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      一種蒸發(fā)法孕育碳化硅晶體生長裝置的制作方法

      文檔序號(hào):11836581閱讀:794來源:國知局

      本實(shí)用新型屬于碳化硅晶體生長加工裝置領(lǐng)域,尤其涉及一種蒸發(fā)法孕育碳化硅晶體生長裝置。



      背景技術(shù):

      隨著現(xiàn)在社會(huì)科技的不斷發(fā)展,人們對(duì)于自身的衣食住行均提出越來越高的要求,晶體作為現(xiàn)在裝飾用品的重要用品,相比于黃金等貴金屬,晶體具有優(yōu)良的美觀性,收到人們的廣泛喜愛。

      且不僅是寶石碳化硅晶體,對(duì)于一些特殊的晶體結(jié)構(gòu),由于現(xiàn)在的科技水平的不斷成熟,也逐漸被人們所熟知,SiC作為C和Si唯一穩(wěn)定的化合物,其晶格結(jié)構(gòu)由致密排列的兩個(gè)亞晶格組成,每個(gè)si(或c)原子與周邊包圍的C(si)原子通過定向的強(qiáng)四面體SP3鍵結(jié)合,雖然SiC的四面體鍵很強(qiáng),但層錯(cuò)形成能量卻很低,這一特點(diǎn)決定了SiC的多型體現(xiàn)象,已經(jīng)發(fā)現(xiàn)SiC具有250多種多型體,每種多型體的C/Si雙原子層的堆垛次序不同。

      由于在自然界中碳化硅晶體生長較為緩慢,難以滿足現(xiàn)在人們的生活以及生產(chǎn)需要。傳統(tǒng)的設(shè)備子啊進(jìn)行碳化硅晶體加工生長時(shí),極易使得碳化硅晶體籽料受熱不均勻,使得碳化硅晶體生長不均勻,嚴(yán)重影響碳化硅晶體的品質(zhì)。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      本實(shí)用新型的目的在于提供一種蒸發(fā)法孕育碳化硅晶體生長裝置,能夠有效促進(jìn)碳化硅晶體籽料在水溶液中快速生長,使得碳化硅晶體籽料生長均勻。

      本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的:

      一種蒸發(fā)法孕育碳化硅晶體生長裝置,包括反應(yīng)釜本體、轉(zhuǎn)軸、碳化硅晶體盛放盒、換熱器,所述反應(yīng)釜本體的頂部設(shè)置有開口,并在開口上安裝有液封蓋,所述的轉(zhuǎn)軸貫穿過液封蓋設(shè)置于反應(yīng)釜本體內(nèi)部,并在轉(zhuǎn)軸前端設(shè)置有若干攪拌槳,在攪拌槳的底部再安裝有碳化硅晶體盛放盒,所述換熱器設(shè)置在反應(yīng)釜本體的側(cè)邊,在反應(yīng)釜本體底部設(shè)置有加熱管,所述的反應(yīng)釜本體內(nèi)設(shè)置有溫度感應(yīng)裝置。

      優(yōu)選地,所述反應(yīng)釜本體的側(cè)壁設(shè)置若干限位槽孔。

      優(yōu)選地,所述的反應(yīng)釜本體上安裝有控制開關(guān)。

      優(yōu)選地,所述的攪拌槳與碳化硅晶體盛放盒可拆卸連接。

      優(yōu)選地,所述的反應(yīng)釜本體與限位槽孔相互焊接。

      技術(shù)效果

      本實(shí)用新型提供的一種蒸發(fā)法孕育碳化硅晶體生長裝置,通過裝置上設(shè)計(jì)的轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)攪拌槳轉(zhuǎn)動(dòng),使得防止在反應(yīng)釜本體內(nèi)的水溶液能充分流動(dòng),同時(shí)使得放置在碳化硅晶體盛放盒內(nèi)的碳化硅晶體籽料能與水溶液充分接觸,且受熱均勻,促進(jìn)碳化硅晶體籽料在水溶液中快速生長,整個(gè)裝置操作便捷,使用方便,可被進(jìn)一步推廣應(yīng)用。

      附圖說明

      為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

      圖1本實(shí)用新型實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖:

      圖中:1、反應(yīng)釜本體;2、轉(zhuǎn)軸;3、攪拌槳;4、碳化硅晶體盛放盒;5、換熱器;6、溫度感應(yīng)器;11、液封蓋;12、加熱管;13、限位槽孔;14、控制開關(guān)。

      具體實(shí)施方式

      為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白,以下結(jié)合實(shí)施例,對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解,此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型,并不用于限定本實(shí)用新型。

      下面結(jié)合附圖及具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的應(yīng)用原理作進(jìn)一步描述。

      如圖1所示,本實(shí)施例提供一種蒸發(fā)法孕育碳化硅晶體生長裝置,包括反應(yīng)釜本體1、轉(zhuǎn)軸2、碳化硅晶體盛放盒4、換熱器5,反應(yīng)釜本體1的頂部設(shè)置有開口,并在開口上安裝有液封蓋11,用于液封開口,轉(zhuǎn)軸2貫穿過液封蓋11設(shè)置于反應(yīng)釜本體1內(nèi)部,并在轉(zhuǎn)軸2前端設(shè)置有若干攪拌槳3,在攪拌槳3的底部再安裝有碳化硅晶體盛放盒4,換熱器5設(shè)置在反應(yīng)釜本體1的側(cè)邊,方便對(duì)反應(yīng)釜本體1內(nèi)的水溶液進(jìn)行及時(shí)溫度調(diào)節(jié),在反應(yīng)釜本體1底部設(shè)置有加熱管12,反應(yīng)釜本體1內(nèi)設(shè)置有溫度感應(yīng)裝置6,實(shí)時(shí)監(jiān)控溫度變化狀況。

      反應(yīng)釜本體1的側(cè)壁設(shè)置若干限位槽孔13。

      反應(yīng)釜本體1上安裝有控制開關(guān)14。

      攪拌槳3與碳化硅晶體盛放盒4可拆卸連接。

      反應(yīng)釜本體1與限位槽孔13相互焊接,提高整個(gè)裝置的穩(wěn)定性。整個(gè)裝置操作便捷,可被進(jìn)一步推廣應(yīng)用。

      以上實(shí)施例僅用以說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案,而非對(duì)其限制;盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說明,本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改,或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換;而這些修改或者替換,并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型各實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍。

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