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      一種用于晶體生長的調(diào)節(jié)反應(yīng)釜及其控制方法與流程

      文檔序號:12416739閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種用于晶體生長的調(diào)節(jié)反應(yīng)釜,包括釜體和設(shè)在釜體內(nèi)的加熱器,其特征在于,所述釜體內(nèi)至少設(shè)置一個晶體生長用坩堝和一個反應(yīng)物溶液調(diào)整坩堝,該晶體生長用坩堝和反應(yīng)物溶液調(diào)整坩堝通過充滿反應(yīng)物溶液的連通管路連接,釜體上設(shè)有升降移動控制機(jī)構(gòu),該升降移動控制機(jī)構(gòu)分別與晶體生長用坩堝和反應(yīng)物溶液調(diào)整坩堝連接,帶動該晶體生長用坩堝和反應(yīng)物溶液調(diào)整坩堝上升或下降。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶體生長的調(diào)節(jié)反應(yīng)釜,其特征在于,所述連通管路至少設(shè)置一條。

      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于晶體生長的調(diào)節(jié)反應(yīng)釜,其特征在于,所述連通管路由石英、陶瓷、高純銅管或不銹鋼管材料制成。

      4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于晶體生長的調(diào)節(jié)反應(yīng)釜,其特征在于,所述晶體生長用坩堝和反應(yīng)物溶液調(diào)整坩堝的側(cè)面和底面均設(shè)有加熱器。

      5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于晶體生長的調(diào)節(jié)反應(yīng)釜,其特征在于,所述晶體生長用坩堝和反應(yīng)物溶液調(diào)整坩堝的數(shù)量相同或者不同。

      6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于晶體生長的調(diào)節(jié)反應(yīng)釜,其特征在于,所述加熱器為紅外加熱器、電阻加熱器或射頻加熱器。

      7.一種根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一項所述的用于晶體生長的調(diào)節(jié)反應(yīng)釜的控制方法,包括以下步驟:

      初始狀態(tài)下,在晶體生長用坩堝放置晶種模板和填充反應(yīng)物溶液,在反應(yīng)物溶液調(diào)整坩堝內(nèi)填充反應(yīng)物溶液,晶體生長用坩堝的液面和反應(yīng)物溶液調(diào)整坩堝的液面位于同一高度;

      啟動加熱器進(jìn)行加熱升溫,同時往釜體內(nèi)引入氮氣;

      在加熱升溫過程中,調(diào)整晶體生長用坩堝和反應(yīng)物溶液調(diào)整坩堝的相對高度,使晶體生長用坩堝和反應(yīng)物溶液調(diào)整坩堝內(nèi)的反應(yīng)物溶液經(jīng)連通管路相互流動,直到晶體生長完成;

      晶體生長完成后,使晶體生長用坩堝和反應(yīng)物溶液調(diào)整坩堝復(fù)位,重新保持液面相同的高度。

      8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于晶體生長的調(diào)節(jié)反應(yīng)釜的控制方法,其特征在于,在控制晶體生長用坩堝和反應(yīng)物溶液調(diào)整坩堝的相對高度時,保持晶體生長用坩堝靜止不動,使反應(yīng)物溶液調(diào)整坩堝上升和下降;或者保持反應(yīng)物溶液調(diào)整坩堝靜止不動,使晶體生長用坩堝上升和下降;或者晶體生長用坩堝和反應(yīng)物溶液調(diào)整坩堝分別上升和下降。

      9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于晶體生長的調(diào)節(jié)反應(yīng)釜的控制方法,其特征在于,所述晶體生長用坩堝和/或反應(yīng)物溶液調(diào)整坩堝在上升和下降時,以連續(xù)運動、周期運動或間歇運動的方式進(jìn)行運動。

      10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于晶體生長的調(diào)節(jié)反應(yīng)釜的控制方法,其特征在于,在加熱升溫過程中,晶體生長用坩堝和反應(yīng)物溶液調(diào)整坩堝的溫度相同或者不相同。

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