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      一種非線性晶體硒化鎵元器件的制作方法與流程

      文檔序號:11937908閱讀:來源:國知局

      技術特征:

      1.一種非線性晶體GaSe元器件的制作方法,其特征在于該制作方法按以下步驟進行:

      一、采用體積比HCl:HNO3=1:(3~3.5)的混酸對GaSe晶錠表面刻蝕1~2分鐘,然后用超純水清洗、烘干;

      二、將GaSe晶錠放入石英小舟或氮化硼小舟中,再把小舟放于石英管中部;在小舟兩端放置GaSe多晶粉末,晶錠與多晶粉末的質(zhì)量比為10:(1~2);或在小舟的一端放GaSe多晶粉末,另一端放單質(zhì)Se,晶錠與多晶粉末的質(zhì)量比為10:(0.5~1),晶錠與Se的質(zhì)量比為10:(0.05~0.1);然后對石英管抽真空至10-4~10-6Pa,用氫氧火焰熔封石英管,放入單溫區(qū)電阻爐中;

      三、電阻爐升溫至450℃~500℃,保溫100h~150h,然后以20℃~25℃/h降溫速率降溫至室溫,得到退火晶錠;

      四、將退火晶錠沿垂直于c軸方向解離成自然光滑平面,并將此自然光滑平面固定在切割機支架面板上,然后切割成正方形塊,最后再沿垂直于c軸方向修整成晶體塊;

      五、準備好底座(7)、上蓋(6)、聚四氟乙烯外套(8)和固定螺母(9),其中底座(7)和上蓋(6)的材料為金屬,在底座(7)與上蓋(6)中間設置孔洞,將GaSe晶體塊用膠固定在底座的孔洞的位置,套上聚四氟乙烯外套(8),加上上蓋(6),再用固定螺母(9)將底座(7)與上蓋(6)連接起來,得到非線性晶體GaSe元器件。

      2.根據(jù)權利要求1所述的一種非線性晶體GaSe元器件的制作方法,其特征在于步驟一中的烘干溫度為50℃~60℃。

      3.根據(jù)權利要求1或2所述的一種非線性晶體GaSe元器件的制作方法,其特征在于步驟一中的石英管抽真空至10-4~10-6Pa。

      4.根據(jù)權利要求1或2所述的一種非線性晶體GaSe元器件的制作方法,其特征在于步驟三中電阻爐的升溫速率為40~60℃/h。

      5.根據(jù)權利要求1或2所述的一種非線性晶體GaSe元器件的制作方法,其特征在于步驟三中退火溫度為470℃~480℃。

      6.根據(jù)權利要求1或2所述的一種非線性晶體GaSe元器件的制作方法,其特征在于步驟三中電阻爐的降溫速率為20℃~25℃/h。

      7.根據(jù)權利要求1或2所述的一種非線性晶體GaSe元器件的制作方法,其特征在于步驟四中GaSe晶體塊的厚度為10mm~15mm。

      8.根據(jù)權利要求1或2所述的一種非線性晶體GaSe元器件的制作方法,其特征在于步驟五中,固定用的膠為熱熔膠或UV膠。

      9.根據(jù)權利要求1或2所述的一種非線性晶體GaSe元器件的制作方法,其特征在于步驟五中,底座(7)和上蓋(6)的材料為鋁或銅。

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