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      泡生法藍寶石晶體爐不同保溫屏材料的性能比較分析的制作方法

      文檔序號:11841530閱讀:675來源:國知局
      泡生法藍寶石晶體爐不同保溫屏材料的性能比較分析的制作方法與工藝

      本發(fā)明涉及晶體生長技術領域,具體涉及泡生法藍寶石晶體爐不同保溫屏材料的性能比較分析。



      背景技術:

      藍寶石晶體(α-Al2O3)的高硬度、高熔點等性質,使其擁有巨大的應用潛力,被廣泛的應用于軍事、航空航天、通信、醫(yī)學等領域。泡生法可以滿足晶體高質量、低成本、大尺寸等特殊要求,較其他方法具有明顯的優(yōu)勢,因而得到了快速的發(fā)展。為適應市場需求,人們不斷對泡生法進行著優(yōu)化改進。目前許多研究者對泡生法爐體結構進來了研究[1-4],而對爐體材料屬性的討論卻很少[5]。

      采用泡生法進行藍寶石晶體生長時,爐內處于近2000度的高溫環(huán)境中,不同保溫屏材料會影響爐內熱量輸運和溫度分布,是影響藍寶石晶體的生長的重要因素之一。選擇合適的保溫屏材料對晶體生長是非常重要的。保溫屏主要功能是隔熱,因此保溫屏材料必須滿足熔點高、熱導率低、高溫下穩(wěn)定性強、反射率高等物理化學特性。目前,市場上應用于藍寶石生長爐的保溫屏的材料主要有鎢鉬、石墨氈、氧化鋯、氧化鋯纖維等,而對各種保溫屏的性能效果以及對爐內溫度分布的影響等方面,還未做過細致的研究。本文對幾種主要的、常見材料的保溫屏進行模擬計算,從加熱功率、晶體和熔體的溫度分布、固液界面形狀等方面,對保溫屏性能進行比較分析。



      技術實現要素:

      為克服上述技術問題,本發(fā)明提供泡生法藍寶石晶體爐不同保溫屏材料的性能比較分析。

      泡生法藍寶石晶體爐不同保溫屏材料的性能比較分析,

      (1)鎢鉬,鎢、鉬具有耐高溫、硬度大、難融化和揮發(fā)等特性;鎢的熔點高達3653K;鉬高達2873K;

      (2)石墨,純度高、保溫隔熱性能優(yōu)良是石墨的特長;石墨的熔點極高,高達3823K,在真空下到3000 ℃時才開始出現軟化的趨勢;

      (3)氧化鋯及氧化鋯纖維,氧化鋯熔點高達2873K,可耐高溫,相比于鎢鉬和石墨,熱導率非常小,并且具有抗氧化、耐腐蝕、熱傳導率低等優(yōu)良特性,故ZrO2是優(yōu)良的隔熱材料。

      所述(1)中鎢鉬金屬具有良好的側向傳導性。

      所述(2)中石墨保溫材料為多孔石墨泡沫或石墨氈。

      所述(3)中氧化鋯保溫材料是氧化鋯纖維。

      本發(fā)明的優(yōu)點是:采用鎢鉬、石墨和氧化鋯作為泡生法生長藍寶石晶體的保溫材料,保溫材料熱導率:鎢鉬> 石墨 > 氧化鋯,而發(fā)射率:石墨> 鎢鉬 > 氧化鋯。對三種保溫材料在保溫性能、對晶體溫度的影響以及對晶體固液界面的影響等方面做了比較研究。

      從加熱功率方面,氧化鋯保溫性能最好,在放肩和等徑階段,相對于鎢鉬保溫屏至少節(jié)省17%的能耗,石墨保溫性能最差,相對于鎢鉬保溫屏,能耗增加了23%。

      從對晶體溫度的影響方面,選用鎢鉬保溫屏和氧化鋯保溫屏晶體溫度分布較為接近,而使用石墨保溫屏,晶體軸向溫度和徑向溫度偏低。

      從對固液界面形狀的影響方面,在放肩和等徑過程中,氧化鋯材料對應的固液界面最平緩,石墨固液界面形變量最大。

      附圖說明

      圖1是本發(fā)明鎢保溫材料的熱導率圖;

      圖2是本發(fā)明鉬保溫材料的熱導率圖;

      圖3是本發(fā)明石墨保溫材料的熱導率圖;

      圖4是本發(fā)明氧化鋯保溫材料的熱導率圖;

      具體實施方式

      泡生法藍寶石晶體爐不同保溫屏材料的性能比較分析,

      (1)鎢鉬,鎢、鉬具有耐高溫、硬度大、難融化和揮發(fā)等特性。鎢的熔點高達3653K;鉬高達2873K;鎢鉬金屬具有良好的側向傳導性,熱量可以沿金屬薄片傳遞到周圍環(huán)境中,較好的起到隔熱的作用;

      (2)石墨,純度高、保溫隔熱性能優(yōu)良是石墨的特長;石墨的熔點極高,高達3823K,在真空下到3000 ℃時才開始出現軟化的趨勢;目前國際上普遍采用多孔石墨泡沫或石墨氈作為石墨保溫材料;

      (3)氧化鋯及氧化鋯纖維,氧化鋯熔點高達2873K,可耐高溫,相比于鎢鉬和石墨,熱導率非常小,并且具有抗氧化、耐腐蝕、熱傳導率低等優(yōu)良特性,故ZrO2是優(yōu)良的隔熱材料;氧化鋯纖維是常見的高性能的氧化鋯保溫材料,在保溫絕熱應用領域有著重要地位。

      實施例1

      衡量保溫材料保溫性能的重要指標就是熱損耗的大小。熱損耗主要取決于保溫材料的熱導率和發(fā)射率。熱導率越小,向外界傳遞的熱量越少;發(fā)射率越小,向外輻射的熱量也越小。

      下面分別對鎢鉬保溫材料、石墨保溫材料、氧化鋯保溫材料進行介紹比較。

      各材料熱導率如圖1-4所示,高溫氧化鋯的熱物性還很難實驗獲得,根據資料,近似認為熱導率為常數。鎢鉬熱導率 > 石墨熱導率 > 氧化鋯熱導率。材料其他屬性參數如下,石墨發(fā)射率 > 鎢鉬發(fā)射率 > 氧化鋯發(fā)射率。

      (1)鎢鉬

      鎢、鉬具有耐高溫、硬度大、難融化和揮發(fā)等特性。鎢的熔點高達3653K;鉬高達2873K。鎢鉬金屬具有良好的側向傳導性,熱量可以沿金屬薄片傳遞到周圍環(huán)境中,較好的起到隔熱的作用。

      (2)石墨

      純度高、保溫隔熱性能優(yōu)良是石墨的特長。石墨的熔點極高,高達3823K,在真空下到3000 ℃時才開始出現軟化的趨勢。目前國際上普遍采用多孔石墨泡沫或石墨氈作為石墨保溫材料。

      (3)氧化鋯及氧化鋯纖維

      氧化鋯熔點高達2873K,可耐高溫,相比于鎢鉬和石墨,熱導率非常小,并且具有抗氧化、耐腐蝕、熱傳導率低等優(yōu)良特性,故ZrO2是優(yōu)良的隔熱材料。氧化鋯纖維是常見的高性能的氧化鋯保溫材料,在保溫絕熱應用領域有著重要地位。

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