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      一種基于水滴模板法制備TiO2/SiO2薄膜的工藝的制作方法

      文檔序號:12053615閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種基于水滴模板法制備TiO2/SiO2薄膜的工藝,其特征在于:所述的制備方法為,

      (1)配制涂抹液

      采用環(huán)己烷與丁醇組成混合溶劑,以鈦酸四正丁酯和正硅酸乙酯分別作為TiO2和SiO2的前驅(qū)體;

      (2)濕氣流的形成

      將氮氣流通入水中,促進(jìn)水的揮發(fā)形成濕氣流,并讓濕氣流經(jīng)過一水平安置的管道;

      (3)溶液膜的形成

      采用浸漬-提拉法,將步驟(1)得到的涂抹液在玻璃基底上形成液膜;

      (4)將步驟(3)中得到的液膜置于空氣中預(yù)蒸發(fā)后,再轉(zhuǎn)移至步驟(2)中的有濕氣流流經(jīng)的管道中并水平放置讓濕氣流水平方向流過液膜表面,在液膜表面形成水滴模板;

      (5)將經(jīng)過步驟(4)處理的液膜進(jìn)行干燥和熱處理。

      2.如權(quán)利要求1所述的基于水滴模板法制備TiO2/SiO2薄膜的工藝,其特征在于:步驟(1)中,首先將乙酰丙酮混合到鈦酸四正丁酯中,攪拌反應(yīng)得到鈦酸四正丁酯絡(luò)合物;其次,將上述所得的鈦酸四正丁酯絡(luò)合物加入到環(huán)己烷與丁醇的混合溶劑中,然后加入蒸餾水并攪拌成均勻的溶液,將該溶液于室溫下靜置陳化后,加入正硅酸乙酯再攪拌得到涂抹液。

      3.如權(quán)利要求1所述的基于水滴模板法制備TiO2/SiO2薄膜的工藝,其特征在于:步驟(2)中,管道中濕氣流的流速為4cm/s。

      4.如權(quán)利要求1所述的基于水滴模板法制備TiO2/SiO2薄膜的工藝,其特征在于:步驟(3)中,所述玻璃基片在使用前先采用洗滌劑清洗并用自來水進(jìn)行漂洗,然后用乙醇洗滌,最后用去離子水潤洗后于100℃下干燥;將經(jīng)上述處理的玻璃基底浸入步驟(1)的涂抹溶液中靜置5min,然后以50cm/min的速度垂直向上提拉離開溶液即可在玻璃基底表面形成液膜。

      5.如權(quán)利要求1所述的基于水滴模板法制備TiO2/SiO2薄膜的工藝,其特征在于:步驟(4)中,預(yù)蒸發(fā)時間從玻璃基底的低端離開涂抹溶液時開始計時。

      6.如權(quán)利要求1所述的基于水滴模板法制備TiO2/SiO2薄膜的工藝,其特征在于:步驟(5)中,干燥為在100℃烘箱中干燥30min。

      7.如權(quán)利要求1所述的基于水滴模板法制備TiO2/SiO2薄膜的工藝,其特征在于:步驟(5)中,熱處理為在空氣氛圍中500℃下熱處理30min。

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