本實(shí)用新型屬于機(jī)械加工制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種可以快速排除廢液的高溫?cái)U(kuò)散設(shè)備。

背景技術(shù)：

利用太陽(yáng)能進(jìn)行發(fā)電需要用到太陽(yáng)能電池板，而太陽(yáng)能電池板更多的是利用硅作為原料進(jìn)行制造，因?yàn)楣柙诘厍蛏蟽?chǔ)量豐富，并且價(jià)格低廉，在利用硅進(jìn)行太陽(yáng)能電池板制造的過(guò)程中，需要用到擴(kuò)散爐，擴(kuò)散爐是集成電路生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一，它的主要用途是對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行摻雜，即在高溫條件下將摻雜材料擴(kuò)散入硅片，從而改變和控制半導(dǎo)體內(nèi)雜質(zhì)的類型、濃度和分布，以便建立起不同的電特性區(qū)域。

現(xiàn)有的擴(kuò)散爐不能很好地將爐中產(chǎn)生的廢液進(jìn)行快速排出，從而影響到了太陽(yáng)能電池板的質(zhì)量，因此，需要一種可以快速排出廢液的高溫?cái)U(kuò)散設(shè)備來(lái)解決上述提到的問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種可以快速排除廢液的高溫?cái)U(kuò)散設(shè)備，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種可以快速排除廢液的高溫?cái)U(kuò)散設(shè)備，包括高溫?cái)U(kuò)散箱，所述高溫?cái)U(kuò)散箱頂部固定設(shè)有冷氣道，所述冷氣道穿過(guò)高溫?cái)U(kuò)散箱在高溫?cái)U(kuò)散箱上方形成回路，所述冷氣道上端從左到右依次固定設(shè)有通氣孔、冷卻室和第一鼓風(fēng)機(jī)，所述高溫?cái)U(kuò)散箱側(cè)面固定連通有集水管，所述集水管底部固定連通有儲(chǔ)水槽，所述高溫?cái)U(kuò)散箱內(nèi)部固定設(shè)有硅片放置槽，所述高溫?cái)U(kuò)散箱底部固定設(shè)有熱氣道，所述熱氣道上設(shè)有出氣孔，所述熱氣道穿過(guò)高溫?cái)U(kuò)散箱的右側(cè)連接于第二鼓風(fēng)機(jī)。

優(yōu)選的，所述冷氣道為銅管，且裸露在高溫?cái)U(kuò)散箱外側(cè)的部分包裹有陶瓷片保溫層。

優(yōu)選的，所述集水管端部設(shè)置為角形，且尖端設(shè)置在集水管下側(cè)。

優(yōu)選的，所述硅片放置槽四周固定設(shè)有擋板。

優(yōu)選的，所述冷卻室內(nèi)設(shè)有冷卻裝置。

優(yōu)選的，所述冷氣道傾斜設(shè)置，且靠近集水管的一端位置更低。

本實(shí)用新型的技術(shù)效果和優(yōu)點(diǎn)：該可以快速排除廢液的高溫?cái)U(kuò)散設(shè)備，通過(guò)冷卻室，可以將冷氣道中的空氣冷卻，然后通過(guò)第一鼓風(fēng)機(jī)，可以促進(jìn)冷氣道中的空氣循環(huán)，使得冷氣道保持一個(gè)較低的溫度，高溫?cái)U(kuò)散箱在工作的時(shí)候，內(nèi)部的廢液會(huì)汽化，在遇到高溫?cái)U(kuò)散箱頂部的冷氣道時(shí)，會(huì)冷凝成液體，然后順著冷氣道流到集水管中，然后通過(guò)集水管，流入到儲(chǔ)水槽中，等待處理；并且所述硅片放置槽四周固定設(shè)有擋板，可以防止熱氣流對(duì)硅片高溫?cái)U(kuò)散產(chǎn)生的不利影響。因此，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)合理，通過(guò)一系列的結(jié)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)高溫?cái)U(kuò)散箱中的廢液進(jìn)行快速地排出并且收集，防止廢液對(duì)硅片產(chǎn)生的不利影響，同時(shí)可以防止熱氣流對(duì)硅片高溫?cái)U(kuò)散產(chǎn)生的不利影響，從而提高了產(chǎn)品的品質(zhì)，有很強(qiáng)的實(shí)用性。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1通氣孔、2冷卻室、3第一鼓風(fēng)機(jī)、4冷氣道、5集水管、6儲(chǔ)水槽、7高溫?cái)U(kuò)散箱、8硅片放置槽、9出氣孔、10熱氣道、11第二鼓風(fēng)機(jī)。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

本實(shí)用新型提供了如圖1所示的一種可以快速排除廢液的高溫?cái)U(kuò)散設(shè)備，包括高溫?cái)U(kuò)散箱7，所述高溫?cái)U(kuò)散箱7頂部固定設(shè)有冷氣道4，所述冷氣道4為銅管，且裸露在高溫?cái)U(kuò)散箱7外側(cè)的部分包裹有陶瓷片保溫層，所述冷氣道4傾斜設(shè)置，且靠近集水管5的一端位置更低，所述冷氣道4穿過(guò)高溫?cái)U(kuò)散箱7在高溫?cái)U(kuò)散箱7上方形成回路，所述冷氣道4上端從左到右依次固定設(shè)有通氣孔1、冷卻室2和第一鼓風(fēng)機(jī)3，所述冷卻室2內(nèi)設(shè)有冷卻裝置，所述高溫?cái)U(kuò)散箱7側(cè)面固定連通有集水管5，所述集水管5端部設(shè)置為角形，且尖端設(shè)置在集水管5下側(cè)，所述集水管5底部固定連通有儲(chǔ)水槽6，所述高溫?cái)U(kuò)散箱7內(nèi)部固定設(shè)有硅片放置槽8，所述硅片放置槽8四周固定設(shè)有擋板，所述高溫?cái)U(kuò)散箱7底部固定設(shè)有熱氣道10，所述熱氣道10上設(shè)有出氣孔9，所述熱氣道10穿過(guò)高溫?cái)U(kuò)散箱7的右側(cè)連接于第二鼓風(fēng)機(jī)11。

該可以快速排除廢液的高溫?cái)U(kuò)散設(shè)備，通過(guò)冷卻室2，可以將冷氣道4中的空氣冷卻，然后通過(guò)第一鼓風(fēng)機(jī)3，可以促進(jìn)冷氣道4中的空氣循環(huán)，使得冷氣道4保持一個(gè)較低的溫度，高溫?cái)U(kuò)散箱7在工作的時(shí)候，內(nèi)部的廢液會(huì)汽化，在遇到高溫?cái)U(kuò)散箱7頂部的冷氣道4時(shí)，會(huì)冷凝成液體，然后順著冷氣道4流到集水管5中，然后通過(guò)集水管5，流入到儲(chǔ)水槽6中，等待處理；并且所述硅片放置槽8四周固定設(shè)有擋板，可以防止熱氣流對(duì)硅片高溫?cái)U(kuò)散產(chǎn)生的不利影響。因此，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)合理，通過(guò)一系列的結(jié)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)高溫?cái)U(kuò)散箱中的廢液進(jìn)行快速地排出并且收集，防止廢液對(duì)硅片產(chǎn)生的不利影響，同時(shí)可以防止熱氣流對(duì)硅片高溫?cái)U(kuò)散產(chǎn)生的不利影響，從而提高了產(chǎn)品的品質(zhì)，有很強(qiáng)的實(shí)用性。

最后應(yīng)說(shuō)明的是：以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換,凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。