǎn)物餾分的部分的隔板的蒸餾塔。還公開了使用這樣的塔的通過(guò)鹵代硅烷的歧化生產(chǎn)硅烷的方法和系統(tǒng)和生產(chǎn)多晶硅的方法。

      技術(shù)研發(fā)人員:S·蓬努斯瓦邁;N·R·科塔;S·布薩拉普;P·古普塔
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:愛(ài)迪生太陽(yáng)能公司
      技術(shù)研發(fā)日:2015.09.01
      技術(shù)公布日:2017.08.01
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